本實用新型涉及水分測定裝置。

背景技術(shù)：

作為對測定對象(工件)的水分進行測定的水分測定裝置，已知利用具有相對于水的吸收波長的紅外線的裝置。在利用紅外線的水分測定裝置中，將上述紅外線向測定對象照射，算出被測定對象吸收的紅外線的量，由此測定測定對象內(nèi)的水分量。

在上述水分測定裝置的測定對象為光學膜的情況下，紅外線的大多數(shù)通過光學膜。因而，水分測定裝置在向光學膜照射紅外線的照射方向上，在光學膜的后方(背面)側(cè)具備反射板，在照射至光學膜并通過光學膜后的紅外線被反射板朝向光學膜反射之后，檢測通過光學膜后的紅外線。

在向光學膜照射紅外線時，光學膜的紅外線的透射率(或反射率)有時因由光學膜內(nèi)的多重反射引起的光干涉現(xiàn)象而發(fā)生變化。由這樣的光干涉現(xiàn)象引起的透射率(或反射率)的變化未反映光學膜內(nèi)的水分量，因此有時無法準確測定水分。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

于是，本實用新型的目的在于，提供能夠利用紅外線而精度良好地測定光學膜的水分率的水分測定裝置。

本實用新型的水分測定裝置將紅外線向光學膜照射而測定上述光學膜的水分率，所述水分測定裝置的特征在于，具備：照射部，其向作為測定對象的光學膜照射具有相對于水的吸收波長的紅外線；聚光部，其將從上述照射部輸出的上述紅外線轉(zhuǎn)換為會聚光并向上述光學膜入射；反射部，其將入射至上述光學膜并透過上述光學膜后的上述紅外線向上述光學膜側(cè)反射；以及檢測部，其檢測由上述反射部反射且透過上述光學膜后的上述紅外線。

在上述水分測定裝置中，從照射部輸出并入射至光學膜的紅外線通過光學膜并由反射部反射。由反射部反射后的紅外線再次通過光學膜并被檢測部檢測到。在紅外線通過光學膜時，紅外線的一部分被光學膜內(nèi)的水分所吸收。因此，能夠測定出光學膜的水分率。從照射部輸出的紅外線在入射至光學膜之前通過聚光部，從而作為會聚光入射至光學膜。在該情況下，入射至光學膜的紅外線的指向性與不具備聚光部的情況相比得到緩和，因此即使在光學膜內(nèi)發(fā)生多重反射，光干涉現(xiàn)象也被平均化，能夠抑制與光干涉現(xiàn)象相伴的透射率(或反射率)的變化。其結(jié)果是，本實用新型的水分測定裝置能夠精度良好地測定光學膜的水分率。

上述反射部也可以具有第一反射板和以與上述第一反射板交叉的方式設置的第二反射板。在該情況下，利用第一反射板的反射和第二反射板的反射而使從照射部輸出并向光學膜入射的紅外線返回至光學膜側(cè)。因此，容易調(diào)整反射部對紅外線進行反射的反射方向，容易使由反射部反射后的紅外線再次通過光學膜并將其引導至檢測部。

上述第一反射板與上述第二反射板例如也可以正交。

上述聚光部與上述反射部也可以配置為：由上述反射部反射后的上述紅外線以與從上述照射部入射至上述聚光部的上述紅外線的光軸不同的光軸入射至上述聚光部且在上述聚光部聚光。由于由反射部反射后的紅外線以與從上述照射部入射至上述聚光部的上述紅外線的光軸不同的光軸入射至上述聚光部，因此紅外線不容易返回至照射部。而且，由反射部反射后的紅外線由聚光部聚光，因此檢測部能夠檢測到更多的紅外線。

上述會聚光的會聚點可以位于上述光學膜與上述反射部之間。

聚光部也可以具有平凸柱透鏡。通過利用平凸柱透鏡對紅外線進行聚光，從而能夠抑制入射至光學膜2的光的相對于入射角度的強度變化。

上述聚光部的上述光學膜側(cè)的數(shù)值孔徑NA也可以滿足式(1)。

(在式(1)中，n₀為測定環(huán)境的折射率，n為上述光學膜的折射率，λ為上述紅外線的中心波長，t為上述光學膜的厚度)

在該情況下，能夠?qū)⒆鳛槿肷渲凉鈱W膜的會聚光的紅外線所包含的多條光線的光學膜內(nèi)的光路長度差設為5λ以上，因此能夠更進一步降低光學膜所引起的多重反射的影響。

