技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種光學元件表面疵病的檢測裝置，包括底座，具有光源；縱向?qū)к墸O(shè)置于底座上；顯微鏡，設(shè)置于縱向?qū)к壣?，并且顯微鏡的上方設(shè)置有CCD圖像傳感器；載物臺，包括具有光闌的載物臺一和載物臺二，載物臺一和載物臺二均設(shè)置于縱向?qū)к壣?，并依次位于顯微鏡的下方；載物臺一與載物臺二之間具有在X/Y/Z方向上可調(diào)整的相對位移；此外，載物臺一的底部具有CMOS圖像傳感器，CMOS圖像傳感器和CCD圖像傳感器與外部的圖像處理器連接，促使圖像處理器利用圖像處理技術(shù)處理和/或觀察CCD圖像傳感器和CMOS圖像傳感器所采集的圖像。有益效果：本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)小直徑大曲率半徑表面疵病的快速檢測。

技術(shù)研發(fā)人員：楊援;姜博宇
受保護的技術(shù)使用者：北京創(chuàng)思工貿(mào)有限公司
文檔號碼：201710125838
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.05
技術(shù)公布日：2017.05.10