本實(shí)用新型涉及超短激光脈沖抽運(yùn)探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置。

背景技術(shù)：

微納結(jié)構(gòu)材料已廣泛應(yīng)用于微電子、光電子等領(lǐng)域，而采用微納結(jié)構(gòu)材料形成的微器件在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生極高的熱流密度，熱堆積將直接影響到微器件的工作效率以及可靠性；而且，微器件在很多不同的應(yīng)用領(lǐng)域，如基于熱療法和納米顆粒的癌癥治療，太陽(yáng)能加熱，膠質(zhì)和納米流體，蒸鍍，噴霧冷卻，和電化學(xué)固液界面的熱輸運(yùn)機(jī)理等也都起著至關(guān)重要的作用。解決上述問(wèn)題極為迫切，這就需要對(duì)組成上述微器件的微納結(jié)構(gòu)材料的熱輸運(yùn)性質(zhì)進(jìn)行準(zhǔn)確表征，以便揭示其熱輸運(yùn)機(jī)理。

現(xiàn)有抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)對(duì)薄膜材料及固液界面熱輸運(yùn)性質(zhì)進(jìn)行準(zhǔn)確表征，以實(shí)現(xiàn)對(duì)寬溫度范圍、多物質(zhì)狀態(tài)的納米材料內(nèi)部及界面熱輸運(yùn)性質(zhì)的研究。然而，在現(xiàn)有的抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)中，一般采用物鏡對(duì)激光進(jìn)行聚焦，然后打到樣品上面，但這種方式會(huì)產(chǎn)生色差，而且受焦距的限制，樣品的放置方式單一，測(cè)量液體及固液界面熱導(dǎo)率不方便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題

鑒于上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，采用三維移動(dòng)平臺(tái)可以方便且精確的控制測(cè)量點(diǎn)及聚焦樣品；液體和粉體形式樣品可以在樣品內(nèi)托架內(nèi)利用液體或粉體自身重力或通過(guò)施壓的方式使液體或粉體形式樣品充分分布，從而方便的測(cè)量樣品及界面的熱導(dǎo)率等熱物性參數(shù)；采用離軸拋物面(OAP)反射鏡，節(jié)省了空間，實(shí)現(xiàn)了樣品的靈活放置，有效的消除了透射光學(xué)元件引入的位相延遲和吸收損耗。

(二)技術(shù)方案

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供了一種用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，包括：第一線性移動(dòng)臺(tái)；

第二線性移動(dòng)臺(tái)；

第三線性移動(dòng)臺(tái)；

轉(zhuǎn)接基板；以及

直角支架；其中，

所述第一和第二線性移動(dòng)臺(tái)通過(guò)所述轉(zhuǎn)接基板正交裝配，形成XY配置移動(dòng)臺(tái)，實(shí)現(xiàn)水平面內(nèi)的移動(dòng)；

所述第三線性移動(dòng)臺(tái)通過(guò)所述直角支架與所述第一和第二線性移動(dòng)臺(tái)正交裝配，形成三維移動(dòng)平臺(tái)；

