技術(shù)特征：

1.一種濃度測(cè)定裝置，對(duì)氣體中所含的測(cè)定對(duì)象成分的濃度進(jìn)行測(cè)定，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濃度測(cè)定裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濃度測(cè)定裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的濃度測(cè)定裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的濃度測(cè)定裝置，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的濃度測(cè)定裝置，其中，

7.一種原料氣化系統(tǒng)，使用濃度測(cè)定裝置，其中，

8.一種濃度測(cè)定方法，對(duì)氣體中所含的成分的濃度進(jìn)行測(cè)定，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濃度測(cè)定方法，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的濃度測(cè)定裝置（5）對(duì)混合氣體（MG）中所含的原料氣體的濃度進(jìn)行測(cè)定，所述濃度測(cè)定裝置（5）具備：分壓傳感器（51），對(duì)混合氣體（MG）中所含的原料氣體的分壓進(jìn)行檢測(cè)并輸出表示該分壓的分壓信號(hào)（P<subgt;v</subgt;）；總壓傳感器（52），對(duì)混合氣體（MG）的壓力即總壓進(jìn)行檢測(cè)并輸出表示該總壓的總壓信號(hào)（P<subgt;t</subgt;）；延遲濾波器（53），實(shí)施使總壓信號(hào)（P<subgt;t</subgt;）的響應(yīng)速度延遲的處理，并輸出該處理后的總壓信號(hào)即延遲總壓信號(hào)（P<subgt;t</subgt;'）；以及計(jì)算部（54），基于分壓信號(hào)（P<subgt;v</subgt;）及延遲總壓信號(hào)（P<subgt;t</subgt;'）計(jì)算出混合氣體（MG）中所含的原料氣體的濃度。

技術(shù)研發(fā)人員：今西三千繪,志水徹
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社堀場(chǎng)STEC
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10