技術(shù)特征：

1.一種光學(xué)測定裝置，其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測定裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測定裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測定裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的光學(xué)測定裝置，其中，

6.一種光學(xué)測定系統(tǒng)，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)測定系統(tǒng)，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的光學(xué)測定系統(tǒng)，其中，

9.一種光學(xué)測定系統(tǒng)，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)測定系統(tǒng)，其中，

11.一種光學(xué)測定方法，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及的光學(xué)測定裝置(10)具有：第1照射部(11a)，其對移動(dòng)的試樣的移動(dòng)路徑上的一個(gè)第1照射區(qū)域(R1)照射激勵(lì)光(L1)；第2照射部(11b)，其對移動(dòng)路徑上位于比一個(gè)第1照射區(qū)域(R1)更靠試樣的移動(dòng)方向側(cè)的位置的第2照射區(qū)域(R2)照射探測光(L2)；檢測部(12b1)，其對由第2照射部(11b)向試樣照射后的探測光(L2)進(jìn)行檢測；以及控制部(15)，其基于在因激勵(lì)光(L1)的激勵(lì)產(chǎn)生的試樣的光學(xué)參數(shù)的過渡響應(yīng)中在互不相同的多個(gè)時(shí)間點(diǎn)各自從試樣透過，而利用檢測部(12b1)在不同的定時(shí)檢測出的探測光(L2)的檢測強(qiáng)度，對多個(gè)時(shí)間點(diǎn)的光學(xué)參數(shù)進(jìn)行計(jì)算，基于計(jì)算出的光學(xué)參數(shù)對試樣的物性參數(shù)進(jìn)行計(jì)算。

技術(shù)研發(fā)人員：小川潤一
受保護(hù)的技術(shù)使用者：橫河電機(jī)株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10