所述第一線性移動(dòng)臺(tái)，第二線性移動(dòng)臺(tái)，第三線性移動(dòng)臺(tái)分別沿所述三維移動(dòng)平臺(tái)的X、Y、Z軸方向移動(dòng)。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，還包括：樣品內(nèi)托架，用于液體和粉體形式樣品測(cè)量。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，所述樣品內(nèi)托架包括樣品內(nèi)托架固定圈和鍍有金屬傳感層的玻璃，所述鍍有金屬傳感層的玻璃包括玻璃和金屬傳感層，所述樣品內(nèi)托架固定圈中部設(shè)有通孔，該通孔與所述鍍有金屬傳感層的玻璃共同構(gòu)成一個(gè)凹狀結(jié)構(gòu)，用于盛放液體或粉體形式的樣品。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，還包括：樣品外托架，用于固體樣品測(cè)量或提供對(duì)樣品內(nèi)托架的固定。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，采用所述樣品外托架固定所述樣品內(nèi)托架，其中，所述樣品內(nèi)托架的鍍有金屬傳感層的玻璃的金屬側(cè)通過(guò)粘合劑與所述樣品內(nèi)托架固定圈相連，其玻璃側(cè)朝下放置于所述樣品外托架內(nèi)部，通過(guò)所述樣品外托架連接在接桿上，并通過(guò)接桿連接所述第三線性移動(dòng)臺(tái)。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，還包括：離軸拋物面反射鏡，位于所述樣品外托架正下方，抽運(yùn)激光和探測(cè)激光共線發(fā)射至所述離軸拋物面反射鏡，經(jīng)所述離軸拋物面反射鏡反射后聚焦于所述樣品上，通過(guò)三維移動(dòng)平臺(tái)可以根據(jù)具體樣品尺寸調(diào)整焦點(diǎn)與樣品的相對(duì)位置。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，所述離軸拋物面反射鏡的離軸角為90°，在450nm–2μm波長(zhǎng)范圍內(nèi)反射率大于90％。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，所述離軸拋物面反射鏡采用外螺紋安裝轉(zhuǎn)接件、無(wú)螺紋的安裝轉(zhuǎn)接件或離軸拋物面反射鏡安裝座進(jìn)行安裝。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，所述第一和第二線性移動(dòng)臺(tái)分別沿著所述三維移動(dòng)平臺(tái)的X、Y軸移動(dòng)以調(diào)節(jié)所述樣品外托架的水平位置，所述第三線性移動(dòng)臺(tái)沿著所述三維移動(dòng)平臺(tái)的Z軸移動(dòng)以調(diào)節(jié)樣品外托架的豎直高度，使聚焦焦點(diǎn)位于樣品外托架內(nèi)的樣品表面或樣品內(nèi)托架的金屬傳感層表面的不同位置，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同位置樣品熱物性的測(cè)量。

優(yōu)選的，本實(shí)用新型的用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，所述第一線性移動(dòng)臺(tái)、第二線性移動(dòng)臺(tái)及第三線性移動(dòng)臺(tái)具有硬化鋼線性軸承及定位梢，組裝成右手或左手系正交線性三維移動(dòng)平臺(tái)，其正交誤差小于5mrad。

(三)有益效果

從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置至少具有以下有益效果其中之一：

(1)通過(guò)三維移動(dòng)平臺(tái)，可在水平面內(nèi)移動(dòng)選擇測(cè)量點(diǎn)，以達(dá)到多次測(cè)量提高測(cè)量精度的目的，同時(shí)在垂直方向移動(dòng)以調(diào)節(jié)光路聚焦在樣品上，實(shí)現(xiàn)方便且精確的控制測(cè)量點(diǎn)及聚焦樣品；

(2)對(duì)于液體和粉體形式樣品可以在樣品內(nèi)托架內(nèi)利用液體自身重力或通過(guò)施壓的方式使液體粉體形式樣品充分分布，方便測(cè)量樣品及界面的熱導(dǎo)率等熱物性參數(shù)；

(3)在抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)中采用離軸拋物面(OAP)反射鏡將激光聚焦輻射在樣品表面部分，通過(guò)離軸拋物面反射鏡的離軸設(shè)計(jì)將光路分離出來(lái)，可以起到節(jié)省空間，實(shí)現(xiàn)樣品的更靈活放置作用，有效的消除了透射光學(xué)元件會(huì)引入的位相延遲和吸收損耗。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型樣品內(nèi)托架示意圖。

