本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種mems角速度傳感器。

背景技術(shù)：

1、mems角速度傳感器在消費(fèi)電子、汽車(chē)電子、工業(yè)電子等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。尤其在一些新的應(yīng)用場(chǎng)景，比如ar/vr、自動(dòng)駕駛，要求mems角速度傳感器在振動(dòng)場(chǎng)景保持高性能。

2、現(xiàn)有的三軸結(jié)構(gòu)的mems角速度傳感器常存在兩個(gè)軸共用質(zhì)量塊的設(shè)計(jì)，會(huì)在檢測(cè)各個(gè)軸的角速度的時(shí)候帶來(lái)軸間干擾，進(jìn)而降低了mems角速度傳感器的檢測(cè)精度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于上述問(wèn)題，本技術(shù)的目的在于提供一種檢測(cè)精度較高的mems角速度傳感器。

2、根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種mems角速度傳感器，包括：

3、第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)，用于檢測(cè)第一軸線方向的角速度；

4、第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)，用于檢測(cè)第二軸線方向的角速度，所述第一軸線與所述第二軸線垂直，所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)位于所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，其中，所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)和所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)組成的整體結(jié)構(gòu)的投影為十字結(jié)構(gòu)，并形成十字結(jié)構(gòu)的四個(gè)獨(dú)立的邊角區(qū)域；

5、結(jié)構(gòu)相同的第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中的每個(gè)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊位于一個(gè)所述邊角區(qū)域中。

6、可選地，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別與位于二者之間的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)耦接，所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別與位于二者之間的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)耦接，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別與位于二者之間的第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)耦接，所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別與位于二者之間的第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)耦接。

7、可選地，還包括：

8、第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)，用于檢測(cè)第三軸線方向的角速度，位于所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊內(nèi)，所述第三軸線與所述第一軸線和所述第二軸線所在平面垂直。

9、可選地，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊整體關(guān)于第一軸線、第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊整體關(guān)于第一軸線、第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

10、可選地，所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)關(guān)于第一軸線、第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)關(guān)于第一軸線、第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

11、可選地，所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)包括：

12、第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)的多個(gè)耦合梁；

13、第一檢測(cè)質(zhì)量塊，位于所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊之間，所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接；

14、第二檢測(cè)質(zhì)量塊，位于所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊之間，所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接，所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊之間經(jīng)由相應(yīng)的第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁耦接。

15、可選地，所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第一軸線方向并列排布。

16、可選地，所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)包括：

17、第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的多個(gè)耦合梁；

18、位于所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)第一側(cè)的第三檢測(cè)質(zhì)量塊和第四檢測(cè)質(zhì)量塊，所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊、第四檢測(cè)質(zhì)量塊位于所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊之間，所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接，所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接，所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊之間經(jīng)由相應(yīng)的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁耦接；

19、位于所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)第二側(cè)的第五檢測(cè)質(zhì)量塊和第六檢測(cè)質(zhì)量塊，所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊、第六檢測(cè)質(zhì)量塊位于所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊之間，所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接，所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接，所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊之間經(jīng)由相應(yīng)的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁耦接。

20、可選地，所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第二軸線方向并列排布，所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第二軸線方向并列排布，所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第一軸線方向并列排布，所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第一軸線方向并列排布。

21、可選地，所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)還包括：

22、位于所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)第一側(cè)的第一錨點(diǎn)、第二錨點(diǎn)，所述第一錨點(diǎn)、所述第二錨點(diǎn)位于所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊之間，所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第一錨點(diǎn)和所述第二錨點(diǎn)耦接；

23、位于所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)第二側(cè)的第三錨點(diǎn)、第四錨點(diǎn)，所述第三錨點(diǎn)、所述第四錨點(diǎn)位于所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊之間，所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第三錨點(diǎn)和所述第四錨點(diǎn)耦接。

24、可選地，所述第一錨點(diǎn)、所述第二錨點(diǎn)、所述第三錨點(diǎn)、所述第四錨點(diǎn)沿所述第二軸線并列分布。

25、可選地，所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)關(guān)于所述第一軸線、所述第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)關(guān)于所述第一軸線、所述第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

26、可選地，所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)包括：

27、第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的多個(gè)耦合梁；

28、第七檢測(cè)質(zhì)量塊，位于所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的第一開(kāi)口中，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接；

29、第八檢測(cè)質(zhì)量塊，位于所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的第一開(kāi)口中，所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接；

30、第九檢測(cè)質(zhì)量塊，位于所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的第一開(kāi)口中，所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接；

31、第十檢測(cè)質(zhì)量塊，位于所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的第一開(kāi)口中，所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊經(jīng)由相應(yīng)的第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊耦接；

