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      硅基已知頻率縫隙耦合式間接式毫米波相位檢測器的制作方法

      文檔序號:11110907閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明的硅基已知頻率縫隙耦合式間接式毫米波相位檢測器是由共面波導(dǎo)、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,整個結(jié)構(gòu)基于高阻Si襯底制作,一共設(shè)置有四個縫隙耦合結(jié)構(gòu),上方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)連接著兩個間接式熱電式功率傳感器,下方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的相位測量,在前后縫隙之間設(shè)置有一個移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器是由共面波導(dǎo)、非對稱共面帶線和一個電阻組成;間接式熱電式功率傳感器主要由共面波導(dǎo)、兩個電阻以及熱電堆所構(gòu)成,熱電堆是由兩種不同的半導(dǎo)體臂級聯(lián)組成,它能夠?qū)⒔K端電阻所散發(fā)的熱量轉(zhuǎn)換成熱電勢,該結(jié)構(gòu)成本較低,而且效率也大大提高了。

      技術(shù)研發(fā)人員:廖小平;褚晨蕾
      受保護的技術(shù)使用者:東南大學(xué)
      文檔號碼:201710052742
      技術(shù)研發(fā)日:2017.01.24
      技術(shù)公布日:2017.05.10

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