技術(shù)特征：
1.一種輪廓線解析裝置，對(duì)從由利用了帶電粒子線裝置的測(cè)量裝置取得的半導(dǎo)體樣品的圖像數(shù)據(jù)檢測(cè)到的對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線數(shù)據(jù)進(jìn)行解析，所述輪廓線解析裝置的特征在于，具有：形狀模型設(shè)定部，其設(shè)定形狀模型的規(guī)格即形狀模型規(guī)格，所述形狀模型是在作為多個(gè)橢圓的組合的圖形的周上一筆畫的曲線；形狀模型擬合設(shè)定部，其設(shè)定形狀模型的擬合方法；解析部，其使所述形狀模型規(guī)格的形狀模型通過(guò)所述形狀模型擬合設(shè)定部中設(shè)定的擬合方法來(lái)針對(duì)所述輪廓線數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，由此求取所述輪廓線數(shù)據(jù)的看似合理的形狀模型；和形狀模型數(shù)據(jù)庫(kù)，其存放所述看似合理的形狀模型的形狀模型參數(shù)的值。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪廓線解析裝置，其特征在于，所述輪廓線解析裝置還具有：尺寸提取設(shè)定部，其根據(jù)所述輪廓線數(shù)據(jù)來(lái)設(shè)定希望提取的尺寸；和尺寸算出方法設(shè)定部，其設(shè)定所述尺寸提取設(shè)定部中設(shè)定的希望提取的尺寸的算出方法，所述解析部使用所述看似合理的形狀模型，通過(guò)所述尺寸算出方法設(shè)定部中設(shè)定的算出方法來(lái)算出所述尺寸提取設(shè)定部中設(shè)定的希望提取的尺寸的值。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪廓線解析裝置，其特征在于，所述形狀模型的形狀模型參數(shù)包含與構(gòu)成所述圖形的橢圓的形狀以及配置相關(guān)的參數(shù)、以及與所述一筆畫的方法相關(guān)的參數(shù)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪廓線解析裝置，其特征在于，所述形狀模型擬合設(shè)定部針對(duì)擬合能選擇最小二乘法、加權(quán)最小二乘法或正則化最小二乘法，為了求取所述看似合理的形狀模型的形狀模型參數(shù)，能選擇利用了迭代解法的非線性最優(yōu)化法或組合最優(yōu)化法。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輪廓線解析裝置，其特征在于，所述尺寸提取設(shè)定部能設(shè)定奇異點(diǎn)搜索法，在該奇異點(diǎn)搜索法中，搜索所述形狀模型上的奇異點(diǎn)，根據(jù)所述奇異點(diǎn)的坐標(biāo)來(lái)算出所述尺寸提取設(shè)定部中設(shè)定的希望提取的尺寸，作為所述奇異點(diǎn)，包含所述形狀模型中的微分值為0的極值點(diǎn)、不能進(jìn)行微分的點(diǎn)、微分值的正負(fù)改變的拐點(diǎn)。6.一種處理?xiàng)l件決定系統(tǒng)，其特征在于，包含：權(quán)利要求1所述的輪廓線解析裝置；和決定半導(dǎo)體處理裝置的處理?xiàng)l件的處理?xiàng)l件決定裝置，所述半導(dǎo)體樣品是通過(guò)所述半導(dǎo)體處理裝置進(jìn)行了處理的半導(dǎo)體樣品，所述處理?xiàng)l件決定裝置具有：學(xué)習(xí)部，其學(xué)習(xí)所述半導(dǎo)體處理裝置的處理?xiàng)l件與從在該處理?xiàng)l件下通過(guò)所述半導(dǎo)體處理裝置進(jìn)行了處理的所述半導(dǎo)體樣品的圖像數(shù)據(jù)檢測(cè)到的對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線數(shù)據(jù)的看似合理的形狀模型的形狀模型參數(shù)的值的相關(guān)模型；目標(biāo)尺寸值設(shè)定部，其設(shè)定所述看似合理的形狀模型的形狀模型參數(shù)的目標(biāo)值；和
處理?xiàng)l件估計(jì)部，其使用所述相關(guān)模型來(lái)估計(jì)給出所述目標(biāo)尺寸值設(shè)定部中設(shè)定的所述看似合理的形狀模型的形狀模型參數(shù)的目標(biāo)值的所述半導(dǎo)體處理裝置的處理?xiàng)l件。7.一種形狀估計(jì)系統(tǒng)，具有：假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置，其作成與半導(dǎo)體樣品所具有的對(duì)象結(jié)構(gòu)相關(guān)的假想形狀數(shù)據(jù)；和形狀估計(jì)裝置，其根據(jù)由測(cè)量裝置取得的半導(dǎo)體樣品的數(shù)據(jù)來(lái)估計(jì)對(duì)象結(jié)構(gòu)的形狀，所述形狀估計(jì)系統(tǒng)的特征在于，所述假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置具有：形狀模型設(shè)定部，其設(shè)定形狀模型的規(guī)格即形狀模型規(guī)格，其中，所述形狀模型是在作為多個(gè)橢圓的組合的圖形的周上一筆畫的曲線，且描述所述半導(dǎo)體樣品的對(duì)象結(jié)構(gòu)的形狀；生成方法設(shè)定部，其針對(duì)所述形狀模型設(shè)定部中設(shè)定的形狀模型規(guī)格，設(shè)定生成形狀模型參數(shù)的值的組的生成方法；參數(shù)生成部，其針對(duì)所述形狀模型設(shè)定部中設(shè)定的形狀模型規(guī)格通過(guò)所述生成方法設(shè)定部中所設(shè)定的生成方法來(lái)生成形狀模型參數(shù)的值的組；和cad部，其基于將所述參數(