本實用新型涉及水分測定裝置。

背景技術(shù)：

作為對測定對象(工件)的水分進(jìn)行測定的水分測定裝置，已知利用具有相對于水的吸收波長的紅外線的裝置。在利用紅外線的水分測定裝置中，將上述紅外線向測定對象照射，算出被測定對象吸收的紅外線的量，由此測定測定對象內(nèi)的水分量。

在上述水分測定裝置的測定對象為光學(xué)膜的情況下，紅外線的大多數(shù)通過光學(xué)膜。因而，水分測定裝置在向光學(xué)膜照射紅外線的照射方向上，在光學(xué)膜的后方(背面)側(cè)具備反射板，在照射至光學(xué)膜并通過光學(xué)膜后的紅外線被反射板朝向光學(xué)膜反射之后，檢測通過光學(xué)膜后的紅外線。

在向光學(xué)膜照射紅外線時，光學(xué)膜的紅外線的透射率(或反射率)有時因由光學(xué)膜內(nèi)的多重反射引起的光干涉現(xiàn)象而發(fā)生變化。由這樣的光干涉現(xiàn)象引起的透射率(或反射率)的變化未反映光學(xué)膜內(nèi)的水分量，因此有時無法準(zhǔn)確測定水分。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

于是，本實用新型的目的在于，提供能夠利用紅外線而精度良好地測定出光學(xué)膜的水分率的水分測定裝置。

本實用新型的水分測定裝置將紅外線向光學(xué)膜照射而測定上述光學(xué)膜的水分率，所述水分測定裝置的特征在于，具備：光源部，其輸出具有相對于水的吸收波長且向作為測定對象的光學(xué)膜照射的紅外線；反射板，其將照射至上述光學(xué)膜并透過上述光學(xué)膜后的上述紅外線向上述光學(xué)膜側(cè)反射；檢測部，其檢測由上述反射板反射且透過上述光學(xué)膜后的上述紅外線；以及散射板，其配置于從上述光源部至上述光學(xué)膜的上述紅外線的光路上，且使上述紅外線一邊散射一邊通過。

在上述水分測定裝置中，從光源部輸出且向光學(xué)膜入射的紅外線通過光學(xué)膜并由反射板反射。由反射板反射后的紅外線再次通過光學(xué)膜并由檢測部檢測。在紅外線通過光學(xué)膜時，紅外線的一部分被光學(xué)膜內(nèi)的水分吸收。因此，例如通過對由檢測部檢測出的紅外線中的相對于水的吸收波長的成分量與從光源部輸出的紅外線中的相對于水的吸收波長的成分量進(jìn)行比較，能夠測定出光學(xué)膜的水分率。從光源部輸出的紅外線在入射光學(xué)膜之前通過散射板，因此指向性得到緩和。因而，即使在光學(xué)膜內(nèi)發(fā)生多重反射，光干涉現(xiàn)象也被平均化，與光干涉現(xiàn)象相伴的透射率(或反射率)的變化得到抑制。其結(jié)果是，本實用新型的水分測定裝置能夠精度良好測定出光學(xué)膜的水分率。

也可以是，上述光源部具有：光源，其輸出比上述紅外線的波長范圍寬的波長范圍的光；濾波部，其通過將來自上述光源的輸出光的波長范圍縮窄而生成上述紅外線；以及聚光透鏡，其配置于上述光源與上述濾波部之間，且對來自上述光源的輸出光進(jìn)行聚光。在該情況下，光源的選擇范圍變寬，因此例如能夠降低水分測定裝置的制造成本。而且，由聚光透鏡聚集來自光源的光，因此能夠提高來自光源的輸出光的利用效率。

也可以是，上述水分測定裝置還具有照射光學(xué)系統(tǒng)，該照射光學(xué)系統(tǒng)將從上述光源部輸出的上述紅外線向上述光學(xué)膜照射。在該情況下，能夠?qū)碜怨庠床康募t外線更加可靠地照射至光學(xué)膜的所期望的區(qū)域。

