本公開涉及玻璃基板的微觀檢測領域，具體地，涉及一種玻璃基板微觀檢測機。

背景技術：

當前，隨著技術的發(fā)展與市場的需求，對平板顯示玻璃基板像素及開口率的要求愈來愈高，因此平板顯示玻璃基板布線向微細化方向發(fā)展，平板顯示玻璃基板陣列細胞化方向發(fā)展，導致檢查平板顯示玻璃基板缺陷更加困難。

目前市場上的微觀檢查機使用光學顯微鏡進行微觀檢測，但是由于只能從光學顯微鏡這一側向玻璃基板照明，導致成像比較模糊，在分析缺陷成因時，存在技術障礙，無法根據(jù)成像照片準確判斷前端工藝存在的問題。

技術實現(xiàn)要素：

本公開的目的是提供一種玻璃基板微觀檢查機，該玻璃基板微觀檢查機在微觀檢查玻璃基板時，能提升光學顯微鏡成像照片清晰度以便于分析缺陷的種類。

為了實現(xiàn)上述目的，本公開提供一種玻璃基板微觀檢查機，包括光學顯微鏡和驅動該光學顯微鏡沿垂直于玻璃基板傳送方向的寬度方向移動的第一驅動裝置，所述玻璃基板微觀檢測機還包括照明裝置以及驅動所述照明裝置隨所述光學顯微鏡同步運動的第二驅動裝置，其中所述光學顯微鏡與所述照明裝置分別位于所述玻璃基板的上下兩側，并且使得所述光學顯微鏡的鏡頭與所述照明裝置在所述玻璃基板上的投光點沿豎直方向對齊設置。

可選地，所述照明裝置沿豎直方向投光，所述照明裝置沿豎直方向位于所述鏡頭的正下方。

可選地，所述第二驅動裝置包括伺服電機和由該伺服電機驅動的同步帶電缸，所述照明裝置安裝在沿所述寬度方向延伸的該同步帶電缸上。

可選地，所述第一驅動裝置包括伺服直線電機，所述光學顯微鏡可滑動地安裝在沿所述寬度方向延伸的第一橫梁上，并通過所述伺服直線電機驅動。

可選地，所述玻璃基板微觀檢查機還包括控制所述伺服直線電機和所述伺服電機同步工作的控制系統(tǒng)。

可選地，所述同步帶電缸通過沿所述寬度方向間隔布置的多個支腿支撐。

可選地，所述玻璃基板由氣浮平臺傳送，所述光學顯微鏡沿所述寬度方向在所述氣浮平臺的上方運動，所述照明裝置沿所述寬度方向在所述氣浮平臺的下方運動，所述氣浮平臺上設置有沿所述寬度方向延伸的狹縫，該狹縫位于所述投光點的正下方。

可選地，所述照明裝置包括安裝座、燈箱和透鏡，所述安裝座與所述第二驅動裝置相連，所述燈箱安裝在所述安裝座上方，所述透鏡安裝在所述燈箱的上方。

可選地，所述燈箱和所述透鏡之間安裝有焦距調節(jié)機構。

可選地，所述焦距調節(jié)機構包括調節(jié)電機、主動輪和焦距調節(jié)旋鈕，所述調節(jié)電機安裝在所述燈箱的側壁并且輸出軸沿豎直方向向上延伸，所述主動輪安裝在所述輸出軸上并通過皮帶與所述焦距調節(jié)旋鈕傳動相連，以通過該所述焦距調節(jié)旋鈕的轉動調節(jié)所述透鏡和所述燈箱之間的距離。

通過上述技術方案，由于配置了位于玻璃基板下方的照明裝置，并且使投光點和鏡頭豎直對齊，能夠大幅提升光學顯微鏡成像照片的清晰度，便于分析缺陷的種類。

本公開的其他特征和優(yōu)點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本公開的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本公開，但并不構成對本公開的限制。在附圖中：

圖1是本公開示例性實施方式提供的玻璃基板檢查機安裝狀態(tài)下的立體結構示意圖；

圖2是圖1中A部的放大結構示意圖；

圖3是光學顯微鏡和照明系統(tǒng)工作狀態(tài)下的側視結構視圖；

圖4是本公開示例性實施方式提供的照明裝置和第二驅動裝置在安裝狀態(tài)下的立體結構示意圖；

圖5是圖4裝置的側視結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本公開的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本公開，并不用于限制本公開。

在本公開中，在未作相反說明的情況下，使用的方位詞如“上、下、豎直方向”是以本公開提供的檢查機正常工作的狀態(tài)下定義的，“內、外”則是是指相應部件輪廓的內和外。

如圖1至圖5所示，本公開在示例性實施方式中提供一種玻璃基板微觀檢查機，包括光學顯微鏡1和驅動該光學顯微鏡1沿垂直于玻璃基板7傳送方向的寬度方向移動的第一驅動裝置2，即，光學顯微鏡1的移動方向可以定義為“寬度方向”。其中玻璃基板7可以在氣浮平臺5上進行傳送，此時光學顯微鏡1的移動方向垂直于氣浮平臺5的延伸方向。其中氣浮平臺5是玻璃基板運輸領域的常用部件，其通過開有氣孔的氣浮板均應地噴出氣體，從而使得放在氣浮板上的玻璃基板在極小磨損的情況下進行輸送。為了實現(xiàn)玻璃基板的移動，氣浮平臺5的兩側可以安裝直線電機等驅動裝置來驅動夾持玻璃基板的移動夾等玻璃基板固定裝置，其中氣浮平臺5的兩側可以設置大理石橫梁，大理石橫梁平面度好并且尺寸受環(huán)境溫度影響小，因此能夠使得玻璃基板固定裝置可以沿大理石橫梁在氣浮平臺5上穩(wěn)定輸送玻璃基板。

