技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種基于微橢球空氣腔的光纖壓力傳感器和一種基于微橢球空氣腔的光纖壓力傳感器的制造方法，屬于光纖壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域。包括單模光纖、壓力敏感膜；所述單模光纖上端固定連接所述壓力敏感膜下端，所述單模光纖、所述壓力敏感膜連接處開(kāi)設(shè)空氣法布里?珀羅腔。本發(fā)明中材質(zhì)均為二氧化硅，使得本發(fā)明熱膨脹系數(shù)相同，避免了不同材料高溫失配造成的結(jié)構(gòu)失效，溫度串?dāng)_小，成本低廉；傳感頭制作工藝只需要熔接、切割和研磨，制作工藝簡(jiǎn)單；本裝置中的共焦法布里?珀羅腔與現(xiàn)有技術(shù)中腐蝕工藝或飛秒激光器制作的法布里?珀羅腔相比，干涉腔損耗小，干涉條紋對(duì)比度高，解調(diào)精度高。

技術(shù)研發(fā)人員：王婷婷;沈娟;葛益嫻;李志鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京信息工程大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.07
技術(shù)公布日：2017.10.27