本發(fā)明涉及激光檢測設(shè)備領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種激光器的功率檢測裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體激光器的額定功率大小是激光工藝參數(shù)的重要指標(biāo)，只有合適的激光功率才能保障激光器和光路系統(tǒng)長時(shí)間穩(wěn)定工作，同時(shí)也是實(shí)現(xiàn)最佳加工質(zhì)量的決定因素，在現(xiàn)有的激光檢測方法中一般通過選擇采光片，將小部分的激光反射到激光檢測器上，通過放大效果來避免干擾強(qiáng)光影響激光檢測中的線性關(guān)系，現(xiàn)有的技術(shù)中一般選擇采用能夠過濾其他雜光并透過小于1％的激光的透光板，將截取的小于1％的激光反射到激光檢測器內(nèi)，來避免其他強(qiáng)光的干擾，由于透光板的技術(shù)要求較高，其設(shè)備制作費(fèi)用較高，其透光板的表面通過鍍膜進(jìn)行分光或者同棱鏡的排列角度進(jìn)行分光，鍍膜在激光長時(shí)間的照射下容易穩(wěn)定下降，另外棱鏡需要在特定角度下安裝對激光進(jìn)行分光，在安裝時(shí)對棱鏡的安裝角度有著高精確度的要求，在確定激光截取率時(shí)，需要反復(fù)試驗(yàn)進(jìn)行確定安裝角度，在使用時(shí)，無論是激光頭還是棱鏡都容易出現(xiàn)偏移導(dǎo)致激光截取率的改變，進(jìn)而導(dǎo)致檢測結(jié)果并不精準(zhǔn)，這樣導(dǎo)致了透光板的穩(wěn)定性較低，容易在透光板穩(wěn)定性下降時(shí)，造成檢測數(shù)據(jù)存在偏差，并且不具有自檢能力。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種激光器的功率檢測裝置，其設(shè)備制作簡單，并且廉價(jià)，并且穩(wěn)定性較高。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案：一種激光器的功率檢測裝置，包括功率檢測組件，該功率檢測組件包括有反光板和激光功率檢測器，所述反光板將激光器發(fā)射的激光反射到激光功率檢測器上進(jìn)行功率檢測，所述反光板周期性反射激光器的激光束，使得激光功率檢測器周期性接收經(jīng)反光板反射的激光。

其有益效果為：反光板相對透光板具有較好的穩(wěn)定性，反光板設(shè)置在激光器發(fā)射光路的前方，反光板與激光器的激光束發(fā)射面形成的夾角和反光板與激光檢測組件的接收面之間的夾角相等，使得光束路徑通過反光板能夠準(zhǔn)確的投射到激光檢測組件的接收面上，反光板接收的激光束反射到檢測組件的接收面，反光板周期性反射激光器的激光束，通過驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)反光板出現(xiàn)在激光器發(fā)射光路前端，其驅(qū)動(dòng)方式可以為帶動(dòng)反光板的在光路上下位置或者側(cè)向位置上推拉或者帶動(dòng)反光板做經(jīng)過光路的圓周運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)其將激光束以一定頻率的能量傳遞給激光功率檢測器，使其能夠在單位時(shí)間內(nèi)將少量的激光束傳送給激光功率檢測器，以減少激光功率檢測器單位時(shí)間內(nèi)所接收的能量，提高激光功率檢測器的檢測精度，替換了傳統(tǒng)的分光鏡在固定位置上反射少量的激光束進(jìn)行檢測激光器的功率，以避免使用分光鏡由于其安裝角度或者不同測試件25以不同角度出射的激光、不同波長的激光或者在其表面鍍膜的不穩(wěn)定導(dǎo)致的誤差。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述激光器的激光束與反光板的接收平面呈45度，且所述反光板的接收平面與激光功率檢測器的接收平面呈45度。

其有益效果為：通過將激光器的激光束與反光板的接收平面和激光功率檢測器的接收平面呈45度，使得激光束的反射路線最短，以減少激光束在反射過程中的能量損耗。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述激光功率檢測器包括依次排列貼合的導(dǎo)熱片、半導(dǎo)體制冷片和恒溫基座，該恒溫基座保持恒定溫度。

其有益效果為：激光束散射到導(dǎo)熱片上，產(chǎn)生熱量，恒溫基座保持溫度恒定，通過導(dǎo)熱片與恒溫基座之間形成溫差使半導(dǎo)體制冷片形成電流差，其電流差通過數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換能夠的計(jì)算出激光束的功率。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述恒溫基座為制冷散熱箱，該制冷散熱箱包括有外殼體，該外殼體為導(dǎo)熱殼體，所述外殼體設(shè)置有進(jìn)水口和出水口，所述外殼體內(nèi)設(shè)置有與進(jìn)水口和出水口相通的容納腔，該進(jìn)水口連接冷凝水管，該出水口連接有回流管，所述進(jìn)水口設(shè)置有電磁閥，所述外殼體上設(shè)置有溫度感應(yīng)器，該溫度感應(yīng)器與電磁閥耦接，控制電磁閥保證恒溫基座保持恒定溫度。