也可以是，上述檢測部具有：紅外線檢測器，其接受上述紅外線；和檢測光學(xué)系統(tǒng)，其使由上述反射板反射且透過上述光學(xué)膜后的上述紅外線向上述紅外線檢測器入射。若采用該檢測部，則能夠利用檢測光學(xué)系統(tǒng)將待檢測的紅外線引導(dǎo)至紅外線檢測器，并由紅外線檢測器檢測出該紅外線。因此，能夠由紅外線檢測器檢測出更多的紅外線。

也可以是，所述水分測定裝置還具備：照射光學(xué)系統(tǒng)，其將來自上述光源部的上述紅外線向上述光學(xué)膜照射；紅外線檢測器，其接受上述紅外線；以及檢測光學(xué)系統(tǒng)，其使由上述反射板反射且透過上述光學(xué)膜后的上述紅外線向上述紅外線檢測器入射，上述光源部具有：光源，其輸出比上述紅外線的波長范圍寬的波長范圍的光；濾波部，其通過將來自上述光源的輸出光的波長范圍縮窄而生成上述紅外線；以及聚光透鏡，其配置于上述光源與上述濾波部之間，且對來自上述光源的輸出光進(jìn)行聚光。

上述紅外線的波長范圍例如是1500nm～2500nm。

也可以是，上述反射板的反射率針對上述紅外線的波長范圍具有96％以上的反射率。由此，即使具備散射板，也能夠確保檢測部接受紅外線的受光量。

上述反射板的反射面的材料例如是金。由此，例如能夠在反射板中針對上述紅外線的波長范圍實現(xiàn)97％以上的反射率。

如上所述，根據(jù)本實用新型，可提供能夠利用紅外線而精度良好地測定光學(xué)膜的水分率的水分測定裝置。

附圖說明

圖1是表示本實用新型的一實施方式的水分測定裝置的簡要結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2是表示采用實驗例1、實驗例2、比較實驗例1以及比較實驗例2所使用的光學(xué)膜而制作的層疊體的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖3是表示實驗例1以及比較實驗例1的實驗結(jié)果的圖。

圖4是表示實驗例2以及比較實驗例2的實驗結(jié)果的圖。

具體實施方式

以下，參照附圖來說明本實用新型的實施方式。對同一要素標(biāo)注同一附圖標(biāo)記而省略重復(fù)的說明。附圖的尺寸比率與說明的尺寸比率未必一致。

圖1是表示本實用新型的一實施方式的水分測定裝置的簡要結(jié)構(gòu)的示意圖。圖1所示的水分測定裝置1是用于對光學(xué)膜2所包含的水分的比例(水分率)進(jìn)行測定的裝置。水分測定裝置1具備光源部10、反射板20、檢測部30、以及散射板40。在圖1中，示意性地示出了相對于測定對象即光學(xué)膜2配置有水分測定裝置1的狀態(tài)。水分測定裝置1也可以具有作為照射光學(xué)系統(tǒng)的反射鏡50。說明水分測定裝置1具有反射鏡50的實施方式。

光源部10輸出向光學(xué)膜2照射的紅外線IR。光源部10構(gòu)成為能夠輸出具有相對于水的吸收波長1.96μm的紅外線。紅外線IR的波長范圍例如是1500nm～2500nm。以下，將從光源部10輸出的紅外線IR所具有的波長范圍稱作“規(guī)定的波長范圍”。在以下的說明中，也有時將從光源部10輸出并向光學(xué)膜2照射的紅外線IR稱作“第一紅外線IR1”。

在一實施方式中，如圖1所示，光源部10也可以具有光源11、聚光透鏡12以及濾波部13。

光源11輸出具有包含上述規(guī)定的波長范圍且比規(guī)定的波長范圍寬的波長范圍的光。光源11例如是輸出白色光的燈。

濾波部13是使來自光源11的輸出光L的波長范圍窄頻帶化而成為規(guī)定的波長范圍來生成光源部10應(yīng)該輸出的第一紅外線IR1的光學(xué)部件。濾波部13可構(gòu)成為，能夠切換選擇性地使中心波長為1.96μm的紅外線通過的第一濾波器、選擇性地使與第一濾波器不同的中心波長的紅外線通過的第二濾波器、以及選擇性地使與第一濾波器及第二濾波器的中心波長不同的中心波長的紅外線通過的第三濾波器。第一濾波器、第二濾波器以及第三濾波器構(gòu)成為以半幅值例如為30nm～40nm的方式使更窄的波長范圍的紅外線通過。在選擇了第一濾波器的情況下，光源部10輸出具有相對于水的吸收波長的紅外線IR。在濾波部13構(gòu)成為能夠切換多個濾波器的實施方式中，只要具有第一濾波器及其他濾波器，則濾波器的數(shù)量就不限定。

聚光透鏡12是為了將來自光源11的輸出光L高效地用作第一紅外線IR1而用于對上述輸出光L進(jìn)行聚集的光學(xué)部件。聚光透鏡12通過使輸出光L(或第一紅外線IR1)會聚之后擴(kuò)散，從而以使輸出光L(或第一紅外線IR1)照射至光學(xué)膜2的一定區(qū)域的方式配置于光源11與濾波部13之間。在一實施方式中，聚光透鏡12可以配置為以使第一紅外線IR1接近平行光的狀態(tài)入射至光學(xué)膜2。

在光源部10具有光源11、聚光透鏡12以及濾波部13的實施方式中，在光源11輸出輸出光L時，該輸出光L被聚光透鏡12聚光。由聚光透鏡12聚光后的輸出光L入射至濾波部13，濾波部13選擇性地使規(guī)定的波長范圍的光、即紅外線(第一紅外線IR1)通過。由此，從光源部10輸出具有規(guī)定的波長范圍的紅外線IR。

反射鏡50將來自光源部10的第一紅外線IR1向光學(xué)膜2側(cè)反射。反射鏡50在本實施方式中作為用于將從光源部10輸出的第一紅外線IR1向光學(xué)膜2引導(dǎo)而照射至光學(xué)膜2的照射光學(xué)系統(tǒng)而發(fā)揮功能。

散射板40是一邊使向光學(xué)膜2照射的第一紅外線IR1散射一邊使該第一紅外線IR1通過的構(gòu)件。散射板40配置于從光源部10到光學(xué)膜2的第一紅外線IR1的光路上。散射板40例如是毛玻璃。在本實施方式中，如圖1所示，散射板40在由反射鏡50反射后的第一紅外線IR1的光路上配置于反射鏡50與光學(xué)膜2之間。

反射板20在從光源部10輸出的第一紅外線IR1的向光學(xué)膜2照射的照射方向上配置于光學(xué)膜2的后方(背面?zhèn)?。反射板20是將照射至光學(xué)膜2并通過光學(xué)膜2后的第一紅外線IR1向光學(xué)膜2側(cè)反射的構(gòu)件。反射板20的反射面21的反射率例如在上述規(guī)定的波長范圍內(nèi)為96％以上。反射板20的反射面21的材料例如是金。在反射面21的材料為

金的情況下，反射面21的反射率能夠?qū)崿F(xiàn)比97％高的反射率。以下，也有時將由反射板20反射后的紅外線IR稱作第二紅外線IR2。

檢測部30對由反射板20反射至光學(xué)膜2側(cè)并再次通過光學(xué)膜2后的紅外線IR(第二紅外線IR2)進(jìn)行檢測。檢測部30配置于能夠接受反射的第二紅外線IR2的位置即可。例如，如圖1所示，檢測部30在由反射鏡50反射并朝向光學(xué)膜2的第一紅外線IR1的行進(jìn)方向上配置于從反射鏡50的視點觀察時與光學(xué)膜2相反一側(cè)。檢測部30具有接受第二紅外線IR2的紅外線檢測器31。紅外線檢測器31對于上述規(guī)定的波長范圍具有受光靈敏度。而且，紅外線檢測器31也可以具有分光功能。作為賦予分光功能的分光機(jī)構(gòu)，例如可舉出干涉濾波器等。

