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      光譜共焦傳感器和測(cè)量方法與流程

      文檔序號(hào):11542856閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測(cè)量方法。光譜共焦傳感器包括第一光源,用于射出包括具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束的測(cè)量光;第二光源,用于射出具有預(yù)定波長(zhǎng)的可見(jiàn)光束;光學(xué)頭,其使入射光會(huì)聚在與所述入射光的波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)的焦點(diǎn)位置處,并且輸出在所述焦點(diǎn)位置處由測(cè)量對(duì)象反射的反射光;位置計(jì)算部,用于基于所述光學(xué)頭所輸出的反射光來(lái)計(jì)算所述測(cè)量對(duì)象的位置;以及切換部,用于選擇性地在僅所述測(cè)量光進(jìn)入所述光學(xué)頭的第一操作和至少所述可見(jiàn)光束進(jìn)入所述光學(xué)頭的第二操作之間進(jìn)行切換。

      技術(shù)研發(fā)人員:益田紀(jì)彥;久保光司
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社三豐
      技術(shù)研發(fā)日:2017.02.04
      技術(shù)公布日:2017.08.15
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