1.一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,包括kpfm測(cè)試儀本體(1);所述kpfm測(cè)試儀本體(1)包括激光檢測(cè)器(11)、反光鏡(12)、分光鏡(13)、激光器(14)以及樣品臺(tái)(15);由所述激光器(14)發(fā)出的激光依次經(jīng)過分光鏡(13)、樣品臺(tái)(15)以及反光鏡(12),進(jìn)入激光檢測(cè)器(11);
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述外加光源(2)為xe燈、白光led燈、紫外燈或紅光燈。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,當(dāng)所述外加光源(2)為xe燈時(shí),所述xe燈的出光口設(shè)置有光纖,所述光纖的出光口與樣品臺(tái)(15)之間的距離為3~5cm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述濾光組件(3)包括擋板或?yàn)V光片;所述擋板上設(shè)有通孔(4)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述擋板上通孔(4)的直徑為1~2mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述濾光片包括吸收濾光片、反射濾光片、復(fù)合濾光片以及帶通濾波片中的任意一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,當(dāng)所述濾光片為帶通濾波片時(shí),濾光片的通帶中心波長與所述激光器(14)發(fā)出的激光波長一致,所述濾光片的通帶半高寬為50nm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述激光檢測(cè)器入口處設(shè)有夾持固定組件,所述濾光組件(3)通過所述夾持固定組件設(shè)置在所述kpfm測(cè)試儀本體(1)的激光檢測(cè)器入口處。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原位光照kpfm測(cè)試裝置,其特征在于,所述測(cè)試裝置還包括散熱組件,所述散熱組件用于消散所述外加光源(2)所產(chǎn)生的熱量。
10.一種原位光照kpfm測(cè)試方法,其特征在于,采用權(quán)利要求1~9中任意一項(xiàng)所述的原位光照kpfm測(cè)試裝置,并包括以下步驟: