本實(shí)用新型涉及干涉儀技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種器件視覺鏡頭干涉儀。

背景技術(shù)：

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計(jì)量測試方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化，在測試器件視覺鏡頭時(shí)需要將器件視覺鏡頭安裝在第二個(gè)反射鏡的前側(cè)，但是器件視覺鏡頭的大小各不相同，傳統(tǒng)的激光干涉儀難以滿足需要，因此需要一種檢測器件視覺鏡頭的激光干涉儀。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種器件視覺鏡頭干涉儀。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種器件視覺鏡頭干涉儀，包括基板，所述基板的上方垂直焊接有反光鏡安裝板，所述反光鏡安裝板的一側(cè)開設(shè)有矩形容納槽，所述容納槽的內(nèi)部安裝有反光鏡，所述反光鏡遠(yuǎn)離反光鏡安裝板的一側(cè)安裝有與基板固定連接的鏡片安裝板，所述鏡片安裝板靠近反光鏡的一側(cè)開設(shè)有貫穿鏡片安裝板的圓柱形透光孔，所述鏡片安裝板遠(yuǎn)離基板的一側(cè)開設(shè)有與透光孔連通的矩形滑槽，所述滑槽的內(nèi)部滑動(dòng)連接有夾持機(jī)構(gòu)，所述基板遠(yuǎn)離反光鏡安裝板的一側(cè)垂直焊接有活動(dòng)桿，所述活動(dòng)桿的另一端活動(dòng)套接有固定套筒，所述活動(dòng)桿伸入固定套筒的一端安裝有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)包括與滑槽滑動(dòng)連接的放置板，所述放置板上開設(shè)有矩形安裝槽，所述安裝槽上開設(shè)有貫穿放置板的圓柱形通孔，所述通孔沿其軸線陣列安裝有圓弧形夾板，所述夾板的外凸面垂直焊接伸縮桿，所述伸縮桿的兩側(cè)對稱安裝有彈簧。

優(yōu)選的，所述伸縮桿包括與夾板固定連接的固定桿，所述固定桿的另一端活動(dòng)套接有與安裝槽側(cè)壁固定連接的套筒。

優(yōu)選的，所述夾板的內(nèi)凹面位于夾板靠近通孔圓形的一側(cè)。

優(yōu)選的，所述夾板的內(nèi)凹面沿其長度方向開設(shè)有圓弧形對接槽。

優(yōu)選的，所述活動(dòng)桿沿其長度方向安裝有刻度尺。

優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括直齒條、齒輪和轉(zhuǎn)軸，所述直齒條位于活動(dòng)桿伸入固定套筒的一端，且直齒條沿活動(dòng)桿長度方向設(shè)置，直齒條的一側(cè)嚙合有齒輪，齒輪的內(nèi)部固定套接有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸伸出固定套筒的一端固定套接有轉(zhuǎn)盤。

本實(shí)用新型的有益效果：

通過在基板上設(shè)置的活動(dòng)桿、固定套筒和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了檢測鏡片高度的調(diào)節(jié)；通過設(shè)置的放置板、安裝槽、通孔、夾板、伸縮桿和彈簧，將檢測鏡片放置在夾板的圓弧形對接槽內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)了不同尺寸的鏡片的檢測，提高了干涉儀的適用性和通用性，減少了干涉儀成本的投入，節(jié)省成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型提出的一種器件視覺鏡頭干涉儀的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型提出的一種器件視覺鏡頭干涉儀夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1基板、2反光鏡安裝板、3容納槽、4反光鏡、5鏡片安裝板、6透光孔、7滑槽、8夾持機(jī)構(gòu)、9活動(dòng)桿、10固定套筒、11調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、12放置板、13安裝槽、14通孔、15夾板、16伸縮桿、17彈簧。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。

參照圖1-2，一種器件視覺鏡頭干涉儀，包括基板1，基板1的上方垂直焊接有反光鏡安裝板2，反光鏡安裝板2的一側(cè)開設(shè)有矩形容納槽3，容納槽3的內(nèi)部安裝有反光鏡4，反光鏡4遠(yuǎn)離反光鏡安裝板2的一側(cè)安裝有與基板1固定連接的鏡片安裝板5，鏡片安裝板5靠近反光鏡4的一側(cè)開設(shè)有貫穿鏡片安裝板5的圓柱形透光孔6，鏡片安裝板5遠(yuǎn)離基板1的一側(cè)開設(shè)有與透光孔6連通的矩形滑槽7，滑槽7的內(nèi)部滑動(dòng)連接有夾持機(jī)構(gòu)8，基板1遠(yuǎn)離反光鏡安裝板2的一側(cè)垂直焊接有活動(dòng)桿9，活動(dòng)桿9的另一端活動(dòng)套接有固定套筒10，活動(dòng)桿9伸入固定套筒10的一端安裝有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)11，夾持機(jī)構(gòu)8包括與滑槽7滑動(dòng)連接的放置板12，放置板12上開設(shè)有矩形安裝槽13，安裝槽13上開設(shè)有貫穿放置板12的圓柱形通孔14，通孔14沿其軸線陣列安裝有圓弧形夾板15，夾板15的外凸面垂直焊接伸縮桿16，伸縮桿16的兩側(cè)對稱安裝有彈簧17。

伸縮桿16包括與夾板15固定連接的固定桿，固定桿的另一端活動(dòng)套接有與安裝槽13側(cè)壁固定連接的套筒，夾板15的內(nèi)凹面位于夾板15靠近通孔14圓形的一側(cè)，夾板15的內(nèi)凹面沿其長度方向開設(shè)有圓弧形對接槽，活動(dòng)桿9沿其長度方向安裝有刻度尺，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)11包括直齒條、齒輪和轉(zhuǎn)軸，直齒條位于活動(dòng)桿9伸入固定套筒10的一端，且直齒條沿活動(dòng)桿9長度方向設(shè)置，直齒條的一側(cè)嚙合有齒輪，齒輪的內(nèi)部固定套接有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸伸出固定套筒10的一端固定套接有轉(zhuǎn)盤。

本實(shí)用新型中，安裝鏡片時(shí)，先將夾持機(jī)構(gòu)8從滑槽7內(nèi)拔出，然后將鏡片放置在夾板15內(nèi)凹面的對接槽內(nèi)，這時(shí)候在伸縮桿16和彈簧17的作用下，使不同尺寸的鏡片夾持在夾持機(jī)構(gòu)8內(nèi)部的安裝槽13內(nèi)，該設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了檢測鏡片高度的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了不同尺寸的鏡片的檢測，提高了干涉儀的適用性和通用性，減少了干涉儀成本的投入，節(jié)省成本。

以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其實(shí)用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。