本發(fā)明涉及傳感器安裝檢測領(lǐng)域，具體涉及一種高精度位移測量系統(tǒng)的傳感器安裝檢測方法。

背景技術(shù)：

目前，在三坐標高精度位移測量系統(tǒng)位移安裝過程中，傳感器安裝完成后，由于機械加工精度及安裝誤差，需要對其安裝到位情況進行檢驗?，F(xiàn)有的方法為：采用單軸精密位移臺、激光干涉儀等一系列成套工裝。采用該種方式，其過程復雜，測試條件苛刻，且檢驗效率很低。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明為了解決上述技術(shù)問題提供一種高精度位移測量系統(tǒng)的傳感器安裝檢測方法，該方法和檢測過程簡單，對測試環(huán)境要求低且檢驗效率高。

本發(fā)明通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)：

一種高精度位移測量系統(tǒng)的傳感器安裝檢測方法，包括以下步驟：

A、分別進行至少兩組位移測量，得到每個位移傳感器的測量值α_ij，其中，i表示第幾組測量值，i為大于1的自然數(shù)，j表示傳感器的編號；

B、針對每個位移傳感器，每次測量值α_ij對應于角度偏差k_j和垂直偏差c_j建立方程；

C、以任一位移傳感器作為基準參考點，計算其余位移傳感器的角度偏差比值和垂直偏差；

D、根據(jù)垂直偏差和角度偏差比值對安裝情況進行判定。

本方案的安裝檢測方法利用位移與角度偏差、垂直偏差的關(guān)系，以任一位移傳感器為基準參考點，計算其余位移傳感器相對于該位移傳感的相對角度偏差和相對垂直偏差，即角度偏差比值和垂直偏差，根據(jù)相對角度偏差和相對垂直偏差對位移傳感器的安裝情況進行判定。該方法應用于高精度的位移測量系統(tǒng)中，位移傳感器的測量精度高，將高精度的測量數(shù)據(jù)反過來應用于對其安裝到位情況的判定，判定準確度高。整個過程僅需對位移傳感器的數(shù)據(jù)進行采集即可實現(xiàn)，其過程簡單，且可通過軟件實現(xiàn)，對測試環(huán)境要求低且檢驗效率高。

作為優(yōu)選，所述步驟B具體為：

(α₁₁-c₁)×k₁＝(α₁₂-c₂)×k₂＝(α₁₃-c₃)×k₃＝…＝(α_1j-c_j)×k_j

(α₂₁-c₁)×k₁＝(α₂₂-c₂)×k₂＝(α₂₃-c₃)×k₃＝…＝(α_1j-c_j)×k_j。

進一步的，所述步驟C的具體步驟為：使任一c_j＝0，計算k_j與其余位移傳感器的角度偏差的比值得到角度偏差比值并計算其余位移傳感器的垂直偏差。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下的優(yōu)點和有益效果：

本發(fā)明的方法利用位移與角度偏差、垂直偏差的關(guān)系，以任一位移傳感器為基準參考點，計算其余位移傳感器相對于該位移傳感的相對角度偏差和相對垂直偏差，根據(jù)相對角度偏差和相對垂直偏差對位移傳感器的安裝情況進行判定，整個方法和檢測過程簡單，對測試環(huán)境要求低且檢驗效率高。。

具體實施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，下面結(jié)合實施例，對本發(fā)明作進一步的詳細說明，本發(fā)明的示意性實施方式及其說明僅用于解釋本發(fā)明，并不作為對本發(fā)明的限定。

實施例1

一種高精度位移測量系統(tǒng)的傳感器安裝檢測方法，包括以下步驟：

A、分別進行至少兩組位移測量，得到每個位移傳感器的測量值α_ij，其中，i表示第幾組測量值，i為大于1的自然數(shù)，j表示傳感器的編號；

B、針對每個位移傳感器，每次測量值α_ij對應于角度偏差k_j和垂直偏差c_j建立方程；

C、以任一位移傳感器作為基準參考點，計算其余位移傳感器的角度偏差比值和垂直偏差；

D、根據(jù)垂直偏差和角度偏差比值對安裝情況進行判定。

下面以三坐標高精度位移測量系統(tǒng)對上述方法進行詳細說明。

實施例2

針對三坐標高精度位移測量系統(tǒng)，其包括三個位移傳感器，具體步驟為：

在三坐標高精度位移測量系統(tǒng)安裝完畢后，分別進行至少兩次位移測量，本次以兩次測量為例，分別得到三個位移傳感器的第一次測量值：α₁₁、α₁₂、α₁₃，第二次測量值：、α₂₁、α₂₂、α₂₃；

針對每個傳感器，其每次測量值對應于角度偏差與垂直偏差，可建立方程如下：

以標識為2的傳感器作為基準參考點，即此時c₂＝0，對其余兩個個傳感器進行評估，

根據(jù)設(shè)定的偏差角度比值和垂直誤差范圍即可對安裝情況進行判定。

測量單位為μm，如將合格判定閾值角度偏差比值在0.0003以內(nèi)，垂直偏差在0.005以內(nèi)

以測試數(shù)據(jù)1為例：

α₁₁＝2.2988、α₁₂＝2.2700、α₁₃＝2.2999；

α₂₁＝3.2982、α₂₂＝3.2699、α₂₃＝3.2998；

可以計算出：

編號為1和編號為2的傳感器角度偏差較大，編號為1與編號為2的垂直偏差在0.03μm，編號為3與編號為2的垂直偏差在0.03μm，因此安裝判定為不合格。

以測試數(shù)據(jù)2為例：

α₁₁＝2.2977、α₁₂＝2.2960、α₁₃＝2.2999；

α₂₁＝3.2975、α₂₂＝3.2959、α₂₃＝3.2998；

可以計算出：

編號為1、3和編號為2的傳感器角度偏差小，編號為1與編號為2的垂直偏差在0.002μm，編號為3與編號為2的垂直偏差在0.004μm，因此通過本算法判定。

以上所述的具體實施方式，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施方式而已，并不用于限定本發(fā)明的保護范圍，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。