其中，為了實現(xiàn)光學顯微鏡1的運動，在本實施方式中，第一驅動裝置2可以包括伺服直線電機21，而光學顯微鏡1可滑動地安裝在沿寬度方向延伸的第一橫梁12上，并通過伺服直線電機21驅動，從而實現(xiàn)沿寬度方向的直線運動，由于玻璃基板7可以沿氣浮平臺5傳送，因此光學顯微鏡1的檢查區(qū)域可以覆蓋玻璃基板7的任意位置。其中第一橫梁12也可以為大理石橫梁。在其他實施方式中，還可以通過伺服電機帶動絲杠螺母機構實現(xiàn)光學顯微鏡的直線移動。

在本實施方式中，如圖2和圖4所示，玻璃基板微觀檢測機還包括照明裝置3以及驅動照明裝置3隨光學顯微鏡1同步運動的第二驅動裝置4，其中光學顯微鏡與照明裝置3分別位于玻璃基板7的上下兩側，并且使得光學顯微鏡1的鏡頭11與照明裝置在玻璃基板7上的投光點沿豎直方向對齊設置。

因此，由于配置了位于玻璃基板7下方的照明裝置3，并且使投光點和鏡頭11豎直對齊，即，照明裝置3能夠從玻璃基板1的下方向玻璃基板投射光線，從而大幅提升位于玻璃基板7上方的光學顯微鏡成像照片的清晰度，便于分析缺陷的種類。

其中，具體地，如圖3所示，照明裝置3沿豎直方向投光，照明裝置3沿豎直方向位于鏡頭11的正下方。在其他實施方式中，照明裝置3也可以傾斜投光，只要保證投光點位于鏡頭11的下方即可。

在本實施方式中，如圖4所示，第二驅動裝置4包括伺服電機41和由該伺服電機驅動的同步帶電缸42，照明裝置安裝在沿寬度方向延伸的該同步帶電缸42上，從而實現(xiàn)照明裝置3與光學顯微鏡1同步運動。具體地，玻璃基板微觀檢查機可以還包括控制伺服直線電機21和伺服電機41同步工作的控制系統(tǒng)，即通過控制系統(tǒng)的程序設定實現(xiàn)伺服電機41和伺服直線電機21的同步控制，精度高。其中如何通過程序控制伺服電機運動是本領域技術人員公知的技術，在此不做過多贅述。另外，伺服電機和同步帶電缸均為本領域公知的部件，具有運行精度高和平穩(wěn)的優(yōu)點，例如可采用東莞市炯一機電設備有限公司銷售的鼎格/標準型同步帶電缸。在其他實施方式中，照明裝置3和第二驅動裝置4還可以其他各種直線移動方式，例如伺服電機配合滾珠絲桿機構等等。

為了使得結構穩(wěn)定，如圖4所示，同步帶電缸42通過沿寬度方向間隔布置的多個支腿43支撐。

另外，為了配合光學顯微鏡1在上，照明裝置3在下的布局方式，設計光學顯微鏡沿寬度方向在氣浮平臺5的上方運動，照明裝置3沿寬度方向在氣浮平臺5的下方運動，并且如圖2和圖3所示，氣浮平臺上設置有沿寬度方向延伸的狹縫51，例如設置兩塊相鄰的氣浮板之間具有間隙即可，該狹縫51位于投光點的正下方，即，照明裝置透視的光線能夠通過狹縫51穿過氣浮平臺5的氣浮板從而實現(xiàn)本公開的目的。其中狹縫51的寬度滿足光線通過即可，因此不影響氣浮平臺5的正常工作。

在本實施方式中，如圖5所示，照明裝置3包括安裝座31、燈箱32和透鏡33，安裝座31與第二驅動裝置4相連，燈箱安裝在安裝座31上方，透鏡33安裝在燈箱32的上方。其中透鏡33可以選用菲尼爾透鏡，通過透鏡33可以使得燈箱32發(fā)出的光線聚焦在玻璃基板5上，從而形成與光學顯微鏡1的鏡頭11對齊的投光點。

進一步地，燈箱32和透鏡之間安裝有焦距調節(jié)機構6，從而實現(xiàn)光學顯微鏡圖像清晰度的調節(jié)功能。具體地，如圖5所示，在本實施方式中，焦距調節(jié)機構6可以包括調節(jié)電機61、主動輪62和焦距調節(jié)旋鈕63，其中，調節(jié)電機61安裝在燈箱32的側壁并且輸出軸沿豎直方向向上延伸，主動輪62安裝在輸出軸上并通過皮帶64與焦距調節(jié)旋鈕63傳動相連，以通過該焦距調節(jié)旋鈕63的轉動調節(jié)透鏡33和燈箱32之間的距離從而實現(xiàn)焦距的調節(jié)。其中作為一種實施方式中，焦距調節(jié)旋鈕63可轉動地套設在燈箱32上，而透鏡33可以通過螺紋方式與焦距調節(jié)旋鈕63配合，從而在調節(jié)電機61接收到控制信號后，通過皮帶64轉動焦距調節(jié)旋鈕63，繼而實現(xiàn)焦距的調節(jié)。

以上結合附圖詳細描述了本公開的優(yōu)選實施方式，但是，本公開并不限于上述實施方式中的具體細節(jié)，在本公開的技術構思范圍內，可以對本公開的技術方案進行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本公開的保護范圍。

另外需要說明的是，在上述具體實施方式中所描述的各個具體技術特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進行組合，為了避免不必要的重復，本公開對各種可能的組合方式不再另行說明。

此外，本公開的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合，只要其不違背本公開的思想，其同樣應當視為本公開所公開的內容。