在一實施方式中，檢測部30也可以具有檢測光學(xué)系統(tǒng)32，該檢測光學(xué)系統(tǒng)32將第二紅外線IR2向紅外線檢測器31引導(dǎo)并使第二紅外線IR2入射至紅外線檢測器31。檢測光學(xué)系統(tǒng)32具有第一鏡321和第二鏡322。第一鏡321是具有凹面的凹面鏡，以凹面面對光學(xué)膜2的方式配置。第一鏡321配置于紅外線檢測器31與反射鏡50之間，且在紅外線檢測器31的前方(反射鏡50側(cè))具有開口部321a。第二鏡322是使由第一鏡321聚集后的第二紅外線IR2穿過上述開口部321a并朝向紅外線檢測器31反射的鏡。第二鏡322可以是平坦的鏡，也可以是朝向紅外線檢測器31側(cè)而具有凸?fàn)畹姆瓷涿娴耐姑骁R。

在檢測部30具有檢測光學(xué)系統(tǒng)32的實施方式中，第二紅外線IR2被第一鏡321反射并聚集至第二鏡322。聚集至第二鏡322的第二紅外線IR2被第二鏡322反射，從而入射至紅外線檢測器31。由此，能夠由檢測部30高效地檢測第二紅外線IR2。

水分測定裝置1也可以具有解析裝置60，該解析裝置60對由檢測部30檢測出的第二紅外線IR2的檢測結(jié)果進(jìn)行解析。解析裝置60具有計算機(jī)，基于第一紅外線IR1以及第二紅外線IR2中的水的吸收波長成分的變化率來算出光學(xué)膜2中的水分率。解析裝置60可以設(shè)為與水分測定裝置1分體(例如安裝有規(guī)定的解析軟件的個人計算機(jī))，也可以安裝于水分測定裝置1。

如圖1中示意性地示出那樣，水分測定裝置1也可以具有：殼體71，其收容光源部10、反射鏡50以及檢測部30；和筒狀部72，其對從反射鏡50朝向光學(xué)膜2的第一紅外線IR1的光路進(jìn)行遮蓋。筒狀部72中的與殼體71相反一側(cè)的端部由板狀構(gòu)件74封閉，該板狀構(gòu)件74安裝有能夠使第一紅外線IR1通過的窗部73。通過具有這樣的殼體71和被板狀構(gòu)件74封閉了一端的筒狀部72，從而能夠防止待檢測的第二紅外線IR2以外的紅外線作為外部干擾光而入射至檢測部30。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)水分測定裝置1的檢測靈敏度的提高。

在水分測定裝置1具有安裝于殼體71的筒狀部72的實施方式中，例如散射板40可以安裝于由板狀構(gòu)件74封閉后的筒狀部72的端部。

作為水分測定裝置1的測定對象的光學(xué)膜2，例如可舉出在偏振膜的雙面或單面貼合保護(hù)膜而成的偏振膜與保護(hù)膜的層疊體(帶保護(hù)膜的偏振膜)、未貼合保護(hù)膜的偏振膜、以及保護(hù)膜等。光學(xué)膜2的厚度例如是5μm～350μm。光學(xué)膜2可以是單片狀，也可以是帶狀。在光學(xué)膜2為帶狀的情況下，水分測定裝置1可配置于將光學(xué)膜2沿著長邊方向搬運時的搬運路徑。

在利用水分測定裝置1測定光學(xué)膜2的水分率的情況下，可以將第一紅外線IR1傾斜入射至光學(xué)膜2，或也可以將第一紅外線IR1垂直入射至光學(xué)膜2。在將第一紅外線IR1傾斜入射至光學(xué)膜2的情況下，如圖1所示，將光學(xué)膜2相對于由反射鏡50反射后的第一紅外線IR1的光軸傾斜配置即可。例如，在水分測定裝置1具有殼體71以及筒狀部72的實施方式中，在由反射鏡50反射后的第一紅外線IR1的光軸與筒狀部72的軸線實質(zhì)上平行的情況下，使由板狀構(gòu)件74封閉的筒狀部72的端部相對于第一紅外線IR1的光軸傾斜，與安裝于上述端部的板狀構(gòu)件74(或窗部73)平行地配置光學(xué)膜2，由此相對于光學(xué)膜2傾斜地入射第一紅外線IR1。在該情況下，散射板40以及反射板20也可以與板狀構(gòu)件74以及光學(xué)膜2平行地配置。

在圖1所示的水分測定裝置1中，從光源部10輸出的第一紅外線IR1在被反射鏡50反射后被照射至光學(xué)膜2。被照射至光學(xué)膜2的第一紅外線IR1通過光學(xué)膜2并被反射板20反射。由反射板20反射后的紅外線IR即第二紅外線IR2再次通過光學(xué)膜2，并被檢測部30(更具體而言被紅外線檢測器31)檢測。

在紅外線IR(第一紅外線IR1)通過光學(xué)膜2時，紅外線IR的一部分被光學(xué)膜2內(nèi)的水吸收。其結(jié)果是，通過對由檢測部30檢測出的紅外線IR(第二紅外線IR2)中的水的吸收波長的成分量與從光源部10輸出的紅外線IR(第一紅外線IR1)中的水的吸收波長的成分量進(jìn)行比較，能夠測定出光學(xué)膜2的水分率。從光源部10輸出的紅外線IR(第一紅外線IR1)中的水的吸收波長的成分量可以使用從光源部10的結(jié)構(gòu)導(dǎo)出的理論值，也可以利用將第一紅外線IR1的一部分作為參照用進(jìn)行分支并檢測而得到的實測值?；蛘?，例如若濾波部13如前所述構(gòu)成為能夠切換使具有水的吸收波長作為中心波長的紅外線通過的第一濾波器和使其他中心波長的紅外線通過的第二濾波器以及第三濾波器，則能夠通過利用分別使用上述第一濾波器、第二濾波器以及第三濾波器的情況下的測定結(jié)果來算出水分量。在此，說明了利用第一濾波器、第二濾波器以及第三濾波器的測定結(jié)果的情況，但即使將第一濾波器的測定結(jié)果與第二濾波器以及第三濾波器中的一方的測定結(jié)果組合，也能夠算出水分量。

在向光學(xué)膜2照射紅外線IR時，入射至光學(xué)膜2的紅外線一邊被水吸收一邊通過光學(xué)膜2，另一方面，也有時在光學(xué)膜2內(nèi)發(fā)生多重反射。向光學(xué)膜2照射的紅外線IR(第一紅外線IR1)如前所述具有較窄的波長范圍。因此，在由反射鏡50反射后的紅外線IR不通過散射板40地入射至光學(xué)膜2的情況下，在假如紅外線IR的指向性高時，因光學(xué)膜2內(nèi)的多重反射而產(chǎn)生光干涉現(xiàn)象。若因這樣的光干涉現(xiàn)象而每個波長的透射率(或反射率)發(fā)生變動，則光學(xué)膜2的水分率的測定誤差增大。尤其是，在光學(xué)膜2為帶狀且一邊沿著長邊方向搬運光學(xué)膜2一邊測定光學(xué)膜2的水分率的情況下，可觀察到該傾向。即，即使將光學(xué)膜2以厚度均勻的方式制造，也有時產(chǎn)生作為光學(xué)膜2而容許的范圍內(nèi)的若干厚度變動。若與這樣的厚度變動相伴地產(chǎn)生由多重反射引起的上述透射率(或反射率)的變動，則測定結(jié)果的波動(標(biāo)準(zhǔn)偏差)變大，無法實現(xiàn)光學(xué)膜2的水分率的準(zhǔn)確的測定。

與此相對，在圖1所示的水分測定裝置1中，在從光源部10到光學(xué)膜2的第一紅外線IR1的光路上配置有散射板40，由散射板40緩和紅外線IR的指向性。因此，在光學(xué)膜2內(nèi)，由紅外線IR的多重反射引起的光干涉現(xiàn)象被平均化。因而，與光干涉現(xiàn)象相伴的每個波長的透射率(或反射率)的變動得到抑制，因此能夠精度良好地(換言之更準(zhǔn)確地)測定光學(xué)膜2內(nèi)的水分率。在厚度的均勻性高的光學(xué)膜2中容易產(chǎn)生多重反射，因此水分測定裝置1對于厚度的均勻性高的光學(xué)膜2是有效的。

在光源部10如圖1所示那樣具備光源11以及濾波部13的實施方式中，由濾波部13使來自光源11的輸出光L窄頻帶化而生成紅外線IR。因此，能夠擴(kuò)大光源11的選擇的范圍，因此能夠降低水分測定裝置1的制造成本。在光源部10除了具備光源11以及濾波部13以外還具備聚光透鏡12的實施方式中，由聚光透鏡12使來自光源11的輸出光L聚集。因而，能夠提高從光源11輸出的輸出光L的利用效率。

在檢測部30除了具備紅外線檢測器31以外還具備檢測光學(xué)系統(tǒng)32的實施方式中，將第二紅外線IR2高效地引導(dǎo)至紅外線檢測器31。其結(jié)果是，能夠有效利用第二紅外線IR2，因此能夠增加紅外線檢測器31中的第二紅外線IR2的受光量。因而，能夠更加準(zhǔn)確地測定出水分率。

在反射板20的反射面21的反射率為96％以上的實施方式中，即使將散射板40配置于紅外線IR的光路上，也容易確保檢測部30處的受光量。其結(jié)果是，能夠更加可靠地檢測出水分。

接著，說明實驗例1、實驗例2、比較實驗例1以及比較實驗例2。在實驗例1、實驗例2、比較實驗例1以及比較實驗例2的說明中，為了便于說明，對于此前所說明的實施方式對應(yīng)的要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，省略重復(fù)的說明。在比較實驗例1以及比較實驗例2中，在圖1的結(jié)構(gòu)中，使用了不具備散射板40且反射板20的反射面21的材料不是金的以往的水分測定裝置，在實驗例1以及實驗例2中，在比較實驗例1以及比較實驗例2所使用的水分測定裝置的基礎(chǔ)上，使用了如圖1所示在反射鏡50與光學(xué)膜2之間追加散射板40并且將反射板20替換為反射面21的材料為金的反射板20的水分測定裝置。將實驗例1以及實驗例2所使用的水分測定裝置稱作水分測定裝置D1，將比較實驗例1以及比較實驗例2所使用的水分測定裝置稱作水分測定裝置D2來說明實驗例1、實驗例2、比較實驗例1以及比較實驗例2。水分測定裝置D1所使用的反射板20的反射面21的反射率相對于波長1500nm～2500nm超過了97％。

[實驗例1]

在實驗例1中，將對如圖2所示那樣在偏振膜81的表面以及背面分別貼合有保護(hù)膜82的帶狀的層疊體80(參照圖2)進(jìn)行制作時使用的、帶狀的偏振膜81設(shè)為測定對象的光學(xué)膜2。偏振膜81的材料是PVA(Polyvinyl Alcohol)。

在實驗例1中，一邊將偏振膜81沿著其長邊方向搬運，一邊在該搬運路徑上配置水分測定裝置D1并測定了被搬運來的偏振膜81的水分。

在實驗例1中，在水分測定裝置D1的前一階段調(diào)節(jié)了偏振膜81的水分量。具體而言，將水分量調(diào)節(jié)成了條件A1、條件B1以及條件C1這三個階段。條件A1、條件B1以及條件C1的水分量的設(shè)計值(或目標(biāo)值)為14％、16％以及18％。

在水分測定裝置D1處，一邊搬運偏振膜81，一邊按每1秒對偏振膜81中的條件A1、條件B1以及條件C1的區(qū)域測定共計60秒鐘，算出了條件A1的測定值、條件B1的測定值以及條件C1的測定值各自的標(biāo)準(zhǔn)偏差。算出結(jié)果如圖3所示。圖3的縱軸表示標(biāo)準(zhǔn)偏差。

