本發(fā)明涉及聲學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器。

背景技術(shù)：

高靈敏度、高分辨率、良好穩(wěn)定性及可靠性的高性能電流檢測技術(shù)研究在智能電網(wǎng)線路檢測、電力冶金、軌道交通中供電安全預(yù)警與救援及工業(yè)自動化中電源繼保等領(lǐng)域具有重要意義?，F(xiàn)代電力系統(tǒng)向大容量、高壓電、小型緊湊以及輸配電系統(tǒng)自動化的發(fā)展方向，電流傳感器在電力系統(tǒng)控制保護(hù)和監(jiān)控中起到了樞紐作用，因此，現(xiàn)代電網(wǎng)的發(fā)展對電流傳感器不僅提出了小型化、高可靠及穩(wěn)定性的要求，還要求它具有高低壓全隔離、抗電磁干擾性好、寬頻帶、無鐵磁飽和以及靈敏度高等特點。目前成熟應(yīng)用于電流檢測的傳感器技術(shù)主要有霍爾型與光纖型兩種。

基于霍爾效應(yīng)的霍爾型電流檢測技術(shù)以其精度高、線性度好和快速響應(yīng)等優(yōu)點，在國內(nèi)外電流傳感領(lǐng)域占有主導(dǎo)地位。其基本原理如圖1(a)所示，霍爾元件放置于磁芯開口氣隙處，當(dāng)導(dǎo)體有電流通過時，在導(dǎo)體周圍產(chǎn)生磁場強(qiáng)度與電流大小成正比的感應(yīng)磁場，磁芯將磁力線集聚至氣隙處，霍爾元件輸出與氣隙處磁感應(yīng)強(qiáng)度成正比的電壓信號，經(jīng)過外圍電路對電壓信號進(jìn)行檢測分析得到導(dǎo)體電流的大小。這種檢測技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于ups電源、逆變焊機(jī)、變電站、電解電鍍、數(shù)控機(jī)床、微機(jī)監(jiān)測系統(tǒng)、電網(wǎng)監(jiān)控系統(tǒng)和需要隔離檢測的大電流、電壓等各個領(lǐng)域中。

光纖式電流傳感器的基本原理是利用法拉第磁光效應(yīng)，這種電流傳感器具有高靈敏度、傳感探頭無需供電以及良好的穩(wěn)定性等特點，其基本原理如圖1(b)所示，由磁光材料制作的光纖環(huán)繞在通電導(dǎo)線上，通過光學(xué)調(diào)制器和接收處理終端測量光波在通過光纖時，其偏振面由于電流產(chǎn)生的磁場的作用而發(fā)生旋轉(zhuǎn)的角度來確定被測電流的大小。目前光纖式電流傳感器在輸電線網(wǎng)檢測、變電站監(jiān)測以及工業(yè)自動化電源繼保中得到了部分應(yīng)用。

但是這兩種技術(shù)的電流傳感器在實際應(yīng)用中面臨了一些亟待解決的瓶頸問題：第一，由于自身的構(gòu)造結(jié)構(gòu)原因，霍爾電流傳感器需要外加電源，通過外圍信號放大及處理等電路將傳感器信號輸送到智能設(shè)備端，這就無法避免因電源供電影響，高低壓及交直流電路干擾影響等降低霍爾電流傳感器的檢測性能；第二，檢測精度容易受到由于霍爾元件本身的不穩(wěn)定導(dǎo)致的偏移電流以及溫度漂移的影響；第三，由于利用原邊導(dǎo)線的電磁場原理，傳感器附件外部電流、導(dǎo)線距離、傳感器形狀以及結(jié)構(gòu)屏蔽性都影響到了傳感器的抗干擾性；第四，存在著體積較大，絕緣困難以及輸出端不能開路等問題，雖然光纖電流傳感器不存在供電絕緣的問題，但其輸出靈敏度受外接溫度、光纖本身的雙折射及入射偏振面位置的影響極大，并且實際應(yīng)用時，組建通信網(wǎng)絡(luò)需要鋪設(shè)大量光纖路網(wǎng)，無論從傳感器自身還是從工程施工的角度都存在極大的困難，同時光學(xué)調(diào)制器和接收處理終端精密度高，技術(shù)難度較大，系統(tǒng)搭建成本很高；第五，隨著輸電線網(wǎng)及工業(yè)生產(chǎn)的智能化傳感器網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展，為保證能夠及時檢測定位故障源，對于傳感器的定位與識別要求越來越高，雖然霍爾傳感器與光纖傳感器也逐步加入zigbee等無線模塊，但也增加了供電問題并影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性；第五，由于霍爾傳感器與光纖傳感器自身材料構(gòu)成的原因，環(huán)境溫度的變化會導(dǎo)致測量結(jié)果出現(xiàn)漂移和偏差，靈敏度降低，整體溫度穩(wěn)定性較差。即使目前已對霍爾和光纖傳感器加入溫度補(bǔ)償電路或調(diào)整光學(xué)元件結(jié)構(gòu)達(dá)到一定的溫度穩(wěn)定性，但從系統(tǒng)總體構(gòu)成及實現(xiàn)上又增加了復(fù)雜度，導(dǎo)致系統(tǒng)整體穩(wěn)定性同樣受到影響。