<附圖標(biāo)記說(shuō)明>

1-第一線性移動(dòng)臺(tái)；

2-第二線性移動(dòng)臺(tái)；

3-直角支架；

4-第三線性移動(dòng)臺(tái)；

5-接桿；

6-樣品外托架；

7-離軸拋物面反射鏡；

8-樣品內(nèi)托架固定圈；

9-液體粉體形式樣品；

10-金屬傳感層；

11-玻璃

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

需要說(shuō)明的是，在附圖或說(shuō)明書描述中，相似或相同的部分都使用相同的圖號(hào)。附圖中未繪示或描述的實(shí)現(xiàn)方式，為所屬技術(shù)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員所知的形式。另外，雖然本文可提供包含特定值的參數(shù)的示范，但應(yīng)了解，參數(shù)無(wú)需確切等于相應(yīng)的值，而是可在可接受的誤差容限或設(shè)計(jì)約束內(nèi)近似于相應(yīng)的值。實(shí)施例中提到的方向用語(yǔ)，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，僅是參考附圖的方向。因此，使用的方向用語(yǔ)是用來(lái)說(shuō)明并非用來(lái)限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

本實(shí)用新型用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，通過(guò)離軸拋物面反射鏡實(shí)現(xiàn)對(duì)抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)中的激光使用不同的方式，如水平激光在水平面改變90度向左或者向右打在垂直放置的樣品上或者水平激光在豎直面內(nèi)改變90度往上或者往下打在樣品上，改變光路聚焦輻射在樣品表面達(dá)到測(cè)量更有效的利用空間增加樣品放置的自由度，測(cè)量功能和范圍的擴(kuò)大；通過(guò)樣品裝置實(shí)現(xiàn)液體、粉體等及固液界面的熱導(dǎo)率等熱物性參數(shù)測(cè)量；通過(guò)三維移動(dòng)平臺(tái)水平面內(nèi)移動(dòng)選擇測(cè)量點(diǎn)，以達(dá)到多次測(cè)量提高測(cè)量精度的目的，垂直方向移動(dòng)以調(diào)節(jié)光路聚焦在樣品上。

圖1為本實(shí)用新型用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本實(shí)用新型用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置，包括：

第一線性移動(dòng)臺(tái)；

第二線性移動(dòng)臺(tái)；

第三線性移動(dòng)臺(tái)；

轉(zhuǎn)接基板；以及

直角支架；其中，

所述第一和第二線性移動(dòng)臺(tái)通過(guò)所述轉(zhuǎn)接基板正交裝配，形成XY配置移動(dòng)臺(tái)，實(shí)現(xiàn)水平面內(nèi)的移動(dòng)；

所述第三線性移動(dòng)臺(tái)通過(guò)所述直角支架與所述第一和第二線性移動(dòng)臺(tái)正交裝配，形成三維移動(dòng)平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)三維空間自由度；

所述第一線性移動(dòng)臺(tái)，第二線性移動(dòng)臺(tái)，第三線性移動(dòng)臺(tái)分別沿所述三維移動(dòng)平臺(tái)的X、Y、Z軸方向移動(dòng)。

為了實(shí)現(xiàn)精確運(yùn)動(dòng)和長(zhǎng)使用壽命，所述第一線性移動(dòng)臺(tái)、第二線性移動(dòng)臺(tái)及第三線性移動(dòng)臺(tái)具有硬化鋼線性軸承，每個(gè)所述線性移動(dòng)臺(tái)具有精確的定位梢，可組裝成右手或左手系正交線性三維移動(dòng)平臺(tái)。優(yōu)選的，其正交誤差小于5mrad。

所述第一線性移動(dòng)臺(tái)，第二線性移動(dòng)臺(tái)及第三線性移動(dòng)臺(tái)可采用thorlabs PT1/M型號(hào)移動(dòng)臺(tái)，行程范圍為25.0mm，分度為10μm。所述轉(zhuǎn)接基板可采用thorlabs PT101型號(hào)基板；所述直角支架可采用thorlabs PT102型號(hào)支架。