在將上述聚光部的光軸與上述光學膜的上述聚光部側(cè)的面的垂線所成的角度設為θ時，上述θ也可以滿足式(2)。

(在式(2)中，NA為所述聚光部的所述光學膜側(cè)的數(shù)值孔徑，n₀為測定環(huán)境的折射率)

在該情況下，能夠增大紅外線所包含的多條光線中的向光學膜入射的入射角度的幅寬，因此能夠更進一步降低光學膜所引起的的多重反射的影響。

如上所述，根據(jù)本實用新型，可提供能夠利用紅外線而精度良好地測定光學膜的水分率的水分測定裝置。

附圖說明

圖1是表示本實用新型的一實施方式的水分測定裝置的簡要結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2是用于說明聚光部所滿足的條件的例子的圖。

具體實施方式

以下，參照附圖來說明本實用新型的實施方式。對同一要素標注同一附圖標記而省略重復的說明。附圖的尺寸比率與說明的尺寸比率未必一致。

圖1是表示本實用新型的一實施方式的水分測定裝置的簡要結(jié)構(gòu)的示意圖。圖1所示的水分測定裝置1是用于測定光學膜2所包含的水分的比例(水分率)的裝置。水分測定裝置1具備照射部10、反射部20以及檢測部30。在圖1中，示意性地示出了相對于測定對象(工件)即光學膜2配置有水分測定裝置1的狀態(tài)。

照射部10輸出向光學膜2照射的紅外線IR。照射部10構(gòu)成為能夠輸出具有相對于水的吸收波長1.96μm的紅外線。紅外線IR的波長范圍例如是1500nm～2500nm。以下，將從照射部10輸出的紅外線IR所具有的波長范圍稱作“規(guī)定的波長范圍”。在以下的說明中，也有時將從照射部10輸出并向光學膜2照射的紅外線IR稱作“第一紅外線IR1”。

在一實施方式中，如圖1所示，照射部10也可以具有光源11、聚光透鏡12、濾波部13以及反射鏡14。

光源11輸出具有比上述紅外線IR的波長范圍寬的波長范圍的光。光源11例如是輸出白色光的燈。

濾波部13是使來自光源11的輸出光L的波長范圍窄頻帶化而成為規(guī)定的波長范圍來生成照射部10應該輸出的第一紅外線IR1的光學部件。濾波部13可構(gòu)成為，能夠切換選擇性地使中心波長為1.96μm的紅外線通過的第一濾波器、選擇性地使與第一濾波器不同的中心波長的紅外線通過的第二濾波器、以及選擇性地使與第一濾波器及第二濾波器的中心波長不同的中心波長的紅外線通過的第三濾波器。第一濾波器、第二濾波器以及第三濾波器構(gòu)成為以半幅值例如為30nm～40nm的方式使更窄的波長范圍的紅外線通過。在選擇了第一濾波器的情況下，照射部10輸出具有相對于水的吸收波長的紅外線IR。在濾波部13構(gòu)成為能夠切換多個濾波器的實施方式中，只要具有第一濾波器及其他濾波器，則濾波器的數(shù)量就不限定。

聚光透鏡12是為了將來自光源11的輸出光L高效地用作第一紅外線IR1而用于對上述輸出光L進行聚集的光學部件。聚光透鏡12配置于光源11與濾波部13之間。在一實施方式中，聚光透鏡12配置于如下位置：通過使輸出光L(或第一紅外線IR1)會聚后擴散，從而使第一紅外線R1以接近平行光的狀態(tài)入射至后述的聚光部40。

反射鏡14將來自濾波部13的第一紅外線IR1向光學膜2側(cè)反射。在照射部10具有反射鏡14的情況下，反射鏡14的光軸是照射部10的光軸(即，從照射部10輸出的第一紅外線IR1的光軸)。

在照射部10具有光源11、濾波部13、聚光透鏡12以及反射鏡14的實施方式中，在光源11輸出輸出光L時，該輸出光L被聚光透鏡12聚光。由聚光透鏡12聚光后的輸出光L入射至濾波部13，濾波部13選擇性地使規(guī)定的波長范圍的光即紅外線IR(第一紅外線IR1)通過。由此，從照射部10輸出紅外線IR。紅外線IR被反射鏡14朝向光學膜2反射。