32、第一橋接梁，經(jīng)由相應(yīng)的第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊耦接，經(jīng)由相應(yīng)的第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊耦接；以及

33、第二橋接梁，經(jīng)由相應(yīng)的第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊耦接，經(jīng)由相應(yīng)的第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)的耦合梁與所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊耦接。

34、可選地，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第二軸線方向并列排布，所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第二軸線方向并列排布，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第一軸線方向并列排布，所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊沿所述第一軸線方向并列排布。

35、可選地，還包括：

36、驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的耦合梁；

37、四組錨點(diǎn)，每組錨點(diǎn)包括沿所述第一軸線方向并列排布的第五錨點(diǎn)和第六錨點(diǎn)，每個(gè)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊經(jīng)由驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的相應(yīng)耦合梁與一組錨點(diǎn)耦接，其中，每組錨點(diǎn)中的第五錨點(diǎn)和第六錨點(diǎn)分別位于與之耦接的驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊相對(duì)的兩側(cè)。

38、可選地，在驅(qū)動(dòng)模態(tài)下，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中的每個(gè)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊沿第一軸線方向做線性運(yùn)動(dòng)；

39、所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊跟隨所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊做線性運(yùn)動(dòng)，所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊跟隨所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊做線性運(yùn)動(dòng)，所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊跟隨所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊做線性運(yùn)動(dòng)，所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊跟隨所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊做線性運(yùn)動(dòng)；

40、所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊跟隨所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊做線性運(yùn)動(dòng)，所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊跟隨所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊做線性運(yùn)動(dòng)，所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊跟隨所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊做線性運(yùn)動(dòng)，所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊跟隨所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊做線性運(yùn)動(dòng)；

41、所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊隨著與之耦接的所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊在第一軸線和第二軸線限定的平面內(nèi)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊隨著與之耦接的所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊在第一軸線和第二軸線限定的平面內(nèi)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，

42、其中，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊與所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)方向相反，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊與所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)方向相同，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊與所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)方向相反，

43、所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊的旋轉(zhuǎn)方向相反。

44、可選地，在第一軸線方向的角速度的檢測(cè)模態(tài)時(shí)，所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊繞所述第二軸線旋轉(zhuǎn)，且所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊反相旋轉(zhuǎn)；

45、所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中每個(gè)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊由于兩側(cè)錨點(diǎn)的約束以及與第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)之間解耦合不發(fā)生運(yùn)動(dòng)；

46、所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第三檢測(cè)質(zhì)量塊、第四檢測(cè)質(zhì)量塊、第五檢測(cè)質(zhì)量塊和第六檢測(cè)質(zhì)量塊不發(fā)生運(yùn)動(dòng)；

47、所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第七檢測(cè)質(zhì)量塊、第八檢測(cè)質(zhì)量塊、第九檢測(cè)質(zhì)量塊和第十檢測(cè)質(zhì)量塊不發(fā)生運(yùn)動(dòng)。

48、可選地，在第二軸線方向的角速度的檢測(cè)模態(tài)時(shí)，所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊繞所述第二軸線旋轉(zhuǎn)，且所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊反相旋轉(zhuǎn)；所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊繞所述第二軸線旋轉(zhuǎn)，且所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊反相旋轉(zhuǎn)；

49、所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊由于兩側(cè)錨點(diǎn)的約束以及與第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)之間解耦合不發(fā)生運(yùn)動(dòng)；

50、所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第一檢測(cè)質(zhì)量塊、第二檢測(cè)質(zhì)量塊不發(fā)生運(yùn)動(dòng)；

51、所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第七檢測(cè)質(zhì)量塊、第八檢測(cè)質(zhì)量塊、第九檢測(cè)質(zhì)量塊和第十檢測(cè)質(zhì)量塊不發(fā)生運(yùn)動(dòng)。

52、可選地，在第三軸線方向的角速度的檢測(cè)模態(tài)時(shí)，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊、所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊、所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊和所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊中的每個(gè)檢測(cè)質(zhì)量塊沿第二軸線方向做線性運(yùn)動(dòng)，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)方向相反，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)方向相同，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)方向相反；

53、所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊由于兩側(cè)錨點(diǎn)的約束以及與第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)之間解耦合不發(fā)生運(yùn)動(dòng)；

54、所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第一檢測(cè)質(zhì)量塊、第二檢測(cè)質(zhì)量塊不發(fā)生運(yùn)動(dòng)；

55、所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第三檢測(cè)質(zhì)量塊、第四檢測(cè)質(zhì)量塊、第五檢測(cè)質(zhì)量塊和第六檢測(cè)質(zhì)量塊不發(fā)生運(yùn)動(dòng)。

56、可選地，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中的每個(gè)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊內(nèi)部包括：

