1.一種基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器，其特征是，包括：微型光源、傳輸光纖、準(zhǔn)直器、振動敏感源、光電轉(zhuǎn)換模塊、數(shù)據(jù)分析模塊和無線傳輸模塊；
所述微型光源通過傳輸光纖與振動敏感源連接，在所述振動敏感源的兩側(cè)分別固定有準(zhǔn)直器，所述振動敏感源的輸出端通過傳輸光纖與光電轉(zhuǎn)換模塊連接，光電轉(zhuǎn)換模塊與數(shù)據(jù)分析模塊、無線傳輸模塊依次連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器，其特征是，所述振動敏感源包括梳狀柵格、保護(hù)框架及準(zhǔn)直螺紋孔；所述梳狀柵格隨外界振動而上下浮動，所述保護(hù)框架設(shè)置在梳狀柵格的外側(cè)，所述準(zhǔn)直螺紋孔設(shè)置在保護(hù)框架上用于與準(zhǔn)直設(shè)備連接。
3.如權(quán)利要求1所述的一種基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器，其特征是，所述光電轉(zhuǎn)換設(shè)備包括依次串聯(lián)連接的光電轉(zhuǎn)換元件、放大電路和濾波電路。
4.一種基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器的工作方法，其特征是，包括：
1)光強(qiáng)信號經(jīng)過準(zhǔn)直設(shè)備進(jìn)入振動敏感源，經(jīng)過振動敏感源調(diào)制之后的光信號通過準(zhǔn)直器進(jìn)入光電轉(zhuǎn)換設(shè)備；光電轉(zhuǎn)換模塊將光強(qiáng)信號轉(zhuǎn)換為電信號輸入到數(shù)據(jù)處理分析模塊進(jìn)行處理；
2)通過分析在特定時間內(nèi)A/D轉(zhuǎn)換信號幅值強(qiáng)弱交替的次數(shù)，確定光強(qiáng)信號的變化頻率f；
3)結(jié)合振動敏感源中梳狀柵格寬度l、格距數(shù)值d以及光強(qiáng)信號的頻率f，計算所述特定時間內(nèi)振動敏感源所經(jīng)過的路程L；
4)根據(jù)路程L計算振動信號的幅值a。
5.權(quán)利要求4所述的一種基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器的工作方法，其特征是，所述步驟3)中計算所述特定時間內(nèi)振動敏感源所經(jīng)過的路程L的方法為：
L＝f(l+d)
其中，l為梳狀柵格寬度，d為格距數(shù)值，f為光強(qiáng)信號的頻率。
所述步驟4)中計算振動信號的幅值a的方法為：
L＝2*a*t2
其中，L為時間t內(nèi)振動敏感源所經(jīng)過的路程。