請(qǐng)參照?qǐng)D1，所述第二線性移動(dòng)臺(tái)通過(guò)所述直角支架與所述第三線性移動(dòng)臺(tái)連接，其中，所述直角支架固定在所述第二線性移動(dòng)臺(tái)上，并將所述第三線性移動(dòng)臺(tái)固定在所述直角支架的豎直面上，使所述XY配置移動(dòng)臺(tái)在Z軸，即豎直方向上移動(dòng)。

進(jìn)一步的，所述用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置還包括：

樣品內(nèi)托架，用于液體和粉體形式樣品測(cè)量，提供對(duì)液體和粉體形式樣品的支撐和約束。

樣品外托架，用于固體形式樣品測(cè)量，提供對(duì)固體樣品或?qū)λ鰳悠穬?nèi)托架的固定；所述樣品外托架可通過(guò)接桿與所述第三線性移動(dòng)臺(tái)連接。

在第三線性移動(dòng)臺(tái)上的多個(gè)安裝孔之中選擇合適的安裝孔位置安裝底座轉(zhuǎn)接件，可采用thorlabs UPHA作為底座轉(zhuǎn)接件，通過(guò)所述底座轉(zhuǎn)接件將接桿支架固定在所述第三線性移動(dòng)臺(tái)上面。

所述樣品外托架可用于固定英寸元件，例如墊圈，提供繞平行于第一線性移動(dòng)臺(tái)和第二線性移動(dòng)臺(tái)的XY軸不小于±4°的角度調(diào)節(jié)。具體的，所述樣品可通過(guò)粘結(jié)或者其他方式固定在墊圈上，所述墊圈的大小尺寸一般為固定有樣品的墊圈通過(guò)卡環(huán)固定在樣品外托架內(nèi)，通過(guò)8-32(M4)螺孔安裝到英寸接桿螺孔，與所述接桿連接。

在使用所述樣品外托架進(jìn)行固體形式樣品測(cè)量時(shí)，調(diào)整所述第一和第二線性移動(dòng)臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品外托架的水平位置，調(diào)整所述第三線性移動(dòng)臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品外托架的豎直高度，使聚焦焦點(diǎn)位于樣品外托架內(nèi)的樣品表面。

圖2為本實(shí)用新型樣品內(nèi)托架示意圖。如圖2所示，對(duì)于液體或粉體形式的樣品，可以參照?qǐng)D2所示方式放置于所述樣品內(nèi)托架內(nèi)，再將該樣品內(nèi)托架固定在所述樣品外托架內(nèi)。

所述樣品內(nèi)托架包括樣品內(nèi)托架固定圈和鍍有金屬傳感層的玻璃。所述樣品內(nèi)托架固定圈中間設(shè)有通孔，所述該通孔尺寸小于所述樣品內(nèi)托架固定圈尺寸，所述樣品內(nèi)托架固定圈可為英寸金屬墊片，也即所述通孔尺寸小于英寸，其厚度為2–5mm，外徑與樣品外托架匹配。所述鍍有金屬傳感層的玻璃包括玻璃和金屬傳感層，所述玻璃可為蓋玻片，尺寸大于所述通孔尺寸且小于英寸，所述金屬傳感層可為鋁膜，厚度在50–200nm之間，鍍有金屬傳感層的玻璃的金屬側(cè)通過(guò)粘合劑與樣品內(nèi)托架固定圈相連，粘合劑確保玻璃與樣品內(nèi)托架固定圈之間完全密封，其玻璃側(cè)朝下放置于樣品外托架內(nèi)部，所述樣品內(nèi)托架固定圈的通孔與玻璃共同構(gòu)成一個(gè)凹狀結(jié)構(gòu)，用于盛放液體或粉體形式的樣品，樣品的用量由通孔尺寸決定，為了體現(xiàn)該實(shí)用新型樣品用量少的優(yōu)勢(shì)，通孔可選直徑5–7mm圓孔。帶有樣品的所述樣品外托架連接在接桿上，并通過(guò)固定接桿支架固定在上述底座轉(zhuǎn)接件上。