57、第一空腔；

58、驅(qū)動(dòng)推挽梳齒，位于所述第一空腔內(nèi)，相鄰且相對(duì)設(shè)置的兩組驅(qū)動(dòng)推挽梳齒形成一組推挽驅(qū)動(dòng)電容器；

59、驅(qū)動(dòng)反饋梳齒，位于所述第一空腔內(nèi)，相鄰且相對(duì)設(shè)置的兩組驅(qū)動(dòng)反饋梳齒形成一組驅(qū)動(dòng)反饋電容器。

60、可選地，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中的所述推挽驅(qū)動(dòng)電容器整體關(guān)于所述第一軸線、第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中的所述推挽驅(qū)動(dòng)電容器整體關(guān)于所述第一軸線、第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

61、可選地，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中的所述驅(qū)動(dòng)反饋電容器整體關(guān)于所述第一軸線、第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中的所述驅(qū)動(dòng)反饋電容器整體關(guān)于所述第一軸線、第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

62、可選地，每個(gè)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊中包括三組推挽驅(qū)動(dòng)電容器和一組驅(qū)動(dòng)反饋電容器。

63、可選地，所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第一檢測(cè)質(zhì)量塊、第二檢測(cè)質(zhì)量塊中的每個(gè)檢測(cè)質(zhì)量塊中開(kāi)設(shè)有第二空腔，所述第二空腔將所述檢測(cè)質(zhì)量塊劃分形成第一部分和第二部分；

64、所述第一部分與位于其下方的電極構(gòu)成第一檢測(cè)電容；所述第二部分與位于其下方的電極構(gòu)成第二檢測(cè)電容，

65、所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的所述第一檢測(cè)電容和第二檢測(cè)電容整體關(guān)于所述第一軸線、第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的所述第一檢測(cè)電容和第二檢測(cè)電容整體關(guān)于所述第一軸線、第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

66、可選地，所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第三檢測(cè)質(zhì)量塊、第四檢測(cè)質(zhì)量塊、第五檢測(cè)質(zhì)量塊、第六檢測(cè)質(zhì)量塊中的每個(gè)檢測(cè)質(zhì)量塊中開(kāi)設(shè)有第三空腔，所述第三空腔將所述檢測(cè)質(zhì)量塊劃分形成第一部分和第二部分；

67、所述第一部分與位于其下方的電極構(gòu)成第三檢測(cè)電容；所述第二部分與位于其下方的電極構(gòu)成第四檢測(cè)電容，

68、所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的所述第三檢測(cè)電容和第四檢測(cè)電容整體關(guān)于所述第一軸線、第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的所述第三檢測(cè)電容和第四檢測(cè)電容整體關(guān)于所述第一軸線、第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

69、可選地，所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的第七檢測(cè)質(zhì)量塊、第八檢測(cè)質(zhì)量塊、第九檢測(cè)質(zhì)量塊、第十檢測(cè)質(zhì)量塊中的每個(gè)檢測(cè)質(zhì)量塊包括：

70、第四空腔；

71、多條連接梁，位于所述第四空腔內(nèi)，將所述第四空腔分為多個(gè)空間；

72、第一平板，位于所述第四空腔內(nèi)，與所述連接梁形成第五檢測(cè)電容；

73、第二平板，位于所述第四空腔內(nèi)，與所述連接梁形成第六檢測(cè)電容，

74、其中，每個(gè)空間內(nèi)設(shè)有一個(gè)第一平板和一個(gè)第二平板，每個(gè)空間內(nèi)的第一平板和第二平板相對(duì)設(shè)置。

75、可選地，所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的所述第五檢測(cè)電容和第六檢測(cè)電容整體關(guān)于所述第一軸線、所述第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)中的所述第五檢測(cè)電容和第六檢測(cè)電容整體關(guān)于所述第一軸線、所述第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

76、可選地，所述mems角速度傳感器關(guān)于所述第一軸線、所述第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述mems角速度傳感器關(guān)于所述第一軸線、所述第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

77、可選地，所述第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)還包括：

78、位于所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)第一側(cè)的第七錨點(diǎn)，所述第七錨點(diǎn)與所述第一橋接梁耦接；

79、位于所述第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)第二側(cè)的第八錨點(diǎn)，所述第八錨點(diǎn)與所述第二橋接梁耦接。

80、可選地，所述第七錨點(diǎn)和所述第八錨點(diǎn)沿所述第二軸線方向并列排布，所述第七錨點(diǎn)位于所述第一橋接梁中心位置的凹陷區(qū)域，所述第八錨點(diǎn)位于所述第二橋接梁中心位置的凹陷區(qū)域。

81、可選地，所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)關(guān)于第一軸線、第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)關(guān)于第一軸線、第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