2000年，德國弗萊堡大學(xué)的leonhardreindl和r.steindl等人將聲表面波技術(shù)與磁阻效應(yīng)結(jié)合應(yīng)用于電流測量中，目前已經(jīng)實驗獲得了在-800a到800a的大電流檢測范圍內(nèi)檢測精度為5％的無線無源基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器。但是從目前的實驗報道來看，這種聲表面波與磁阻效應(yīng)結(jié)合的電流檢測技術(shù)在靈敏度與溫度穩(wěn)定性等方面遇到一些瓶頸問題。首先，基于磁阻效應(yīng)的磁敏材料在大電流檢測中磁場敏感度不夠高，傳感器采用聲表面波器件時，域幅度響應(yīng)作為傳感量，導(dǎo)致電流檢測的靈敏度及精度均不高。此外，此電流檢測技術(shù)缺乏環(huán)境溫度變化的補(bǔ)償方法、物理功能結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計以及傳感機(jī)理模型的系統(tǒng)性認(rèn)知，導(dǎo)致此種技術(shù)離實用化距離甚遠(yuǎn)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有電流傳感器存在的靈敏度低、穩(wěn)定性差及不易實施的缺陷，設(shè)計了一種具有較高檢測靈敏度、良好溫度穩(wěn)定性的基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器，提高了電流檢測的靈敏度、精度及穩(wěn)定性，使聲表面波技術(shù)較為容易實施。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器，該基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器包括：

壓電基片、設(shè)置于壓電基片上的第一延遲線及第二延遲線、相移器、放大器、混頻器及設(shè)置于第二延遲線的叉指換能器之間的磁致伸縮合金薄膜，其中：

第一延遲線、第二延遲線分別構(gòu)成第一振蕩環(huán)路和第二振蕩環(huán)路的一部分；第一振蕩環(huán)路和第二振蕩環(huán)路的輸出經(jīng)所述混頻器混頻；其中，在外部電流產(chǎn)生磁場的作用下，磁致伸縮合金薄膜發(fā)生磁致伸縮應(yīng)變和δe效應(yīng)，使得薄膜尺寸和彈性模量發(fā)生改變，導(dǎo)致聲表面波延遲線振蕩頻率發(fā)生變化，進(jìn)而使得混頻輸出頻率發(fā)生改變。

進(jìn)一步地，所述壓電基片表面設(shè)置一層sio2薄膜。

進(jìn)一步地，所述壓電基片繞y方向旋轉(zhuǎn)128°切割并沿x方向傳播，材質(zhì)為linbo3。

進(jìn)一步地，所述第一延遲線的叉指換能器及第二延遲線的叉指換能器均采用單向單相結(jié)構(gòu)，4個所述叉指換能器的叉指對之間均設(shè)置有反射電極；所述叉指對由兩個寬度為1/8λx的電極組成，兩個所述電極之間間距為1/8λx，所述反射電極的寬度為1/4λx，且所述反射電極與其相應(yīng)的叉指對的邊緣距離為3/16λx，反射電極的材質(zhì)為厚度為1％～1.5％λx的鋁。其中，λx為沿聲波傳播方向的聲波波長，λx＝v/f，v為聲表面波在所述壓電基片上的傳播速度，f為所述第一延遲線/第二延遲線的振蕩頻率。

進(jìn)一步地，所述第一延遲線的第一叉指換能器的反射電極設(shè)置于所述第一叉指換能器的叉指對的右側(cè)，所述第一延遲線的第二叉指換能器的反射電極設(shè)置于所述第二叉指換能器叉指對的左側(cè)，所述第二延遲線與所述第一延遲線具有相同的結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述第一延遲線的第一叉指換能器采用梳狀結(jié)構(gòu)，所述第一叉指換能器上的梳齒與所述第三叉指換能器上的梳齒之間的中心間距與所述第二叉指換能器的長度相等，所述第一叉指換能器與所述第二叉指換能器之間的中心間距與所述第一叉指換能器的長度相同，所述第二延遲線與所述第一延遲線具有相同的結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，，所述第一叉指換能器的梳齒之間填充電極的寬度及邊緣間距均為1/8λx，所述第二延遲線與所述第一延遲線具有相同的結(jié)構(gòu)，其中，λx為沿聲波傳播方向的聲波波長，λx＝v/f，v為所述聲表面波在所述壓電基片上的傳播速度，f為所述第一延遲線/第二延遲線的振蕩頻率。

進(jìn)一步地，，所述磁致伸縮合金薄膜采用膜厚為300～700nm的鐵鎳合金(fe:49％，ni:51％)。

進(jìn)一步地，所述磁致伸縮合金薄膜與其兩側(cè)的第一叉指換能器及第二叉指換能器之間的邊緣間隔均為n×λx，其中，n為整數(shù)，取值為3到10之間，λx為沿聲波傳播方向的聲波波長，λx＝v/f，v為所述聲表面波在所述壓電基片上的傳播速度，f為所述第一延遲線/第二延遲線的振蕩頻率。

進(jìn)一步地，所述磁致伸縮合金薄膜沿x方向的長度為w，沿y方向的長度為0.5w，其中，w為所述第一叉指換能器的聲孔徑，所述第一延遲線的叉指指換能器及所述第二延遲線的叉指指換能器的聲孔徑均相同。

進(jìn)一步地，所述磁致伸縮合金薄膜中心間距的高度小于所述第一叉指換能器/所述第二叉指換能器/所述第三叉指換能器/所述第四叉指換能器的聲孔徑。

進(jìn)一步地，所述第一叉指換能器及第三叉指換能器的長度均為100～600λx；所述第二叉指換能器及第四叉指換能器的長度均為30～100λx，其中，λx為沿聲波傳播方向的聲波波長，λx＝v/f，v為所述聲表面波在所述壓電基片上的傳播速度，f為所述第一延遲線/第二延遲線的振蕩頻率。

本發(fā)明實施例提供的一種基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器采用平行且同向的雙延遲線差分結(jié)構(gòu)，采用linbo3為壓電基片，采用sio2薄膜改善壓電基片的溫度穩(wěn)定性，并采用磁致伸縮合金薄膜來響應(yīng)電流，具有較高的檢測靈敏度、良好的溫度穩(wěn)定性及易實施性，有效地解決了目前電流傳感器存在的檢測靈敏度低、溫度穩(wěn)定性差及不易實施的問題。

附圖說明

圖1(a)為霍爾型電流傳感器立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖1(b)為光纖型電流傳感器立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖1(c)為無線無源基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明一實施例提供的一種基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明一實施例提供的一種基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器的第一叉指換能器/第二叉指換能器/第三叉指換能器/第四叉指換能器的平面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4(a)為本發(fā)明一實施例提供的一種基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器的第一延遲線的幅頻響應(yīng)曲線示意圖；

圖4(b)為本發(fā)明一實施例提供的一種基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器的第一延遲線的相頻響應(yīng)曲線示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明具體實施例作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

下面以圖2為例說明本發(fā)明一實施例提供的基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器的具體結(jié)構(gòu)組成及工作過程。

