本技術(shù)涉及晶圓檢測系統(tǒng)，具體涉及一種翻轉(zhuǎn)裝置及晶圓檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、進(jìn)行晶圓檢測時，測試機(jī)需要翻轉(zhuǎn)并放置在探針臺的上方并與探針臺進(jìn)行對接，隨著晶圓芯片體積越來越小型化而功能電路上越來越復(fù)雜，導(dǎo)致測試機(jī)尺寸和重量不斷變大，如何有效地將重量較大的測試機(jī)翻轉(zhuǎn)至探針臺的上方成為需要解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)的目的在于提供一種翻轉(zhuǎn)裝置及晶圓檢測系統(tǒng)，以解決如何有效地將重量較大的測試機(jī)翻轉(zhuǎn)至探針臺的上方的技術(shù)問題。

2、第一方面，本技術(shù)提供了一種翻轉(zhuǎn)裝置，所述翻轉(zhuǎn)裝置用于將測試機(jī)翻轉(zhuǎn)至探針臺上，所述翻轉(zhuǎn)裝置包括：

3、機(jī)架機(jī)構(gòu)，所述機(jī)架機(jī)構(gòu)包括第一支撐架、第二支撐架及分別連接第一支撐架和第二支撐架的連接架，所述第一支撐架和所述第二支撐架沿長度方向間隔設(shè)置，所述第一支撐架為立方框架；

4、轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)沿所述長度方向設(shè)置，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的一端設(shè)于所述第一支撐架上，另一端設(shè)于所述第二支撐架上；以及

5、連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)包括間隔設(shè)置的第一連接組件和第二連接組件，所述第一連接組件分別連接所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)和所述測試機(jī)，所述第二連接組件分別連接所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)和所述測試機(jī)：

6、其中，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)能夠相對所述機(jī)架機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動，并帶動所述連接機(jī)構(gòu)相對所述機(jī)架機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動，當(dāng)所述測試機(jī)設(shè)于所述探針臺上時，所述連接機(jī)構(gòu)的所述第一連接組件和所述第二連接組件沿高度方向延伸。

7、本技術(shù)提供的翻轉(zhuǎn)裝置中，第一支撐架和第二支撐架分別用于承載轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的兩端，第一支撐架為立方框架，可以提高第一支撐架的整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，機(jī)架機(jī)構(gòu)的第一支撐架和第二支撐架通過連接架進(jìn)行固定連接，使得第一支撐架和第二支撐架通過連接架形成一體結(jié)構(gòu)，可以提高機(jī)架機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性，轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的兩端分別設(shè)于第一支撐架和第二支撐架上，且第一支撐架和第二支撐架的穩(wěn)定性較高，便于轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)對重量較大的測試機(jī)進(jìn)行翻轉(zhuǎn)并將其翻轉(zhuǎn)至探針臺上。當(dāng)測試機(jī)設(shè)于探針臺上時，連接機(jī)構(gòu)的第一連接組件和第二連接組件沿高度方向延伸，可以減小測試機(jī)和轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)沿寬度方向的距離，進(jìn)而減小測試機(jī)對第一連接組件和第二連接組件施加的力矩，可以避免連接機(jī)構(gòu)承載較大的力矩發(fā)生斷裂等問題，有利于連接機(jī)構(gòu)承載重量加大的測試機(jī)。

8、其中，所述第一連接組件包括第一連接側(cè)板及第一轉(zhuǎn)角塊，所述第一連接側(cè)板連接所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，所述第一轉(zhuǎn)角塊設(shè)于所述第一連接側(cè)板背離所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的一側(cè)，所述第一轉(zhuǎn)角塊包括相連且相互垂直的第一連接部和第二連接部，所述第一連接部連接所述第一連接側(cè)板，所述第二連接部連接所述測試機(jī)；

9、所述第二連接組件包括第二連接側(cè)板及第二轉(zhuǎn)角塊，所述第二連接側(cè)板連接所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，所述第二轉(zhuǎn)角塊設(shè)于所述第二連接側(cè)板背離所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的一側(cè)，所述第二轉(zhuǎn)角塊包括相連且相互垂直的第三連接部和第四連接部，所述第三連接部連接所述第二連接側(cè)板，所述第四連接部連接所述測試機(jī)。

10、其中，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括依次相連的轉(zhuǎn)動電機(jī)、減速組件及轉(zhuǎn)軸組件，所述轉(zhuǎn)動電機(jī)通過所述減速組件帶動所述轉(zhuǎn)軸組件轉(zhuǎn)動，所述減速組件包括相連的第一減速機(jī)和第二減速機(jī)，所述第一減速機(jī)連接所述轉(zhuǎn)動電機(jī)，所述第二減速機(jī)連接所述轉(zhuǎn)軸組件，所述減速組件還包括減速機(jī)座、第一支撐塊及第二支撐塊，所述減速機(jī)座固定于所述第一支撐架上，且所述減速機(jī)座環(huán)設(shè)至少部分所述第二減速機(jī)的外周并固定連接所述第二減速機(jī)，所述第一支撐塊和所述第二支撐塊設(shè)于所述減速機(jī)座背離所述轉(zhuǎn)軸組件的一側(cè)，且所述第一支撐塊和所述第二支撐塊分別設(shè)于所述減速機(jī)座的兩端，所述第一支撐塊包括相連且相互垂直的第一支撐部和第二支撐部，所述第一支撐部連接所述第一支撐架，所述第二支撐部連接所述減速機(jī)座，所述第二支撐塊包括相連且相互垂直的第三支撐部和第四支撐部，所述第三支撐部連接所述第一支撐架，所述第四支撐部連接所述減速機(jī)座。

11、其中，所述轉(zhuǎn)軸組件還包括第一法蘭、軸體和第二法蘭，所述第一法蘭的外周固定連接所述減速組件和所述軸體，所述第一法蘭的軸心設(shè)有軸向貫穿的第一通孔，所述第一通孔用于穿過所述軸體，所述第一通孔上設(shè)有第一配合部，所述軸體靠近所述第一法蘭的一端設(shè)有第二配合部，所述第一配合部和所述第二配合部配合以限位所述軸體，所述第一配合部和所述第二配合部中的一者為凹槽，另一者為凸起；所述第二法蘭的軸心設(shè)有軸向貫穿的第二通孔，所述第二通孔用于穿過所述軸體，所述第二通孔上設(shè)有第三配合部，所述軸體靠近所述第二法蘭的一端設(shè)有第四配合部，所述第三配合部和所述第四配合部配合以限位所述軸體，所述第三配合部和所述第四配合部中的一者為凹槽，另一者為凸起。

12、其中，所述第一法蘭包括第一本體及第一凸塊，所述第一本體固定連接所述第一連接側(cè)板，所述第一凸塊設(shè)于所述第一本體背離所述減速組件的一側(cè)；所述第一連接側(cè)板上設(shè)有第一通槽，所述第一凸塊設(shè)于所述第一通槽內(nèi)至少部分抵接所述第一通槽的槽壁，以限制所述第一連接側(cè)板相對所述轉(zhuǎn)軸組件轉(zhuǎn)動，所述第一凸塊可以沿垂直于所述第一連接側(cè)板轉(zhuǎn)動軸線的方向與所述第一通槽滑動連接；

13、所述第二法蘭包括第二本體及第二凸塊，所述第二本體固定連接所述第二連接側(cè)板，所述第二凸塊設(shè)于所述第二本體背離所述減速組件的一側(cè)；所述第二連接側(cè)板上設(shè)有第二通槽，所述第二凸塊設(shè)于所述第二通槽內(nèi)至少部分抵接所述第二通槽的槽壁，以限制所述第二連接側(cè)板相對所述轉(zhuǎn)軸組件轉(zhuǎn)動，所述第二凸塊可以沿垂直于所述第二連接側(cè)板轉(zhuǎn)動軸線的方向與所述第二通槽滑動連接。

14、其中，所述機(jī)架機(jī)構(gòu)還包括第一安裝板和第二安裝板，所述第一安裝板和所述第二安裝板平行于所述翻轉(zhuǎn)裝置的放置面，所述第一安裝板設(shè)于所述第一支撐架和所述減速機(jī)座之間，所述第二安裝板設(shè)于所述第二支撐架上；