反射部20在從照射部10輸出的第一紅外線IR1向光學膜2照射的照射方向上配置于光學膜2的后方(背面?zhèn)?。反射部20是將照射至光學膜2并通過光學膜2后的第一紅外線IR1向光學膜2側(cè)反射的構(gòu)件。以下，也有時將由反射部20反射后的紅外線IR稱作第二紅外線IR2。

檢測部30對由反射部20反射至光學膜2側(cè)并再次通過光學膜2后的紅外線IR(第二紅外線IR2)進行檢測。檢測部30配置于能夠接受第二紅外線IR2的位置即可。例如，如圖1所示，檢測部30在由反射鏡14反射并朝向光學膜2的第一紅外線IR1的行進方向上配置于從反射鏡14的視點觀察時與光學膜2相反一側(cè)。檢測部30具有接受第二紅外線IR2的紅外線檢測器31。紅外線檢測器31對于上述規(guī)定的波長范圍具有受光靈敏度。而且，紅外線檢測器31也可以具有分光功能。作為賦予分光功能的分光機構(gòu)，例如可舉出干涉濾波器等。

在一實施方式中，檢測部30也可以具有檢測光學系統(tǒng)32，該檢測光學系統(tǒng)32將第二紅外線IR2向紅外線檢測器31引導并使第二紅外線IR2入射至紅外線檢測器31。檢測光學系統(tǒng)32具有第一鏡321和第二鏡322。第一鏡321是具有凹面的凹面鏡，以凹面面對光學膜2的方式配置。第一鏡321配置于紅外線檢測器31與反射鏡14之間，且在紅外線檢測器31的前方(反射鏡14側(cè))具有開口部321a。第二鏡322是使由第一鏡321聚集后的第二紅外線IR2穿過上述開口部321a并朝向紅外線檢測器31反射的鏡。第二鏡322可以是平坦的鏡，也可以是朝向紅外線檢測器31側(cè)而具有凸狀的反射面的凸面鏡。

在檢測部30具有檢測光學系統(tǒng)32的實施方式中，第二紅外線IR2被第一鏡321反射并聚集至第二鏡322。聚集至第二鏡322的第二紅外線IR2被第二鏡322反射，從而入射至紅外線檢測器31。由此，能夠由檢測部30高效地檢測第二紅外線IR2。

水分測定裝置1也可以具有解析裝置50，該解析裝置50對由檢測部30檢測出的第二紅外線IR2的檢測結(jié)果進行解析。解析裝置50具有計算機，基于第一紅外線IR1以及第二紅外線IR2的強度變化率(水的吸收波長成分的變化率)來算出光學膜2中的水分率。解析裝置50可以設為與水分測定裝置1分體(例如安裝有規(guī)定的解析軟件的個人計算機)，也可以安裝于水分測定裝置1。

如圖1中示意性地示出那樣，水分測定裝置1也可以具有：殼體61，其收容照射部10以及檢測部30；和筒狀部62，其對從反射鏡14朝向光學膜2的第一紅外線IR1的光路進行遮蓋。筒狀部62中的與殼體61相反一側(cè)的端部由板狀構(gòu)件63封閉，該板狀構(gòu)件63構(gòu)成為能夠使紅外線IR通過。通過具有這樣的殼體61和被板狀構(gòu)件63封閉了一端的筒狀部62，從而能夠防止待檢測的第二紅外線IR2以外的紅外線作為外部干擾光而入射至檢測部30。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)水分測定裝置1的檢測靈敏度的提高。

作為水分測定裝置1的測定對象的光學膜2，例如可舉出在偏振膜的雙面或單面貼合有保護膜的帶保護膜的偏振膜、未貼合保護膜的偏振膜、以及保護膜等。光學膜2的厚度例如是5μm～350μm。光學膜2可以是單片狀，也可以是帶狀。在光學膜2為帶狀的情況下，水分測定裝置1可配置于將光學膜2沿著長邊方向搬運時的搬運路徑。

在圖1所示的水分測定裝置1中，從照射部10輸出后的第一紅外線IR1通過光學膜2之后，被反射部20反射。由反射部20反射后的紅外線IR再次通過光學膜2并被檢測部30(更具體而言被紅外線檢測器31)檢測。