如圖2所示，本發(fā)明一實施例提供的基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器包括：一塊壓電基片(圖中未標(biāo)出)、設(shè)置于壓電基片表面的第一延遲線和第二延遲線、相移器5、放大器6、混頻器11、分布于第一延遲線和第二延遲線兩端的吸聲膠(圖中未標(biāo)出)、覆蓋于第一延遲線和第二延遲線表面的sio2薄膜1及設(shè)置于第二延遲線的叉指換能器之間的磁致伸縮合金薄膜2。

其中，壓電基片為具有高壓電系數(shù)的繞y方向旋轉(zhuǎn)128°切割且沿x方向傳播的linbo3壓電基片。第一延遲線的叉指換能器及第二延遲線的叉指換能器均采用單向單相結(jié)構(gòu)，第一延遲線的叉指換能器和第二延遲線的叉指換能器均采用鋁電極且電極膜厚為1％～1.5％λx。磁致伸縮合金薄膜2采用膜厚為500nm的鐵鎳合金(fe:51％，ni:49％)。磁致伸縮鐵鎳合金薄膜2沿x方向的長度為w，y方向的長度為0.5w。其中，w為第一延遲線和第二延遲線的叉指換能器的聲孔徑。所述鐵鎳合金薄膜與其兩側(cè)的兩個叉指換能器之間的邊緣間隔均為n×λx，n為整數(shù)，取值為3到10之間,其中，λx為沿聲波傳播方向的聲波波長。該磁致伸縮薄膜尺寸結(jié)構(gòu)的設(shè)計，主要是為了增大薄膜的磁致伸縮效應(yīng)，改善傳感器的靈敏度，并改善傳感器在電流增大和減小時響應(yīng)的一致性。

其中，sio2薄膜1作為溫度補(bǔ)償層，利用兩種溫度系數(shù)相反的特點來降低本發(fā)明實施例提供的基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器本身的溫度系數(shù)，從而達(dá)到提高該聲表面波電流傳感器溫度穩(wěn)定性的目的。

該聲表面波電流傳感器的具體工作過程如下：

s1：第一延遲線的第二叉指換能器7將輸入的電信號轉(zhuǎn)換為聲表面波信號在壓電基片表面?zhèn)鞑ィ?/p>

s2：第一延遲線的第一叉指換能器4接收轉(zhuǎn)化后的聲表面波信號，并將聲表面波信號轉(zhuǎn)換為電信號；

s3：轉(zhuǎn)換后的電信號經(jīng)過第一相移器5將相位移動后再經(jīng)第一放大器6放大；

s4：經(jīng)過一定的時間延遲后，放大后的電信號傳輸給混頻器11(延遲時間t的大小取決于基片材料的聲表面波的相速度v及第一叉指換能器4和第二叉指換能器7之間的間距l(xiāng)，即t＝l/v)；

s5：第二延遲線與第一延遲線同步工作，工作過程與步驟(1)-(3)相同(由于第二延遲線中設(shè)置了鐵鎳合金薄膜，其工作產(chǎn)生的振蕩頻率與第一延遲線工作產(chǎn)生的振蕩頻率有所不同)；

s6：混頻器11計算并輸出第一延遲線的振蕩頻率與第二遲線的振蕩頻率的差(濾掉不需要的頻率分量)；

s7：根據(jù)混頻器11輸出的振蕩頻率，顯示終端顯示所要檢測的電流值(電流值i＝kf，k為一個常數(shù)，其值與所選擇的磁致伸縮合金薄膜有關(guān)，f為混頻器11輸出的振蕩頻率)。

如圖2所示的聲表面波電流傳感器，第一延遲線的第一叉指換能器4的長度為130λx，并分為4組，每組包含梳齒和梳齒之間分布的接地假指，梳齒的長度為10λx，接地假指的長度為1/8λx。第一延遲線的第二叉指換能器7的長度為40λx。第一叉指換能器4與第二叉指換能器7之間的中心距離為60λx。在第一延遲線和第二延遲線表面覆蓋用于溫度補(bǔ)償和叉指保護(hù)的sio2薄膜，膜厚為300nm。第一延遲線的兩叉指換能器之間分布有磁致伸縮鐵鎳合金薄膜，膜厚為500nm，薄膜沿x方向長度為50λx，y方向長度為50λy。磁致伸縮鐵鎳合金薄膜與延遲線的第一叉指換能器和第二叉指換能器的邊緣間距均為5λx，薄膜的分布大小為50λx×50λy。第一延遲線的聲孔徑為60λy。此外，該基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器的第二延遲線與第一延遲線的結(jié)構(gòu)相同，在同一壓電基片上平行且同向設(shè)置。這樣，就獲得了一種新型基于圖形化磁致伸縮薄膜的聲表面波電流傳感器，所制備樣品的面積大小為10mm×5mm，這種情況下該聲表面波電流傳感器工作所產(chǎn)生的振蕩頻率為80mhz。