其有益效果為：其制冷散熱箱連接制冷容納腔，通過冷凝水的回流連接對恒溫基座進(jìn)行控溫，恒溫基座與半導(dǎo)體制冷片相貼，恒溫基座控制半導(dǎo)體制冷片的溫度恒定，在外殼體上設(shè)置有實(shí)時(shí)監(jiān)測溫度的溫度傳感器，通過在進(jìn)水口設(shè)置電磁閥與溫度傳感器的耦接，實(shí)現(xiàn)對外殼體的溫度實(shí)時(shí)反饋調(diào)節(jié)，保持恒溫基座的溫度恒定，使得檢測結(jié)果的精確度更高，當(dāng)導(dǎo)熱片接收的激光束越強(qiáng)時(shí)，其溫度越高，和恒溫基座的溫差值越大，由塞貝克效應(yīng)可知其電流會越大。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，反光板的后端連接有驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)反光板勻速轉(zhuǎn)動(dòng)。

其有益效果為：反光板通過驅(qū)動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，使得反光板在特定的角速度下勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，使其平穩(wěn)的以特定的頻率出現(xiàn)在激光光束前端。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述反光板包括接收面呈扇形的反光鏡。

其有益效果為：其反光板上設(shè)置有圓周角呈小角度的扇形的反光鏡，通過將特定的角速度與圓周角相乘得出其截取激光束的時(shí)間為t，激光功率檢測組件能夠檢測出t時(shí)間內(nèi)所述接收的激光束的功，通過將激光束所做的功除以時(shí)間t能夠得出激光功率檢測組件所述接收到的激光束的功率。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述反光鏡為全反射鏡片。

其有益效果為：其反光鏡選擇全反射鏡片，將單位時(shí)間內(nèi)激光器發(fā)射出的激光束全部反射到激光功率檢測裝置上，能夠避免減少透光率來選擇不同種類的透光鏡，其透光鏡由于本身特性所帶來的誤差，并且本實(shí)用的反光板并不是固定在一個(gè)位置上，以周期性運(yùn)動(dòng)出現(xiàn)反射激光器反射的光束，與通過設(shè)置透光鏡或者分光鏡來減少單位時(shí)間內(nèi)的反射的激光束相同，本實(shí)用選擇全反射鏡片并不會使得激光功率檢測裝置過載。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述驅(qū)動(dòng)裝置為電機(jī)，該全反射鏡片一端延伸有平衡板，所述平衡板靠近全反射鏡片一端開有安裝孔，該安裝孔連接電機(jī)的輸出軸，所述平衡板與全反射鏡片在安裝在電機(jī)的輸出軸上時(shí)保持平衡。

其有益效果為：其驅(qū)動(dòng)裝置為電機(jī)，電機(jī)帶動(dòng)反光板保持一定角度進(jìn)行勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，其電機(jī)能夠保持較為穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，電機(jī)的輸出軸通過安裝孔限位，能夠使電機(jī)輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)更加穩(wěn)定，其平衡板與全反射鏡在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)保持平衡，能夠使得轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)保持高精準(zhǔn)度的勻速。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述反光鏡的接收面的圓心角呈1-10°。

其有益效果為：將反光鏡的接收面的圓心角設(shè)置成適應(yīng)所檢測的激光束的光斑大小，其激光束照射到反光鏡上的光斑小于投射處的反光鏡的寬度，使得全反射鏡片在盡量少的時(shí)間內(nèi)接收激光束，使得導(dǎo)熱板在單位時(shí)間內(nèi)能夠更加均勻的將接收到的激光束轉(zhuǎn)換為熱量。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，還包括有固定底板，該固定底板上設(shè)置安裝座，所述安裝座上設(shè)置有“l(fā)”型的安裝板，該“l(fā)”型的安裝板包括垂直設(shè)置的底板和立板，該底板與安裝座固定連接，所述立板固定連接電機(jī)，該立板開有供電機(jī)的輸出軸伸出的通孔，所述激光功率檢測器固定安裝在安裝座上，該激光功率檢測器與激光器的激光束呈水平方向設(shè)置。

其有益效果為：通過將電機(jī)和激光功率檢測器安裝在安裝座上，保持激光功率檢測器與激光器的光束保持水平位置，電機(jī)通過安裝板固定，使得在不影響電機(jī)輸送軸的設(shè)置方向的同時(shí)將電機(jī)固定在安裝座上，保持電機(jī)輸出軸穩(wěn)定輸出轉(zhuǎn)動(dòng)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為激光功率檢測器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為反光板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖5為本發(fā)明電機(jī)的安裝示意圖；