在紅外線IR(第一紅外線IR1)通過光學膜2時，紅外線IR的一部分被光學膜2內(nèi)的水吸收。其結(jié)果是，通過對由檢測部30檢測出的紅外線IR(第二紅外線IR2)中的水的吸收波長的成分量與從照射部10輸出的紅外線IR(第一紅外線IR1)中的水的吸收波長的成分量進行比較，能夠測定出光學膜2的水分率。從照射部10輸出的紅外線IR(第一紅外線IR1)的強度可以使用從照射部10的結(jié)構(gòu)導出的理論值，也可以利用將第一紅外線IR1的一部分作為參照用而分支后對其進行檢測而得到的實測值。或者，例如若濾波部13如前所述構(gòu)成為能夠切換使具有水的吸收波長作為中心波長的紅外線通過的第一濾波器和使其他中心波長的紅外線通過的第二濾波器以及第三濾波器，則能夠通過利用分別使用上述第一濾波器、第二濾波器以及第三濾波器的情況下的測定結(jié)果來算出水分量。在此，說明了利用了第一濾波器、第二濾波器以及第三濾波器的測定結(jié)果的情況，但即使將第一濾波器的測定結(jié)果與第二濾波器以及第三濾波器中的一方的測定結(jié)果組合，也能夠算出水分量。

在向光學膜2照射紅外線IR時，入射至光學膜2的紅外線IR一邊被水吸收一邊通過光學膜2，另一方面，也有時在光學膜2內(nèi)發(fā)生多重反射。向光學膜2照射的紅外線IR(第一紅外線IR1)如前所述具有較窄的波長范圍(例如半幅值為30nm)。因此，在假如由反射鏡14反射并入射至光學膜2的紅外線IR的指向性高時，因光學膜2內(nèi)的多重反射而產(chǎn)生光干涉現(xiàn)象。若因這樣的光干涉現(xiàn)象而每個波長的透射率(或反射率)發(fā)生變動，則光學膜2的水分率的測定誤差增大。尤其是，在光學膜2為帶狀且一邊沿著長邊方向搬運光學膜2一邊測定光學膜2的水分率的情況下，可觀察到該傾向。即，即使將光學膜2以厚度均勻的方式制造，也有時產(chǎn)生作為光學膜2而容許的范圍內(nèi)的若干厚度變動。若與這樣的厚度變動相伴地產(chǎn)生由多重反射引起的上述透射率(或反射率)的變動，則測定結(jié)果的波動(標準偏差)變大，無法實現(xiàn)光學膜2的水分率的準確的測定。

于是，如圖1所示，水分測定裝置1還具備聚光部40，該聚光部40配置于照射部10與光學膜2之間的第一紅外線IR1的光軸(或光路)上。在本實施方式中，如圖1所示，聚光部40在由反射鏡14反射后的第一紅外線IR1的光軸上配置于反射鏡14與光學膜2之間。聚光部40是將從照射部10輸出的第一紅外線IR1轉(zhuǎn)換為會聚光的光學部件，具有聚光透鏡41。聚光部40也可以除了聚光透鏡41以外還具有光闌(較り)，但以下若無特殊說明，聚光部40是聚光透鏡41。由聚光部40會聚后的第一紅外線IR1的會聚點能夠位于光學膜2與反射部20之間。由此，與上述會聚點位于光學膜2的外表面或光學膜2內(nèi)的情況相比，能夠檢查更大的區(qū)域的水分率。另外，會聚點優(yōu)選接近反射部20。這是因為，在會聚點接近反射部20的情況下，返回光通過聚光部40，由此變成接近平行光，能夠由檢測部30高效地檢測。

在水分測定裝置如圖1所示那樣具有殼體61和由板狀構(gòu)件63封閉了的筒狀部62的實施方式中，例如聚光部40能夠安裝于板狀構(gòu)件63。

由于水分測定裝置1具備聚光部40，因此從照射部10輸出的第一紅外線IR1在由聚光部40轉(zhuǎn)換為會聚光之后照射至光學膜2。第一紅外線IR1能夠視作包含多條光線的光束。因而，若第一紅外線IR1作為會聚光入射至光學膜2，則構(gòu)成會聚光的多條光線與以平行光或接近平行光的狀態(tài)入射至光學膜2的情況相比，入射角度產(chǎn)生波動(換言之入射角度分布)。因此，聚光部40將從照射部10輸出的第一紅外線IR1的指向性緩和，并將由光學膜2內(nèi)的紅外線IR的多重反射引起的光干涉現(xiàn)象平均化。在該情況下，與光干涉現(xiàn)象相伴的每個波長的透射率(或反射率)的變動得到抑制，因此能夠精度良好地(換言之更準確地)測定光學膜2內(nèi)的水分率。在厚度的均勻性高的光學膜2中容易產(chǎn)生多重反射，因此水分測定裝置1對于厚度的均勻性高的光學膜2是有效的。