其中，磁致伸縮合金薄膜2也可以為其他具有相同作用的磁致伸縮合金薄膜。鐵鎳合金具有較為理想的單晶磁致伸縮常數(shù)(約300×10^-6)，不含稀土元素，價格低廉并具有良好的韌性，可以承受拉應(yīng)力和剪應(yīng)力，適用于壓應(yīng)力或拉應(yīng)力條件且能承受振動的應(yīng)用場合，磁致伸縮合金薄膜2的厚度會直接影響到基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器的檢測靈敏度，通過理論分析和實驗驗證最優(yōu)膜厚應(yīng)為500nm。

其中，磁致伸縮合金薄膜2這種長寬比結(jié)構(gòu)設(shè)計主要是為了增大薄膜的磁致伸縮效應(yīng)，增大電流傳感器的靈敏度，并改善電流傳感器在電流增大和減小時響應(yīng)的一致性。該磁致伸縮合金薄膜2的長寬比直接影響到其磁致伸縮效應(yīng)和磁滯現(xiàn)象，合金薄膜2的磁致伸縮系數(shù)與其長寬比成正比，磁致伸縮合金薄膜的磁滯效應(yīng)與其長寬比成反比。長寬比如果過小，磁致伸縮效應(yīng)不明顯，如果太大，則會增加磁致伸縮合金薄膜的磁滯現(xiàn)象，進(jìn)而影響電流傳感器在電流增大和減小時響應(yīng)的一致性，因而采用上述最優(yōu)結(jié)構(gòu)。

其中，linbo3壓電基片具有較高的聲波速度，聲波速度可達(dá)3979m/s，該壓電基片的壓電耦合系數(shù)為5.4％，可以改善基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器的損耗與信噪比性能，提高基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器的靈敏度。

如圖2所示的聲表面波電流傳感器，第一叉指換能器4及第三叉指換能器8均采用梳狀結(jié)構(gòu)，即第一叉指換能器4叉指換能器及第三叉指換能器8被周期性的抽走部分叉指對，分成了若干組(從2到5組不等)被稱為梳齒的結(jié)構(gòu)單元。針對第一延遲線而言，梳齒之間的中心間隔與第二叉指換能器7的長度相等，同時第一叉指換能器4和第二叉指換能器7之間的中心間距與第一叉指換能器4的長度相同；針對第二延遲線而言，梳齒之間的中心間隔與第二叉指換能器7的長度相等，同時第二叉指換能器7和第一叉指換能器4之間的中心間距與第一叉指換能器4的長度相同。同時，在第一延遲線的第一叉指換能器的梳齒之間填充電極寬度及邊緣間距均為1/8λx，同樣，第二延遲線的第一叉指換能器的梳齒之間也填充電極寬度及邊緣間距均為1/8λx，以保持在聲傳播路徑上聲波速度的均一性。

其中，λx為沿聲波傳播方向的聲波波長，λx＝v/f，v為所述聲表面波在所述壓電基片上的傳播速度，f為所述第一延遲線/第二延遲線的振蕩頻率。第一延遲線和所述第二延遲線的振蕩頻率近似相等，對λx的值的大小影響較小。

采用該梳狀結(jié)構(gòu)主要用于實現(xiàn)聲表面波器件通帶內(nèi)只有一個相位周期，即在器件通帶內(nèi)滿足振蕩器起振條件的相位對應(yīng)頻率點只有一個，從而提高振蕩器的頻率的穩(wěn)定性。

