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      一種原位光照KPFM測(cè)試裝置及測(cè)試方法

      文檔序號(hào):40391573發(fā)布日期:2024-12-20 12:14閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,包括kpfm測(cè)試儀本體(1);所述kpfm測(cè)試儀本體(1)包括激光檢測(cè)器(11)、反光鏡(12)、分光鏡(13)、激光器(14)以及樣品臺(tái)(15);由所述激光器(14)發(fā)出的激光依次經(jīng)過分光鏡(13)、樣品臺(tái)(15)以及反光鏡(12),進(jìn)入激光檢測(cè)器(11);

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述外加光源(2)為xe燈、白光led燈、紫外燈或紅光燈。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,當(dāng)所述外加光源(2)為xe燈時(shí),所述xe燈的出光口設(shè)置有光纖,所述光纖的出光口與樣品臺(tái)(15)之間的距離為3~5cm。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述濾光組件(3)包括擋板或?yàn)V光片;所述擋板上設(shè)有通孔(4)。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述擋板上通孔(4)的直徑為1~2mm。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述濾光片包括吸收濾光片、反射濾光片、復(fù)合濾光片以及帶通濾波片中的任意一種。

      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,當(dāng)所述濾光片為帶通濾波片時(shí),濾光片的通帶中心波長與所述激光器(14)發(fā)出的激光波長一致,所述濾光片的通帶半高寬為50nm。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述激光檢測(cè)器入口處設(shè)有夾持固定組件,所述濾光組件(3)通過所述夾持固定組件設(shè)置在所述kpfm測(cè)試儀本體(1)的激光檢測(cè)器入口處。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述測(cè)試裝置還包括散熱組件,所述散熱組件用于消散所述外加光源(2)所產(chǎn)生的熱量。

      10.一種原位光照kpfm測(cè)試方法,其特征在于,采用權(quán)利要求1~9中任意一項(xiàng)所述的原位光照kpfm測(cè)試裝置,并包括以下步驟:


      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開一種原位光照KPFM測(cè)試裝置及測(cè)試方法,該測(cè)試裝置包括KPFM測(cè)試儀本體;所述KPFM測(cè)試儀本體包括激光檢測(cè)器、反光鏡、分光鏡、激光器以及樣品臺(tái);由所述激光器發(fā)出的激光依次經(jīng)過分光鏡、樣品臺(tái)以及反光鏡,進(jìn)入激光檢測(cè)器;靠近所述樣品臺(tái)的位置設(shè)有外加光源,所述外加光源的出光口與樣品臺(tái)之間的距離為3~5cm;所述激光檢測(cè)器的入口處設(shè)置有濾光組件。該測(cè)試裝置能夠在保持測(cè)試環(huán)境真實(shí)性的同時(shí),有效減少測(cè)試過程中的干擾因素,從而提升測(cè)試效率和精度,顯著提升了利用KPFM進(jìn)行原位光照測(cè)試的準(zhǔn)確性和可靠性。

      技術(shù)研發(fā)人員:郭航
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:西安交通大學(xué)
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/12/19
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