15、所述翻轉(zhuǎn)裝置還包括軸承座，所述軸承座設(shè)于所述第二安裝板上，所述軸承座環(huán)設(shè)所述軸體的一端并用于限位所述軸體；

16、所述第二法蘭背離所述第一法蘭的一側(cè)設(shè)有第一限位銷，所述第二安裝板上設(shè)有相對間隔的第一限位塊和第二限位塊，所述第一限位塊和所述第二限位塊用于抵接所述第一限位銷，以限定所述轉(zhuǎn)軸組件的轉(zhuǎn)動角度。

17、其中，所述翻轉(zhuǎn)裝置還包括傳感器組件及控制器組件，所述傳感器組件設(shè)于所述第二安裝板上，所述控制器組件電性連接所述傳感器組件，所述軸體遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)動電機(jī)的一端設(shè)有感應(yīng)件，所述感應(yīng)件用于跟隨所述軸體轉(zhuǎn)動，所述感應(yīng)件和所述傳感器組件配合以輸出所述軸體的位置信號至所述控制器組件。

18、其中，所述傳感器組件包括傳感器基座、第一傳感器、第二傳感器、及第三傳感器，所述傳感器基座包括第一基座、第二基座及第三基座，所述第二基座和所述第三基座設(shè)于所述第一基座的兩端且沿所述高度方向延伸，所述第一傳感器設(shè)于所述第一基座上，所述第二傳感器設(shè)于所述第二基座上，所述第三傳感器設(shè)于所述第三基座上；

19、所述感應(yīng)件對應(yīng)所述第一傳感器設(shè)置時，所述翻轉(zhuǎn)裝置處于初始狀態(tài)，所述測試機(jī)和所述探針臺沿寬度方向設(shè)置；

20、所述感應(yīng)件對應(yīng)所述第三傳感器設(shè)置時，所述翻轉(zhuǎn)裝置處于測試狀態(tài)，所述測試機(jī)設(shè)于所述探針臺上且所述測試機(jī)和所述探針臺沿所述高度方向設(shè)置。

21、其中，所述傳感器組件包括傳感器基座、第一傳感器、第二傳感器、及第三傳感器，所述傳感器基座包括第一基座、第二基座及第三基座，所述第二基座和所述第三基座設(shè)于所述第一基座的兩端且沿所述高度方向延伸，所述第一傳感器設(shè)于所述第一基座上，所述第二傳感器設(shè)于所述第二基座上，所述第三傳感器設(shè)于所述第三基座上；

22、所述翻轉(zhuǎn)裝置處于初始狀態(tài)或測試狀態(tài)時，所述感應(yīng)件高于所述第一傳感器和所述第三傳感器，所述翻轉(zhuǎn)裝置的翻轉(zhuǎn)路徑包括加速區(qū)間段和減速區(qū)間段，所述感應(yīng)件經(jīng)過所述第一傳感器的路徑對應(yīng)所述加速區(qū)間段和所述減速區(qū)間段中的一者，所述感應(yīng)件經(jīng)過所述第三傳感器的路徑對應(yīng)所述加速區(qū)間段和所述減速區(qū)間段中的另一者。

23、其中，所述第一連接側(cè)板上設(shè)有多個第一腰型孔，當(dāng)所述測試機(jī)設(shè)于所述探針臺上時，所述第一腰型孔沿所述高度方向延伸，所述第一法蘭上設(shè)有多個第一固定孔，多個第一固定件穿設(shè)所述第一腰型孔并固定于所述第一固定孔內(nèi)，所述第一連接側(cè)板能夠相對所述第一法蘭沿所述高度方向移動；

24、所述第二連接側(cè)板上設(shè)有多個第二腰型孔，當(dāng)所述測試機(jī)設(shè)于所述探針臺上時，所述第二腰型孔沿所述高度方向延伸，所述第二法蘭上設(shè)有多個第二固定孔，多個第二固定件穿設(shè)所述第二腰型孔并固定于所述第二固定孔內(nèi)，所述第二連接側(cè)板能夠相對所述第二法蘭沿所述高度方向移動。

25、其中，所述第一連接組件還包括第一調(diào)節(jié)件和第二調(diào)節(jié)件，所述第一調(diào)節(jié)件貫穿所述第一連接側(cè)板上的通孔并與所述第一凸塊螺紋連接，所述第二調(diào)節(jié)件貫穿所述第一連接側(cè)板上的螺紋孔并抵接所述第一凸塊，所述第一調(diào)節(jié)件用于提供第一作用力至所述第一凸塊，所述第二調(diào)節(jié)件用于提供第二作用力至所述第二凸塊，所述第一作用力和所述第二作用力的方向相反；