shù)生成部中生成的形狀模型參數(shù)的值的組的任意一個(gè)代入到該形狀模型規(guī)格而得到的形狀模型，來(lái)生成所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的假想形狀模型，所述形狀估計(jì)裝置具有：學(xué)習(xí)部，其學(xué)習(xí)所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的假想形狀模型的生成中所用的形狀模型的形狀模型參數(shù)的值與針對(duì)所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的假想形狀模型作為期待由所述測(cè)量裝置取得的所述半導(dǎo)體樣品的數(shù)據(jù)而求得的假想數(shù)據(jù)的相關(guān)模型；和形狀估計(jì)部，其使用所述相關(guān)模型來(lái)估計(jì)給出最接近于由所述測(cè)量裝置取得的所述半導(dǎo)體樣品的數(shù)據(jù)的假想數(shù)據(jù)的形狀模型參數(shù)的值。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的形狀估計(jì)系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)量裝置是分光光譜測(cè)量裝置，所述形狀估計(jì)系統(tǒng)還具有：光學(xué)模擬器，其針對(duì)所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的假想形狀模型，算出針對(duì)所述對(duì)象結(jié)構(gòu)通過(guò)散射測(cè)量得到的分光光譜的理論值即假想分光光譜，所述形狀估計(jì)裝置的學(xué)習(xí)部將所述光學(xué)模擬器算出的假想分光光譜設(shè)為所述假想數(shù)據(jù)。9.一種形狀估計(jì)系統(tǒng)，具有：假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置，其作成與半導(dǎo)體樣品所具有的對(duì)象結(jié)構(gòu)相關(guān)的假想形狀數(shù)據(jù)；和形狀估計(jì)裝置，其根據(jù)由測(cè)量裝置取得的半導(dǎo)體樣品的數(shù)據(jù)來(lái)估計(jì)對(duì)象結(jié)構(gòu)的形狀，所述形狀估計(jì)系統(tǒng)的特征在于，所述假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置具有：形狀模型設(shè)定部，其設(shè)定形狀模型的規(guī)格即形狀模型規(guī)格，其中，所述形狀模型是在作為多個(gè)橢圓的組合的圖形的周上一筆畫的曲線，且描述所述半導(dǎo)體樣品的對(duì)象結(jié)構(gòu)的形狀；
生成方法設(shè)定部，其針對(duì)所述形狀模型設(shè)定部中設(shè)定的形狀模型規(guī)格，設(shè)定生成形狀模型參數(shù)的值的組的生成方法；參數(shù)生成部，其針對(duì)所述形狀模型設(shè)定部中設(shè)定的形狀模型規(guī)格通過(guò)所述生成方法設(shè)定部中所設(shè)定的生成方法來(lái)生成形狀模型參數(shù)的值的組；和cad部，其基于將所述參數(shù)生成部中生成的形狀模型參數(shù)的值的組的任意一個(gè)代入到該形狀模型規(guī)格而得到的形狀模型，來(lái)生成模擬期待由所述測(cè)量裝置取得的所述半導(dǎo)體樣品的數(shù)據(jù)而求得的第1假想數(shù)據(jù)、以及根據(jù)該形狀模型而期待的針對(duì)所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的形狀的第2假想數(shù)據(jù)，所述形狀估計(jì)裝置具有：學(xué)習(xí)部，其學(xué)習(xí)所述cad部中生成的所述第1假想數(shù)據(jù)與所述第2假想數(shù)據(jù)的相關(guān)模型；和形狀估計(jì)部，其使用所述相關(guān)模型，來(lái)估計(jì)給出最接近于由所述測(cè)量裝置取得的所述半導(dǎo)體樣品的數(shù)據(jù)的所述第1假想數(shù)據(jù)的所述第2假想數(shù)據(jù)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的形狀估計(jì)系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)量裝置是利用了帶電粒子線裝置的測(cè)量裝置，由所述測(cè)量裝置取得的所述半導(dǎo)體樣品的數(shù)據(jù)是所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的圖像數(shù)據(jù)，估計(jì)所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線，作為所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的形狀。11.一種數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，用于將半導(dǎo)體樣品所具有的對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線描述為形狀模型，所述形狀模型是在作為多個(gè)橢圓的組合的圖形的周上一筆畫的曲線，所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的特征在于，包含：與構(gòu)成所述圖形的橢圓的形狀以及配置相關(guān)的第1參數(shù)；和與所述一筆畫的方法相關(guān)的第2參數(shù)，所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)被用在算出所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的形狀中的尺寸的值的處理中。