所屬的技術(shù)人員知道，本發(fā)明可以實現(xiàn)為系統(tǒng)、方法或計算機程序產(chǎn)品，因此，本公開可以具體實現(xiàn)為以下形式，即：可以是完全的硬件、也可以是完全的軟件(包括固件、駐留軟件、微代碼等)，還可以是硬件和軟件結(jié)合的形式，本文一般稱為“電路”、“模塊”或“系統(tǒng)”。此外，在一些實施例中，本發(fā)明還可以實現(xiàn)為在一個或多個計算機可讀介質(zhì)中的計算機程序產(chǎn)品的形式，該計算機可讀介質(zhì)中包含計算機可讀的程序代碼?？梢圆捎靡粋€或多個計算機可讀的介質(zhì)的任意組合。計算機可讀介質(zhì)可以是計算機可讀信號介質(zhì)或者計算機可讀存儲介質(zhì)。計算機可讀存儲介質(zhì)例如可以是一一但不限于——電、磁、光、電磁、紅外線、或半導(dǎo)體的系統(tǒng)、裝置或器件，或者任意以上的組合。計算機可讀存儲介質(zhì)的更具體的例子(非窮舉的列表)包括：具有一個或多個導(dǎo)線的電連接、便攜式計算機磁盤、硬盤、隨機存取存儲器(ram)，只讀存儲器(rom)、可擦式可編程只讀存儲器(eprom或閃存)、光纖、便攜式緊湊磁盤只讀存儲器(cd-rom)、光存儲器件、磁存儲器件、或者上述的任意合適的組合。在本技術(shù)中，計算機可讀存儲介質(zhì)可以是任何包含或存儲程序的有形介質(zhì)，該程序可以被指令執(zhí)行系統(tǒng)、裝置或者器件使用或者與其結(jié)合使用。盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體制造中，晶圓測試是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，能及時發(fā)現(xiàn)和篩除不良芯片，避免后續(xù)封裝浪費。這一環(huán)節(jié)確保了進入市場的芯片質(zhì)量，降低了制造成本。晶圓測試過程中最為重要的就是反映晶圓狀況的map圖，該map圖是由探針臺在測試過程中產(chǎn)生，map圖中展示了各個測試芯片的坐標位置，測試結(jié)果等，包含有效芯片坐標和失效芯片坐標。現(xiàn)有技術(shù)對晶圓測試結(jié)果的分析主要在識別單個失效問題(例如失效數(shù)量、失效比例和失效類別等)。忽略了區(qū)域性失效問題，這些區(qū)域性失效可能由材料缺陷、工藝偏差或設(shè)備故障等因素引起，預(yù)示了更深層次生產(chǎn)、制造、流程等問題，若不及時發(fā)現(xiàn)，會影響產(chǎn)品性能和可靠性。并且特定區(qū)域性失效周圍1至3圈的有效測試點，會受到失效區(qū)域的影響，無法被實際檢測出來，導(dǎo)致將失效芯片提供客戶，造成重大的經(jīng)濟損失。

2、因此，亟需提供一種技術(shù)方案解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種晶圓區(qū)域性失效檢測方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備和存儲介質(zhì)。

2、第一方面，本發(fā)明提供一種晶圓區(qū)域性失效檢測方法，該方法的技術(shù)方案如下：

3、獲取待測晶圓的map圖中的失效芯片坐標集合，計算所述失效芯片坐標集合與自身的笛卡爾積，并計算所述笛卡爾積中的每個坐標對的曼哈頓距離；

4、將曼哈頓距離小于第一閾值的坐標對確定為目標坐標對，并對所有的目標坐標對進行并查集合并，判斷是否形成失效芯片區(qū)域；

5、若形成失效芯片區(qū)域，則根據(jù)任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型以及該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量，檢測該失效芯片區(qū)域是否存在異常。

6、本發(fā)明的一種晶圓區(qū)域性失效檢測方法的有益效果如下：

7、本發(fā)明的方法能夠簡單高效地實現(xiàn)晶圓區(qū)域性失效檢測，有助于改進芯片設(shè)計和制造過程，提高產(chǎn)品質(zhì)量和客戶滿意度。

8、在上述方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的一種晶圓區(qū)域性失效檢測方法還可以做如下改進。

9、在一種可選的方式中，確定任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型的步驟，包括：

10、獲取所述任一失效芯片區(qū)域中的任一失效芯片坐標分別在不同方向上相距第二閾值的位置坐標，若該失效芯片坐標對應(yīng)的任一位置坐標處于所述map圖對應(yīng)的坐標之外時，將該失效芯片坐標確定為邊緣點坐標，直至確定所述任一失效芯片區(qū)域中所有的邊緣點坐標；