圖6為本發(fā)明的使用狀態(tài)圖。

1、功率檢測組件；2、反光板；3、激光功率檢測器；4、驅(qū)動(dòng)裝置；5、導(dǎo)熱片；6、半導(dǎo)體制冷片；7、恒溫基座；8、外殼體；9、通孔；10、進(jìn)水口；11、出水口；12、冷凝水管；13、回流管；14、電磁閥；15、溫度感應(yīng)器；16、電機(jī)；17、反光鏡；18、平衡板；19、安裝孔；20、固定底板；21、安裝座；22、安裝板；23、底板；24、立板；25、激光器。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖所給出的實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步的詳述。

參照圖1-6所示，本實(shí)施例公開的一種激光器的功率檢測裝置，包括功率檢測組件1，該功率檢測組件1包括有反光板2和激光功率檢測器3，所述反光板2將激光器發(fā)射的激光反射到激光功率檢測器3上進(jìn)行功率檢測，所述反光板2周期性反射激光器的激光束，使得激光功率檢測器3周期性接收經(jīng)反光板2反射的激光。

反光板2相對透光板具有較好的穩(wěn)定性，反光板2設(shè)置在激光器發(fā)射光路的前方，反光板2與激光器的激光束發(fā)射面形成的夾角和反光板2與激光檢測組件的接收面之間的夾角相等，使得光束路徑通過反光板2能夠準(zhǔn)確的投射到激光檢測組件的接收面上，反光板2接收的激光束反射到檢測組件的接收面，反光板2周期性反射激光器的激光束，通過驅(qū)動(dòng)裝置4帶動(dòng)反光板2出現(xiàn)在激光器發(fā)射光路前端，其驅(qū)動(dòng)方式可以為帶動(dòng)反光板2的在光路上下位置或者側(cè)向位置上推拉或者帶動(dòng)反光板2做經(jīng)過光路的圓周運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)其將激光束以一定頻率傳遞給激光功率檢測器3，使其能夠在單位時(shí)間內(nèi)將少量的激光束傳送給激光功率檢測器3，以減少激光功率檢測器3單位時(shí)間內(nèi)所接收的能量，提高激光功率檢測器3的檢測精度，替換了傳統(tǒng)的分光鏡在固定位置上反射少量的激光束進(jìn)行檢測激光器的功率，以避免使用分光鏡由于其安裝角度或者在其表面鍍膜的不穩(wěn)定導(dǎo)致的誤差。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，所述激光器的激光束與反光板2的接收平面呈45度，且所述反光板2的接收平面與激光功率檢測器3的接收平面呈45度。

通過將激光器的激光束與反光板2的接收平面和激光功率檢測器3的接收平面呈45度，使得激光束的反射路線最短，以減少激光束在反射過程中的能量損耗。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，所述激光功率檢測器3包括依次排列貼合的導(dǎo)熱片5、半導(dǎo)體制冷片6和恒溫基座7，該恒溫基座7保持恒定溫度。

激光束散射到導(dǎo)熱片5上，產(chǎn)生熱量，恒溫基座7保持溫度恒定，通過導(dǎo)熱片5與恒溫基座7之間形成溫差使半導(dǎo)體制冷片6形成電流差，其電流差通過數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換能夠的計(jì)算出激光束的功率。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，所述恒溫基座7為制冷散熱箱，該制冷散熱箱的外殼體8為導(dǎo)熱殼體，所述外殼體8設(shè)置有進(jìn)水口10和出水口11，所述外殼體8內(nèi)設(shè)置有與進(jìn)水口10和出水口11相通的容納腔，該進(jìn)水口10連接冷凝水管12，該出水口11連接有回流管13，所述進(jìn)水口10設(shè)置有電磁閥14，所述外殼體8上設(shè)置有溫度感應(yīng)器15，該溫度感應(yīng)器15與電磁閥14耦接，控制電磁閥14保證恒溫基座7保持恒定溫度。

其制冷散熱箱連接制冷容納腔，通過冷凝水的回流連接對恒溫基座7進(jìn)行控溫，恒溫基座7與半導(dǎo)體制冷片6相貼，在外殼體8上設(shè)置有實(shí)時(shí)監(jiān)測溫度的溫度傳感器，通過在進(jìn)水口10設(shè)置電磁閥14與溫度傳感器的耦接，實(shí)現(xiàn)對恒溫基座7的溫度實(shí)時(shí)反饋調(diào)節(jié)，保持半導(dǎo)體制冷片6的冷端的溫度恒定，使得檢測結(jié)果的精確度更高，當(dāng)導(dǎo)熱片5接收的激光束越強(qiáng)時(shí)，其半導(dǎo)體制冷片6的熱端接收的溫度越高，和其冷端的溫差值越大，由塞貝克效應(yīng)可知其電流會越大。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，反光板2的后端連接有驅(qū)動(dòng)裝置4，所述驅(qū)動(dòng)裝置4帶動(dòng)反光板2勻速轉(zhuǎn)動(dòng)。