26、所述第二連接組件還包括第三調(diào)節(jié)件和第四調(diào)節(jié)件，所述第三調(diào)節(jié)件貫穿所述第二連接側(cè)板上的通孔并與所述第二凸塊螺紋連接，所述第四調(diào)節(jié)件貫穿所述第二連接側(cè)板上的螺紋孔并抵接所述第二凸塊，所述第三調(diào)節(jié)件用于提供第三作用力至所述第二凸塊，所述第四調(diào)節(jié)件用于提供第四作用力至所述第二凸塊，所述第三作用力和所述第四作用力的方向相反。

27、其中，所述翻轉(zhuǎn)裝置還包括第一墊塊、第二墊塊、第一調(diào)平組件、第二調(diào)平組件，所述第一墊塊設(shè)于所述第一轉(zhuǎn)角塊上且分別連接所述第一連接部和所述第二連接部，所述第二墊塊設(shè)于所述第二轉(zhuǎn)角塊上且分別連接所述第三連接部和所述第四連接部，所述第一調(diào)平組件設(shè)于所述第一墊塊背離所述測試機(jī)的一側(cè)，所述第二調(diào)平組件設(shè)于所述第二墊塊背離所述測試機(jī)的一側(cè)，所述第一調(diào)平組件用于帶動所述第一墊塊、所述第一連接部及所述測試機(jī)相對所述第一連接側(cè)板沿寬度方向移動，所述第二調(diào)平組件用于帶動所述第二墊塊、所述第二連接部及所述測試機(jī)相對所述第二連接側(cè)板沿寬度方向移動，所述第一調(diào)平組件和所述第二調(diào)平組件用于調(diào)節(jié)所述測試機(jī)沿寬度方向的水平度。

28、第二方面，本技術(shù)提供了一種晶圓檢測系統(tǒng)，所述晶圓檢測系統(tǒng)包括探針臺、測試機(jī)及所述翻轉(zhuǎn)裝置，所述探針臺通過連接板固定連接于所述翻轉(zhuǎn)裝置的一側(cè)，所述測試機(jī)安裝于所述連接機(jī)構(gòu)。

29、其中，所述晶圓檢測系統(tǒng)還包括固定機(jī)構(gòu)和扣合機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)設(shè)于所述測試機(jī)背離連接機(jī)構(gòu)的一側(cè)，所述扣合機(jī)構(gòu)設(shè)于所述探針臺上或與所述翻轉(zhuǎn)裝置相鄰的機(jī)架上，當(dāng)所述翻轉(zhuǎn)裝置將所述測試機(jī)翻轉(zhuǎn)至所述探針臺上方時，所述固定機(jī)構(gòu)和所述扣合機(jī)構(gòu)配合以限位所述測試機(jī)。

30、其中，所述固定機(jī)構(gòu)還包括第一固定結(jié)構(gòu)，所述扣合機(jī)構(gòu)還包括固定底座及第一承載件，所述第一承載件設(shè)于所述固定底座上，所述第一承載件上設(shè)有第一承載凹槽，所述第一承載凹槽用于抵接并限位所述第一固定結(jié)構(gòu)。

31、其中，所述扣合機(jī)構(gòu)還包括第四傳感器，所述第四傳感器設(shè)于所述第一承載件上且貫穿所述第一承載凹槽，所述第四傳感器用于檢測所述第一固定結(jié)構(gòu)并發(fā)出檢測信號。

32、其中，所述扣合機(jī)構(gòu)還包括第一固定座及第一扣合件，所述第一固定座和所述第一承載件沿寬度方向設(shè)置，所述第一扣合件的一端轉(zhuǎn)動連接所述第一固定座，所述第一扣合件靠近所述第一固定座的一端設(shè)有第一扣合凹槽，所述第一扣合件能夠相對所述第一固定座轉(zhuǎn)動以使所述第一扣合凹槽收容所述第一固定結(jié)構(gòu)，以限位所述第一固定結(jié)構(gòu)及所述測試機(jī)。