技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，其特征在于：包括如下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，其特征在于：所述步驟s1包括如下步驟：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，其特征在于：所述步驟s2包括如下步驟：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，其特征在于：所述步驟s3包括如下步驟：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，其特征在于：所述步驟s4包括如下步驟：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，其特征在于：所述步驟s5包括如下步驟：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，其特征在于：所述步驟s6包括如下步驟：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，其特征在于：所述步驟s7包括如下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測方法，通過單波長激光平面干涉儀采集到包含半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面相位信息的干涉圖像，篩選出有效數(shù)據(jù)點(diǎn)，計(jì)算出非連續(xù)表面的包裹相位，利用離散二值化的相位數(shù)據(jù)疊放后在三維坐標(biāo)系中距離相近的特點(diǎn)，使用三維形態(tài)學(xué)方法完成離散二值化相位的膨脹、連通，篩選出包含數(shù)據(jù)最多的連通體后進(jìn)行逆離散化、系統(tǒng)誤差消除，完成半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面的平面度干涉檢測。本發(fā)明解決了現(xiàn)有激光平面干涉儀檢測非連續(xù)表面平面度時(shí)會(huì)發(fā)生相位解析錯(cuò)誤，無法對非連續(xù)表面的平面度進(jìn)行檢測的技術(shù)問題，達(dá)到了對半導(dǎo)體吸盤非連續(xù)表面平面度進(jìn)行大范圍精準(zhǔn)快速檢測的技術(shù)效果。

技術(shù)研發(fā)人員：王帥,段博崧,朱吳樂,居冰峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19