[比較實驗例1]

在比較實驗例1中，將與實驗例1相同的偏振膜81設(shè)為測定對象的光學(xué)膜2。在比較實驗例1中，除了代替實驗例1中所使用的水分測定裝置D1而使用水分測定裝置D2這點以外，與實驗例1同樣地進(jìn)行了實驗。比較實驗例1的實驗結(jié)果如圖3所示。

[實驗例2]

在實驗例2中，以在制作圖2所示的層疊體80時使用的帶狀的保護(hù)膜82作為測定對象。保護(hù)膜82的材料為TAC(Triacetyl cellulose)。在實驗例2中，也與實驗例1同樣地，一邊將保護(hù)膜82沿著其長邊方向搬運一邊在該搬運路徑上配置水分測定裝置D1并測定了被搬運來的保護(hù)膜82的水分。

在實驗例2中，也在水分測定裝置D1的前一階段將保護(hù)膜82內(nèi)的水分量調(diào)節(jié)成了條件A2、條件B2以及條件C2這三個階段。條件A2、條件B2以及條件C2的水分量的設(shè)計值(或目標(biāo)值)為2.5％、3.0％以及3.5％。

在水分測定裝置D1處，一邊搬運保護(hù)膜82，一邊按每1秒對保護(hù)膜82中的條件A2、條件B2以及條件C2的區(qū)域測定共計60秒鐘，算出了各條件A2、條件B2以及條件C2的測定值的標(biāo)準(zhǔn)偏差。算出結(jié)果如圖4所示。圖4的縱軸表示標(biāo)準(zhǔn)偏差。

[比較實驗例2]

在比較實驗例2中，將與實驗例2相同的保護(hù)膜82設(shè)為測定對象的光學(xué)膜2。在比較實驗例2中，除了代替水分測定裝置D1而使用水分測定裝置D2這點以外，與實驗例2同樣地進(jìn)行了實驗。比較實驗例2的實驗結(jié)果如圖4所示。

如圖3以及圖4所示，可知，對于條件A1、條件B1及條件C1、以及條件A2、條件B2以及條件C2中的任一方，均是由具備散射板的水分測定裝置D1測定水分的實驗例1以及實驗例2相比于使用不具備散射板的水分測定裝置D2的比較實驗例1以及比較實驗例2而言標(biāo)準(zhǔn)偏差減小了。即，在水分測定中測定值穩(wěn)定。因此，通過具備散射板，能夠減小誤差(或測定值的變動)，能夠精度良好地測定出水分。

以上，說明了本實用新型的各種實施方式以及實施例。然而，本實用新型不限定于上述的各種實施方式以及實施例，在不脫離本實用新型的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變形。

例如，在水分測定裝置具有將從光源部輸出的紅外線向光學(xué)膜引導(dǎo)的照射光學(xué)系統(tǒng)的實施方式中，除了具有圖1所例示的那樣的反射鏡的以外，也可以具有其他的透鏡、平面鏡等。同樣地，在檢測部具有檢測光學(xué)系統(tǒng)的實施方式中，檢測光學(xué)系統(tǒng)也可以具有圖1所例示的第一鏡以及第二鏡以外的平面鏡、透鏡等?；蛘撸缫部梢圆痪哂械诙R而將紅外線檢測器配置于第一鏡的將第二紅外線IR2聚光的聚光位置。

光源部不限定于圖1所例示的那樣的結(jié)構(gòu)，能夠輸出用于光學(xué)膜的測定的紅外線即可。

散射板不限定于圖1所例示的那樣的結(jié)構(gòu)，配置于從光源部輸出的紅外線入射至光學(xué)膜的上述紅外線的光路上即可。這是因為，由此能夠緩和入射至光學(xué)膜的紅外線的指向性。在光源部具有聚光透鏡的實施方式中，例如散射板也可以配置于由聚光透鏡聚光后的光的會聚點與光學(xué)膜之間。