技術特征：

技術總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于光學相移的跨尺度表面形貌測量裝置及方法，裝置包括計算機、光強可控式白光光源、第一透鏡、濾光片旋轉(zhuǎn)盤、分光棱鏡、第二透鏡、第三透鏡、CCD相機、空間光調(diào)制器SLM、第四透鏡；本發(fā)明利用純相位調(diào)制式液晶空間光調(diào)制器實現(xiàn)精確的光學相移，應用光強可調(diào)的白光光源和四個帶通濾波片得到四種光強分布一致的單色光，并利用多波長干涉的原理，通過合理尺寸銜接實現(xiàn)測量范圍的拓展。在重復光學相移中，以輪換濾光片方式獲取不同波長的干涉圖像序列，并運用優(yōu)化的四步相移法進行逐點逐幀相位運算，得到大尺度范圍內(nèi)形貌點高度。本發(fā)明既能滿足跨尺度的測量范圍要求，又能保持單波長干涉的納米精度，具有重要的應用價值。

技術研發(fā)人員：翟中生;張艷紅;呂清花;汪于濤;周立;程壯;王選擇;楊練根
受保護的技術使用者：湖北工業(yè)大學
技術研發(fā)日：2017.04.17
技術公布日：2017.08.11