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第1參數(shù)包含構(gòu)成所述圖形的橢圓的中心坐標(biāo)、長(zhǎng)軸長(zhǎng)度、短軸長(zhǎng)度、長(zhǎng)軸的傾斜度當(dāng)中的至少一者以上。13.一種數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，用于將半導(dǎo)體樣品所具有的對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線描述為形狀模型，所述形狀模型是在作為多個(gè)橢圓的組合的圖形的周上一筆畫的曲線，所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的特征在于，包含：與構(gòu)成所述圖形的橢圓的形狀以及配置相關(guān)的第1參數(shù)；和與所述一筆畫的方法相關(guān)的第2參數(shù)，所述半導(dǎo)體樣品是通過(guò)半導(dǎo)體處理裝置進(jìn)行了處理的半導(dǎo)體樣品，所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)被用在估計(jì)所述半導(dǎo)體處理裝置的處理?xiàng)l件的處理中。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)被用在所述半導(dǎo)體處理裝置的處理?xiàng)l件與從在該處理?xiàng)l件下由所述半導(dǎo)體處理裝置進(jìn)行了處理的所述半導(dǎo)體樣品的圖像數(shù)據(jù)檢測(cè)到的所述對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線數(shù)據(jù)的看似合理的形狀模型的形狀模型參數(shù)的值的相關(guān)模型的學(xué)習(xí)處理中。15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第1參數(shù)包含構(gòu)成所述圖形的橢圓的中心坐標(biāo)、長(zhǎng)軸長(zhǎng)度、短軸長(zhǎng)度、長(zhǎng)軸的傾斜
度當(dāng)中的至少一者以上。16.一種半導(dǎo)體裝置制造系統(tǒng)，具備：半導(dǎo)體處理裝置；和平臺(tái)，其經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與所述半導(dǎo)體處理裝置連接，執(zhí)行使用圖像來(lái)測(cè)量由所述半導(dǎo)體處理裝置進(jìn)行了加工的測(cè)量對(duì)象的尺寸的尺寸測(cè)量處理，所述半導(dǎo)體裝置制造系統(tǒng)的特征在于，所述尺寸測(cè)量處理具有如下步驟：設(shè)定形狀模型的規(guī)格即形狀模型規(guī)格，所述形狀模型是在作為多個(gè)橢圓的組合的圖形的周上一筆畫的曲線；設(shè)定形狀模型的擬合方法；使所述形狀模型規(guī)格的形狀模型通過(guò)所設(shè)定的所述擬合方法來(lái)針對(duì)所述測(cè)量對(duì)象的輪廓線數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，由此求取所述輪廓線數(shù)據(jù)的看似合理的形狀模型；存放所述看似合理的形狀模型的形狀模型參數(shù)的值；根據(jù)所述輪廓線數(shù)據(jù)來(lái)設(shè)定希望提取的尺寸；設(shè)定所設(shè)定的所述希望提取的尺寸的算出方法；和使用所述看似合理的形狀模型，通過(guò)所設(shè)定的所述算出方法來(lái)算出所設(shè)定的所述希望提取的尺寸的值。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體裝置制造系統(tǒng)，其特征在于，將所述尺寸測(cè)量處理作為所述平臺(tái)中所具備的應(yīng)用來(lái)執(zhí)行。18.一種搜索裝置，搜索用于得到半導(dǎo)體處理裝置中的目標(biāo)處理形狀的輸入?yún)?shù)值，所述搜索裝置的特征在于，通過(guò)估計(jì)模型搜索所述輸入?yún)?shù)值，其中，所述估計(jì)模型是將以使用形狀函數(shù)估計(jì)出的形狀的輪廓線為基礎(chǔ)測(cè)量的尺寸數(shù)據(jù)作為學(xué)習(xí)數(shù)據(jù)來(lái)求得的。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的搜索裝置，其特征在于，所述形狀函數(shù)是利用了多個(gè)橢圓的函數(shù)。

技術(shù)總結(jié)
能對(duì)會(huì)在半導(dǎo)體處理中產(chǎn)生的復(fù)雜的形狀進(jìn)行高精度的尺寸提取。通過(guò)在組合多個(gè)橢圓(100)而形成的圖形的周上設(shè)置起點(diǎn)(110)和終點(diǎn)(120)，將連起這2點(diǎn)的周上的一筆畫的曲線(120)用作形狀模型，來(lái)描述對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線。來(lái)描述對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線。來(lái)描述對(duì)象結(jié)構(gòu)的輪廓線。


技術(shù)研發(fā)人員：中田百科 大森健史 高野直人
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社日立高新技術(shù)
技術(shù)研發(fā)日：2021.02.10
技術(shù)公布日：2022/10/17