11、當所述任一失效芯片區(qū)域中的邊緣點坐標的數(shù)量超過第三閾值時，將該失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型確定為邊緣失效區(qū)域，否則，將該失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型確定為中心失效區(qū)域。

12、在一種可選的方式中，根據(jù)任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型以及該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量，檢測該失效芯片區(qū)域是否存在異常的步驟，包括：

13、當所述任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型為邊緣失效區(qū)域時，若該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量超過第四閾值，則判定該失效芯片區(qū)域存在異常，否則，判定該失效芯片區(qū)域不存在異常；

14、當所述任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型為中心失效區(qū)域時，若該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量超過第五閾值，則判定該失效芯片區(qū)域存在異常，否則，判定該失效芯片區(qū)域不存在異常。

15、在一種可選的方式中，還包括：

16、當任一失效芯片區(qū)域存在異常時，將該失效芯片區(qū)域周圍預(yù)設(shè)范圍內(nèi)的芯片區(qū)域確定為目標失效芯片區(qū)域并輸出預(yù)警提示信息。

17、第二方面，本發(fā)明提供一種晶圓區(qū)域性失效檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)的技術(shù)方案如下：

18、包括：計算模塊、處理模塊和檢測模塊；

19、所述計算模塊用于：獲取待測晶圓的map圖中的失效芯片坐標集合，計算所述失效芯片坐標集合與自身的笛卡爾積，并計算所述笛卡爾積中的每個坐標對的曼哈頓距離；

20、所述處理模塊用于：將曼哈頓距離小于第一閾值的坐標對確定為目標坐標對，并對所有的目標坐標對進行并查集合并，判斷是否形成失效芯片區(qū)域；

21、所述檢測模塊用于：若形成失效芯片區(qū)域，則根據(jù)任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型以及該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量，檢測該失效芯片區(qū)域是否存在異常。

22、本發(fā)明的一種晶圓區(qū)域性失效檢測系統(tǒng)的有益效果如下：

23、本發(fā)明的系統(tǒng)能夠簡單高效地實現(xiàn)晶圓區(qū)域性失效檢測，有助于改進芯片設(shè)計和制造過程，提高產(chǎn)品質(zhì)量和客戶滿意度。

24、在上述方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的一種晶圓區(qū)域性失效檢測系統(tǒng)還可以做如下改進。

25、在一種可選的方式中，還包括：確定模塊；所述確定模塊用于：

26、獲取所述任一失效芯片區(qū)域中的任一失效芯片坐標分別在不同方向上相距第二閾值的位置坐標，若該失效芯片坐標對應(yīng)的任一位置坐標處于所述map圖對應(yīng)的坐標之外時，將該失效芯片坐標確定為邊緣點坐標，直至確定所述任一失效芯片區(qū)域中所有的邊緣點坐標；

27、當所述任一失效芯片區(qū)域中的邊緣點坐標的數(shù)量超過第三閾值時，將該失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型確定為邊緣失效區(qū)域，否則，將該失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型確定為中心失效區(qū)域。

28、在一種可選的方式中，所述檢測模塊具體用于：

29、當所述任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型為邊緣失效區(qū)域時，若該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量超過第四閾值，則判定該失效芯片區(qū)域存在異常，否則，判定該失效芯片區(qū)域不存在異常；

30、當所述任一失效芯片區(qū)域的失效區(qū)域類型為中心失效區(qū)域時，若該失效芯片區(qū)域的失效芯片數(shù)量超過第五閾值，則判定該失效芯片區(qū)域存在異常，否則，判定該失效芯片區(qū)域不存在異常。

31、在一種可選的方式中，還包括：預(yù)警模塊；所述預(yù)警模塊用于：

32、當任一失效芯片區(qū)域存在異常時，將該失效芯片區(qū)域周圍預(yù)設(shè)范圍內(nèi)的芯片區(qū)域確定為目標失效芯片區(qū)域并輸出預(yù)警提示信息。

33、第三方面，本發(fā)明的一種電子設(shè)備的技術(shù)方案如下：

34、包括存儲器、處理器及存儲在所述存儲器上并在所述處理器上運行的程序，所述處理器執(zhí)行所述程序時實現(xiàn)如本發(fā)明的晶圓區(qū)域性失效檢測方法的步驟。

35、第四方面，本發(fā)明提供的一種計算機可讀存儲介質(zhì)的技術(shù)方案如下：

36、計算機可讀存儲介質(zhì)中存儲有指令，當計算機可讀存儲介質(zhì)讀取所述指令時，使所述計算機可讀存儲介質(zhì)執(zhí)行如本發(fā)明的晶圓區(qū)域性失效檢測方法的步驟。

37、上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉本發(fā)明的具體實施方式。