反光板2通過驅(qū)動(dòng)裝置4轉(zhuǎn)動(dòng)，使得反光板2在特定的角速度下勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，使其平穩(wěn)的以特定的頻率出現(xiàn)在激光光束前端。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，所述反光板2包括接收面呈扇形的反光鏡17。

其反光板2上設(shè)置有圓周角呈小角度的扇形的反光鏡17，通過將特定的角速度與圓周角相乘得出其截取激光束的時(shí)間為t，激光功率檢測組件1能夠檢測出t時(shí)間內(nèi)所述接收的激光束的功，通過將激光束所做的功除以時(shí)間t能夠得出激光功率檢測組件1所述接收到的激光束的功率。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，所述反光鏡17為全反射鏡片。

其反光鏡17選擇全反射鏡片，將單位時(shí)間內(nèi)激光器發(fā)射出的激光束全部反射到激光功率檢測裝置上，能夠避免減少透光率來選擇不同種類的透光鏡，其透光鏡由于本身特性所帶來的誤差，并且本實(shí)用的反光板2并不是固定在一個(gè)位置上，以周期性運(yùn)動(dòng)出現(xiàn)反射激光器反射的光束，與通過設(shè)置透光鏡或者分光鏡來減少單位時(shí)間內(nèi)的反射的激光束相同，本實(shí)用選擇全反射鏡片并不會使得激光功率檢測裝置過載。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，所述驅(qū)動(dòng)裝置4為電機(jī)16，該全反射鏡片一端延伸有平衡板18，所述平衡板18靠近全反射鏡片一端開有安裝孔19，該安裝孔19連接電機(jī)16的輸出軸，所述平衡板18與全反射鏡片在安裝在電機(jī)16的輸出軸上時(shí)保持平衡。

其驅(qū)動(dòng)裝置4為電機(jī)16，電機(jī)16帶動(dòng)反光板2保持一定角度進(jìn)行勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，其電機(jī)16能夠保持較為穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，電機(jī)16的輸出軸通過安裝孔19限位，能夠使電機(jī)16輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)更加穩(wěn)定，其平衡板18與全反射鏡在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)保持平衡，能夠使得轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)保持高精準(zhǔn)度的勻速。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，所述反光鏡17的接收面的圓心角呈1-10°。

將反光鏡17的接收面的圓心角設(shè)置成適應(yīng)所檢測的激光束的光斑大小，其激光束照射到反光鏡17上的光斑小于投射處的反光鏡17的寬度，使得全反射鏡片在盡量少的時(shí)間內(nèi)接收激光束，使得導(dǎo)熱板在單位時(shí)間內(nèi)能夠更加均勻的將接收到的激光束轉(zhuǎn)換為熱量。

作為改進(jìn)的一種具體實(shí)施方式，還包括有固定底板20，該固定底板20上設(shè)置安裝座21，所述安裝座21上設(shè)置有“l(fā)”型的安裝板22，該“l(fā)”型的安裝板22包括垂直設(shè)置的底板23和立板24，該底板23與安裝座21固定連接，所述立板24固定連接電機(jī)16，該立板24開有供電機(jī)16的輸出軸伸出的通孔9，所述激光功率檢測器3固定安裝在安裝座21上，該激光功率檢測器3與激光器的激光束呈水平方向設(shè)置。

通過將電機(jī)16和激光功率檢測器3安裝在安裝座21上，保持激光功率檢測器3與激光器的光束保持水平位置，電機(jī)16通過安裝板22固定，使得在不影響電機(jī)16輸送軸的設(shè)置方向的同時(shí)將電機(jī)16固定在安裝座21上，保持電機(jī)16輸出軸穩(wěn)定輸出轉(zhuǎn)動(dòng)。

綜上所述，本發(fā)明公開的一種激光器的功率檢測裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，能夠廣泛應(yīng)用到激光器25的出廠自檢或者產(chǎn)品研發(fā)檢驗(yàn)過程，其通過反光板22反射激光束，在特定頻率下通過預(yù)設(shè)反射一小段時(shí)間內(nèi)的激光束，等頻率檢測一小段時(shí)間內(nèi)的激光束能量得出激光束的功率，求其平均值，使得其檢測結(jié)果穩(wěn)定性和精確度更強(qiáng)。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，本發(fā)明的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本發(fā)明思路下的技術(shù)方案均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理前提下的若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。