82、可選地，所述四組錨點(diǎn)整體關(guān)于所述第一軸線、所述第二軸線均對(duì)稱(chēng)，或者所述四組錨點(diǎn)整體關(guān)于所述第一軸線、所述第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)。

83、可選地，在驅(qū)動(dòng)模態(tài)下，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊與所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的動(dòng)量總和為0，所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊與所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊的動(dòng)量總和為0，所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊的動(dòng)量總和為0，所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊的動(dòng)量總和為0，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊的動(dòng)量總和為0，所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊的動(dòng)量總和為0，所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊的角動(dòng)量和為0。

84、可選地，在第一軸線方向的角速度的檢測(cè)模態(tài)時(shí)，所述第一檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第二檢測(cè)質(zhì)量塊的角動(dòng)量和為0。

85、可選地，在第二軸線方向的角速度的檢測(cè)模態(tài)時(shí)，所述第三檢測(cè)質(zhì)量塊、所述第四檢測(cè)質(zhì)量塊、所述第五檢測(cè)質(zhì)量塊、所述第六檢測(cè)質(zhì)量塊的角動(dòng)量和為0。

86、可選地，在第三軸線方向的角速度的檢測(cè)模態(tài)時(shí)，所述第七檢測(cè)質(zhì)量塊、所述第八檢測(cè)質(zhì)量塊、所述第九檢測(cè)質(zhì)量塊、所述第十檢測(cè)質(zhì)量塊的角動(dòng)量和為0。

87、本技術(shù)提供的mems角速度傳感器，其中的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)和第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)組成的整體結(jié)構(gòu)的投影為十字結(jié)構(gòu)，并形成十字結(jié)構(gòu)的四個(gè)獨(dú)立的邊角區(qū)域，第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別位于一個(gè)獨(dú)立的邊角區(qū)域中彼此隔開(kāi)。上述結(jié)構(gòu)避免了軸間干擾對(duì)傳感器精度的影響。

88、本技術(shù)提供的mems角速度傳感器，其中的第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別與位于二者之間的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)耦接，所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別與位于二者之間的第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)耦接，所述第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別與位于二者之間的第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)耦接，所述第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊、所述第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊分別與位于二者之間的第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)耦接，以消除驅(qū)動(dòng)模態(tài)的頻率裂解，提高測(cè)量精度。例如在檢測(cè)第一軸線方向的角速度時(shí)，只需將第一檢測(cè)結(jié)構(gòu)與第一至第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊之間解耦合，第二檢測(cè)結(jié)構(gòu)和第三檢測(cè)結(jié)構(gòu)以及第一至第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊均不發(fā)生運(yùn)動(dòng)。即本技術(shù)中的上述結(jié)構(gòu)在各自軸向的角速度檢測(cè)時(shí)只需將對(duì)應(yīng)軸的檢測(cè)結(jié)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊解耦合即可得到互不干擾的檢測(cè)結(jié)果，避免了軸間干擾對(duì)傳感器精度的影響。

89、進(jìn)一步地，在第一軸線方向的角速度輸入時(shí)，第一檢測(cè)質(zhì)量塊和第二檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)。在第二軸線方向的角速度輸入時(shí)，第三檢測(cè)質(zhì)量塊和第四檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)，第五檢測(cè)質(zhì)量塊和第六檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)。在第三軸線方向的角速度輸入時(shí)，第七檢測(cè)質(zhì)量塊和第八檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)、第九檢測(cè)質(zhì)量塊和第十檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)，消除了線加速度與角加速度干擾下的電容變化，提高了mems角速度傳感器的抗振性。

90、本技術(shù)提供的mems角速度傳感器整體結(jié)構(gòu)關(guān)于第一軸線、第二軸線對(duì)稱(chēng)，或者關(guān)于第一軸線、第二軸線、中心均對(duì)稱(chēng)，并且，第一檢測(cè)質(zhì)量塊和第二檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)，第三檢測(cè)質(zhì)量塊和第四檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)，第五檢測(cè)質(zhì)量塊和第六檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)，第七檢測(cè)質(zhì)量塊和第八檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)、第九檢測(cè)質(zhì)量塊和第十檢測(cè)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第二驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)，第三驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊和第四驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊反相運(yùn)動(dòng)。進(jìn)而使得mems角速度傳感器在驅(qū)動(dòng)模態(tài)和三個(gè)檢測(cè)模態(tài)中所有質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)保持動(dòng)量和角動(dòng)量平衡，也就是所有工作模態(tài)中質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)引起的動(dòng)量和為0，同時(shí)角動(dòng)量和也為0。這樣設(shè)計(jì)的好處在于可以避免質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的力和力矩耦合進(jìn)入傳感器的設(shè)計(jì)，同時(shí)避免了外界的線加速度和角加速度對(duì)傳感器探測(cè)角速度信號(hào)的干擾。