在使用所述樣品內(nèi)托架進(jìn)行液體和粉體形式樣品測(cè)量時(shí)，將液體和粉體形式樣品放置在所述樣品外托架內(nèi)部。聚焦焦點(diǎn)位于樣品內(nèi)托架的金屬傳感層表面，調(diào)整所述第三線性移動(dòng)臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品外托架的豎直高度，調(diào)整所述第一和第二線性移動(dòng)臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品外托架的水平位置，使聚焦焦點(diǎn)位于樣品表面或樣品內(nèi)托架的金屬傳感層表面上的不同位置，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品不同位置熱導(dǎo)率等熱物性參數(shù)的測(cè)量。

進(jìn)一步的，所述用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)還包括：離軸拋物面(OAP)反射鏡，用于聚焦及改變光路；所述離軸拋物面反射鏡的離軸角為90°，在450nm–2μm波長(zhǎng)范圍內(nèi)反射率大于90％，在準(zhǔn)直點(diǎn)光源或聚焦準(zhǔn)直光束時(shí)不會(huì)產(chǎn)生球差或色差。

所述離軸拋物面(OAP)反射鏡是第一表面反射鏡，其反射表面是組成原始拋物面反射鏡的一部分，每個(gè)反射表面都具有原始拋物面無(wú)色差地聚焦準(zhǔn)直光束或準(zhǔn)直寬帶點(diǎn)光源的能力，所述離軸拋物面(OAP)反射鏡離軸設(shè)計(jì)能夠在空間上將焦點(diǎn)從光路中分離出來(lái)；而且其全反射設(shè)計(jì)消除了透射光學(xué)元件會(huì)引入的位相延遲和吸收損耗。所述離軸拋物面反射鏡表面粗糙度小于100埃，可通過(guò)安裝適配器與其他標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)原件連接。

所述離軸拋物面反射鏡，采用Thorlabs MPD029-G01 90°離軸拋物面反射鏡。離軸拋物面反射鏡的反射焦點(diǎn)應(yīng)位于樣品外托架中心位置，通過(guò)三維移動(dòng)平臺(tái)可以根據(jù)樣品的具體尺寸調(diào)整焦點(diǎn)與樣品的相對(duì)位置。在需要節(jié)省水平光路右側(cè)的空間時(shí)，水平激光在水平面改變90度向左打在垂直放置的樣品上。在需要節(jié)省水平光路左側(cè)的空間時(shí)，水平激光在水平面改變90度向右打在垂直放置的樣品上。在測(cè)量液體不方便豎直或者其他放置方式放置樣品而導(dǎo)致液體溢出時(shí)，可以將水平激光在豎直面內(nèi)改變90度往上打在樣品上，同時(shí)也節(jié)約了水平面內(nèi)的空間。另外，水平激光在豎直面內(nèi)改變90度往下打在樣品上，同樣也能節(jié)約水平面內(nèi)的空間，同時(shí)還可以實(shí)現(xiàn)其他的一些需求。

所述離軸拋物面反射鏡可采用外螺紋安裝轉(zhuǎn)接件、無(wú)螺紋的安裝轉(zhuǎn)接件、離軸拋物面反射鏡安裝座等進(jìn)行安裝。具體安裝方式如下所述：