基于聚光部40實現(xiàn)的第一紅外線IR1的上述會聚點的位置優(yōu)選為如下位置：被反射部20反射并再次通過光學膜2后的第二紅外線IR2在入射至聚光部40時，在聚光部40處成為平行光或會聚光。這是因為，由此能夠由檢測部30高效地檢測第二紅外線IR2。在由聚光部40使第二紅外線IR2會聚的情況下，第二紅外線IR2的會聚點優(yōu)選在第二紅外線IR2的光路上位于紅外線檢測器31附近、或者位于紅外線檢測器31的后方。這是因為，能夠高效地將第二紅外線IR2入射至紅外線檢測器31。

圖2是用于說明聚光部40所滿足的條件的例子的圖。在一實施方式中，將聚光部40的光學膜2側(cè)的數(shù)值孔徑設為NA時，可以是NA滿足以下的式(1)的聚光部40。

在式(1)中，n₀為測定環(huán)境(即光學膜2或聚光部40的周圍)的折射率，n為光學膜2的折射率，λ為第一紅外線IR1的中心波長，t為光學膜2的厚度。在光學膜2的周圍為空氣的情況下，n₀為1。

上述式(1)是如下式子：將在經(jīng)過聚光部40的第一紅外線IR1的最大可通過區(qū)域的緣部的第一紅外線IR1的光線中隔著聚光部40的光軸C1而彼此位于相反側(cè)的兩條光線如圖2所示那樣稱作光線r1以及光線r2，在假定聚光部40以使光線r1沿著光學膜2的聚光部40側(cè)的面2a的垂線N入射的方式相對于光學膜2配置的情況下，基于光學膜2內(nèi)的光線r1的光路長度d1與光線r2的光路長度d2之間的光路長度差d為5λ以上這一條件A而算出的式子。光路長度d1由nt表示。在將光線r2向光學膜2入射的入射角度設為θ₁，將通過斯奈爾定律而導出的光線r2向光學膜2內(nèi)出射的出射角設為θ₂的情況下，光路長度d2由(nt/cosθ₂)表示。需要說明的是，θ₁相當于光線r1與光線r2所成的角度。圖2示出了用于說明上述條件A的聚光部40與光學膜2的配置關(guān)系的一例，示出了第一紅外線IR1的光軸(照射部10的光軸C2)與聚光部40的光軸C1一致，且實質(zhì)上平行的第一紅外線IR1入射至聚光部40的情況。面2a的垂線N能夠在面2a的任意的位置定義，但圖2為了方便圖示而在面2a的一個部位以虛線示出了垂線N。

在聚光部40具有滿足式(1)的數(shù)值孔徑NA的實施方式中，構(gòu)成經(jīng)過聚光部40并照射至光學膜2的第一紅外線IR1的多條光線中的任意兩條光線的在光學膜2內(nèi)的光路長度差為5λ以上。因此，能夠更進一步降低前述那樣的多重反射所引起的干涉的影響。

聚光部40的第一紅外線IR1的“最大可通過區(qū)域的緣部”在聚光部40是聚光透鏡41自身的實施方式中為聚光透鏡41的緣部，在聚光部40具有聚光透鏡41和光闌的實施方式中為由光闌劃定的開口(通過區(qū)域)的緣部。

如圖2所示，聚光部40例如能夠以聚光部40的光軸C1相對于光學膜2的聚光部40側(cè)的面2a傾斜的狀態(tài)配置。在一實施方式中，聚光部40的光軸C1與光學膜2的面2a的垂線N所成的角度θ也可以滿足式(2)。

式(2)中的NA是聚光部40的光學膜2側(cè)的數(shù)值孔徑，n₀是測定環(huán)境的折射率。

通過滿足式(2)，例如如圖2所示，將在經(jīng)過聚光部40的第一紅外線IR1的最大可通過區(qū)域的緣部的第一紅外線IR1的光線中隔著聚光部40的光軸C1而彼此位于相反側(cè)的兩條光線稱作光線r1以及光線r2的情況下，能夠使光線r1與垂線N所成的角度為0°以上并且使光線r2與垂線N所成的角度小于90°。在該情況下，能夠增大構(gòu)成經(jīng)過聚光部40并照射至光學膜2的第一紅外線IR1的多條光線的入射角度的幅寬，因此能夠進一步降低多重反射所引起的干涉的影響。