如圖2所示的聲表面波電流傳感器的第一叉指換能器4的長度及寬度、第二叉指換能器7的長度及寬度、第三叉指換能器8的長度及寬度、第四叉指換能器8的長度、接地假指的長度、反射電極的寬度及叉指對的電極寬度等均不是固定不變的，僅當(dāng)采用鐵鎳合金作為磁致伸縮薄膜時適用，當(dāng)磁致伸縮薄膜的材質(zhì)變化時，相應(yīng)的第一叉指換能器4的長度及寬度、第二叉指換能器7的長度、第三叉指換能器8的長度及寬度、第四叉指換能器8的長度及寬度、接地假指的長度、反射電極的寬度及叉指對的電極寬度等都相應(yīng)要改變。

如圖3所示，第一延遲線的第一叉指換能器4、第二叉指換能器7和應(yīng)用于第二延遲線的第三叉指換能器8及第四叉指換能器3均由叉指對310和分布于叉指對310之間的反射電極311構(gòu)成。叉指對的電極寬度均為1/8λx，且相應(yīng)的電極之間間距均為1/8λx，反射電極311的寬度均為1/4λx，且反射電極311與叉指對310的邊緣距離均為3/16λx?？紤]到本發(fā)明優(yōu)選的實施例提供的基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器采用繞豎直方向旋轉(zhuǎn)128°切割且沿水平方向傳播的linbo3壓電基片，且第一延遲線和第二延遲線的叉指換能器均采用鋁電極，在第一延遲線的第一叉指換能器4和第二延遲線的第三叉指換能器8中，反射電極311置于叉指對310的右邊。與之相反的是，第一延遲線的第二叉指換能器7和第二延遲線的第四叉指換能器3中，反射電極311置于叉指對310的左側(cè)。

從圖4中可以看出，本發(fā)明實施例提供的基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器具有低損耗(損耗小于6db)和單一振蕩模式的特點，也就是說，在作為振蕩器的頻率控制元中，如果該電流傳感器在最低損耗時對應(yīng)的頻率點滿足振蕩器起振要求，則對應(yīng)的相位為a。如果相位偏移180度到b和v頻率點，此時b和v頻率點對應(yīng)的電流傳感器的損耗比a點對應(yīng)頻率點的損耗大10db，這就使b和v對應(yīng)頻率點不能滿足振蕩要求，從而使得該電流傳感器可以穩(wěn)定地在a點起振，實現(xiàn)了電流傳感器的單一振動模式。

本發(fā)明實施例提供的一種基于磁致伸縮效應(yīng)的聲表面波電流傳感器采用平行且同向的雙延遲線差分結(jié)構(gòu)，采用linbo3為壓電基片，采用sio2薄膜改善壓電基片的溫度穩(wěn)定性，并采用磁致伸縮合金薄膜來響應(yīng)電流，消除了外界環(huán)境特別是溫度的影響，具有較高的檢測靈敏度、良好的溫度穩(wěn)定性及易實施性，有效地解決了目前電流傳感器存在的檢測靈敏度低、溫度穩(wěn)定性差及不易實施的問題。

專業(yè)人員應(yīng)該還可以進(jìn)一步意識到，結(jié)合本文中所公開的實施例描述的各示例的單元及算法步驟，能夠以電子硬件、計算機(jī)軟件或者二者的結(jié)合來實現(xiàn)，為了清楚地說明硬件和軟件的可互換性，在上述說明中已經(jīng)按照功能一般性地描述了各示例的組成及步驟。這些功能究竟以硬件還是軟件方式來執(zhí)行，取決于技術(shù)方案的特定應(yīng)用和設(shè)計約束條件。專業(yè)技術(shù)人員可以對每個特定的應(yīng)用來使用不同方法來實現(xiàn)所描述的功能，但是這種實現(xiàn)不應(yīng)認(rèn)為超出本發(fā)明的范圍。

結(jié)合本文中所公開的實施例描述的方法或算法的步驟可以用硬件、處理器執(zhí)行的軟件模塊，或者二者的結(jié)合來實施。軟件模塊可以置于隨機(jī)存儲器(ram)、內(nèi)存、只讀存儲器(rom)、電可編程rom、電可擦除可編程rom、寄存器、硬盤、可移動磁盤、vd-rom、或技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)所公知的任意其它形式的存儲介質(zhì)中。

以上所述的具體實施方式，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施方式而已，并不用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。