(1)采用外螺紋安裝轉(zhuǎn)接件安裝離軸拋物面反射鏡：使用外螺紋安裝轉(zhuǎn)接件將英寸離軸拋物面反射鏡安裝在16毫米籠式光學(xué)調(diào)整架中，4根籠式支桿穿過(guò)所述光學(xué)調(diào)整架，通過(guò)鎖定螺絲將籠式支桿固定就位。每個(gè)調(diào)整架具有至少3個(gè)3/16英寸-100細(xì)調(diào)螺絲，其可調(diào)精度為9mrad/rev。該螺絲具有5/64英寸的內(nèi)六角凹頭用于方便調(diào)節(jié)。每個(gè)所述光學(xué)調(diào)整架附帶一個(gè)5/64英寸的六角扳手。所述光學(xué)調(diào)整架能夠夾持厚達(dá)0.15英寸(3.8mm)的光學(xué)元件。所述光學(xué)調(diào)整架具有至少兩個(gè)SM05RR卡環(huán)，用于將所述離軸拋物面反射鏡固定在所述光學(xué)調(diào)整架內(nèi)。

(2)采用無(wú)螺紋的安裝轉(zhuǎn)接件安裝離軸拋物面反射鏡：使用無(wú)螺紋的安裝轉(zhuǎn)接件將英寸離軸拋物面反射鏡安裝在反射鏡安裝座，反射鏡安裝座由尼龍頭定位螺絲固定在光學(xué)調(diào)整架限位孔中，3個(gè)1/4"-80調(diào)節(jié)器、可鎖定調(diào)節(jié)器通過(guò)移動(dòng)調(diào)整架的前板，可實(shí)現(xiàn)±4°范圍內(nèi)的調(diào)整。為了保證調(diào)整范圍對(duì)稱(即±4°)，調(diào)整架的前后板間距必須分別為0.120英寸(3.05mm)。當(dāng)同時(shí)使用三個(gè)調(diào)節(jié)器時(shí)，英寸光學(xué)調(diào)整架可實(shí)現(xiàn)Z軸方向上平移最大0.25英寸(6.4mm)的距離。

(3)采用離軸拋物面反射鏡安裝座安裝離軸拋物面反射鏡：離軸拋物面反射鏡安裝座帶有四個(gè)用來(lái)安裝接桿的8-32(M4)螺孔，都與離軸拋物面反射鏡成直角。離軸拋物面反射鏡安裝座，從鏡片中心到安裝座邊緣的距離是1/2英寸(12.5mm)，離軸拋物面反射鏡安裝座和英寸接桿之類的連接可以標(biāo)準(zhǔn)化固定光軸高度的接桿。

其中，入射到所述三維移動(dòng)平臺(tái)的光包括抽運(yùn)光和探測(cè)光，分別用于加熱和探測(cè)樣品，相應(yīng)的其波長(zhǎng)分別為400nm，800nm，通過(guò)所述離軸拋物面反射鏡將所述抽運(yùn)光和探測(cè)光聚焦在所述樣品外托架內(nèi)的樣品表面或樣品內(nèi)托架的金屬傳感層表面上。

綜上所述，本實(shí)用新型一種用于抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的無(wú)物鏡測(cè)量裝置讓樣品放置及測(cè)量樣品點(diǎn)的選擇更加靈活，實(shí)現(xiàn)了各種樣品(固體、液體、固液界面等)熱導(dǎo)率等熱物性參數(shù)的高效準(zhǔn)確測(cè)量，并且消除了透射光學(xué)元件會(huì)引入的位相延遲和吸收損耗。

以上所述，僅為本實(shí)用新型中的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉該技術(shù)的人在本實(shí)用新型所揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可理解想到的變換或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的包含范圍之內(nèi)，因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求保護(hù)的范圍為準(zhǔn)需要說(shuō)明的是，在附圖或說(shuō)明書正文中，未繪示或描述的實(shí)現(xiàn)方式，均為所屬技術(shù)領(lǐng)域中普通技術(shù)人員所知的形式，并未進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此外，上述對(duì)各元件和方法的定義并不僅限于實(shí)施例中提到的各種具體結(jié)構(gòu)、形狀或方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可對(duì)其進(jìn)行簡(jiǎn)單地更改或替換，例如：三維移動(dòng)平臺(tái)可以采用機(jī)械的，也可以采用電控的，均不影響本實(shí)用新型的實(shí)現(xiàn)。

以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。