聚光部40可以同時滿足式(1)以及式(2)的條件，也可以滿足其中的任一方。

聚光部40所具有的聚光透鏡41例如可以是平凸柱透鏡。在該情況下，聚光透鏡41以平凸柱透鏡的凸面位于照射部10側(cè)的方式配置。通過使用平凸柱透鏡，能夠抑制入射至光學膜2的會聚光所包含的多條光線的相對于入射角度的強度變化。尤其是，在向平凸柱透鏡入射實質(zhì)上的平行光并作為會聚光而輸出的情況下，能夠抑制上述強度變化。因此，能夠使入射角度不同的光線以盡量相等的強度入射至光學膜2，因此能夠使干涉的影響更加平均化，能夠準確地測定水分率。

例如，在作為聚光透鏡41使用焦距為75mm的平凸柱透鏡，入射至聚光透鏡41的第一紅外線IR1的寬度為35mm且聚光透鏡41的光軸C1相對于光學膜的垂線N傾斜15度的情況下，作為第一紅外線IR1所包含的多條光線的入射角度范圍而能夠確保約0°以上且約18°以下的入射角度范圍。

在聚光透鏡41為平凸柱透鏡的情況下，聚光部40可以同時滿足式(1)以及式(2)的條件，也可以滿足其中的任一方。

在一實施方式中，聚光部40與反射部20配置為：由反射部20反射后的第一紅外線IR1以與從照射部10入射至聚光部40的第一紅外線IR1的光軸不同的光軸入射至聚光部40且由聚光部40會聚。在該情況下，由于由反射部20反射后的第一紅外線IR1以與從上述照射部10入射至上述聚光部40的上述第一紅外線IR1的光軸不同的光軸入射至上述聚光部40，因此第一紅外線IR1不容易返回照射部10。因而，例如照射部10不容易因返回光的影響而受到損傷。而且，由反射部20反射后的第一紅外線IR1由聚光部40聚光，因此檢測部30能夠檢測到更多的第二紅外線IR2。

水分測定裝置1的反射部20也可以具有第一反射板21和第二反射板22。第一反射板21與第二反射板22正交。具體而言，在第一反射板21的端部，以與第一反射板21正交的方式設置有第二反射板22。在反射部20具有第一反射板21和第二反射板22的實施方式中，能夠使得由第一反射板21以及第二反射板22中的一方反射后的第一紅外線IR1由另一方進一步反射并返回至光學膜2側(cè)。因而，容易調(diào)整反射部20對第一紅外線IR1進行反射的反射方向。因此，檢測部30能夠高效地檢測到第二紅外線IR2。

第一反射板21以及第二反射板22的反射面的材料優(yōu)選為金(Au)。在該情況下，能夠抑制在配置有反射部20的環(huán)境的影響下反射率發(fā)生變化，因此能夠穩(wěn)定地檢測第二紅外線IR2。而且，金的對紅外線的反射率高，因此檢測部30能夠檢測到更多的紅外線IR。

以上，說明了本實用新型的各種實施方式。然而，本實用新型不限定于上述的各種實施方式，在不脫離本實用新型的主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變形。

照射部10不限定于圖1所例示的那樣的結(jié)構(gòu)，能夠輸出用于光學膜2的測定的紅外線即可。在反射部20具有第一反射板21和第二反射板22的實施方式中，第一反射板21與第二反射板22交叉即可，第一反射板21與第二反射板22也可以不正交。反射部20不限定于例示的實施方式，基于使檢測部30檢測到更多的紅外線的觀點而優(yōu)選回歸反射型的反射部。反射部20也可以是一張反射板。反射部20的反射面的材料也如前所述那樣優(yōu)選是金。

從照射部輸出的紅外線具有相對于水的吸收波長即可。因而，只要具有相對于水的吸收波長，也可以具有比例示的紅外線IR寬的波長范圍。例如，紅外線IR的波長范圍也可以是比1500nm～2500nm更寬的波長范圍。在該情況下，例如，若檢測部30具有分光功能，則能夠檢測到相對于水的吸收波長的強度變化。

例示了聚光部40的光軸C1與照射部10的光軸C2實質(zhì)上一致的實施方式，但聚光部40也可以配置為光軸C1相對于光軸C2發(fā)生若干傾斜。