離子產生裝置的靜電消散能力自我檢測方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明有關于一種自我檢測的方法，特別是指一種可用于離子產生裝置的靜電消 散能力自我檢測方法。
【背景技術】
[0002] 半導體的相關電子產品需求量的日益趨增，消費者對電子產品演進為追求輕、薄、 短、小的訴求，且電子元件不斷的縮小尺寸，相對于半導體晶片的制程也隨的推陳出新，研 發(fā)出突破現有的技術，以符合市場上電子產品的需求。
[0003] 再者，半導體產品的制造成本與附加價值均屬高價，且產品的良率將為影響半導 體晶片與相關電子商品成本的關鍵，所以半導體晶片制造過程中的每個階段、每一個半導 體生產設備，都有著層層的測試及檢驗以為最終的電子產品的良率作把關。
[0004] 當半導體制程越來越微型化，且制程進入22納米甚至20納米以下，今后半導體 產品將更容易受環(huán)境中的靜電電荷影響而毀壞，所謂靜電是指由物體接觸與分離時負電 離子的移動所造成物體偏正電或是負電的效應，使該體積小的半導體產品，因靜電放電 (ElectroStaticDischarge,ESD)被打穿、燒毀、劣化、破壞等等情況所毀壞而失效，因此 靜電防護成為半導體產業(yè)需要克服的課題之一。
[0005] 參閱圖1為現有中國臺灣發(fā)明第1359235號一種機器設備之離子風扇檢知裝置， 該機器設備設有控制各裝置作動的中央處理器23,并于外罩的內部設有至少一用以消除靜 電的離子風扇24,該離子風扇24連接有一檢知裝置25,該檢知裝置25內設有一微處理單 元254及多個偵測單元251，該多個偵測單元251并以線路連接該離子風扇24,而可將該離 子風扇24的偵測信號傳輸至該微處理單元254,該微處理單元254進行比對后將偵測結果 經由該中央處理器23傳輸至該顯示單元231顯示偵測結果。
[0006] 現有所揭露的離子風扇檢知裝置雖可使工作人員便利于機器設備的外部，立即獲 知該離子風扇的異常狀態(tài)，作相關應變處理以排除異常，但卻無法積極地達到主動控制該 離子風扇24所輸出的正、負離子數量，將使得半導體的制程被迫中斷，影響生產時間。
[0007] 由于靜電不會平白無故消失在環(huán)境之中，只要有靜電產生一定會造成破壞，且往 往一次的靜電破壞所損失的產值往往是數百萬或數千萬，為了提高產品的可靠度及避免靜 電破壞造成的危害，現有制程中主動排除靜電的裝置，有必要再加以改進。
[0008] 有鑒于此，本案申請人遂于2013/6/10以申請案號第102120596號提出「具主動感 測回饋的離子產生裝置」一案。雖然該發(fā)明可依據所偵測到的離子量平衡電壓，分別反饋離 子產生裝置告知調節(jié)時，離子產生裝置應該對應產生輸出的正、負離子量，以達到積極地感 知回饋控制，但是若離子產生裝置所應輸出的正、負離子功能，本身即未能符合輸出的需求 (例如離子放電針污損時），盡管該離子產生裝置會持續(xù)反饋離子量的平衡電壓，仍然無法 達到調節(jié)中和靜電電荷的目的，而使受測的半導體產品繼續(xù)受到靜電損傷。
[0009] 又，目前對應此一情況的作法，是按月定期對該離子產生裝置的靜電消散能力作 檢查，檢查時必須將半導體生產線停機，且移除半導體產品，如此一來將耗費更多人力與檢 測時間，因而，確實需要一種能夠對離子產生裝置進行靜電消散能力檢測又不會影響生產 線生產測貨的方法。

【發(fā)明內容】

[0010] 為了解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種離子產生裝置的靜電消散能力自我檢測 方法。
[0011] 該離子產生裝置的靜電消散能力自我檢測方法，包含下列步驟：首先，進行步驟 (a)，備制一離子產生裝置，該離子產生裝置包括有一控制器、一與該控制器電性連接的正 離子產生電路及一負離子產生電路、一氣流產生器，以及一偵測元件。
[0012] 接著，進行步驟（b)，該控制器預設有一常數比率k=y / X，并可控制該正離子產生 電路及該負離子產生電路放電釋出多個正、負離子，該氣流產生器可將該多個正、負離子導 引至一目標地。而后，進行步驟（c)，該偵測元件可感測該目標地的正、負離子平衡電壓，并 將該感測結果回傳予該控制器。
[0013] 然后，進行步驟（d)，該控制器可控制該正離子產生電路，及該負離子產生電路增 加或減少其所釋放的離子量，令其所增減的離子量為X，再令該控制器監(jiān)控該偵測元件所感 測到該目標地的平衡電壓為y。
[0014] 接著，進行步驟（e)，由該控制器來判斷x、y兩個變數所成的函數關系是否與該控 制器預設的常數比率相同。最后，進行步驟（f)，若該控制器比對的常數比率結果相同，則認 定該離子產生裝置的靜電消散能力正常。
[0015]上述更可包含一步驟（g)，于間隔一段時間，重復步驟（dr步驟（f)。
[0016] 上述更包含一介于步驟（e)與步驟（f)間的步驟（h)，若該控制器比對常數比率的 結果不同，則該控制器會對外發(fā)出一靜電消散警示信號，提醒使用者該離子產生裝置的靜 電消散能力異常。
[0017] 上述在該步驟（h)中，該控制器比對常數比率的結果有一誤差容許值，該誤差容 許值為± 5%，在該誤差容許值范圍內，該控制器不會對外發(fā)出該靜電消散警示信號。
[0018] 上述更可包含一步驟（i)，該控制器控制該正離子產生電路及該負離子產生電路 停止釋出多個正、負離子。
[0019] 上述該步驟（g)中，其間隔時間為1小時。
[0020] 上述更包含一介于步驟（f)與步驟（g)間的步驟（j)，該控制器偵測該正、負離子 產生電路的放電電流是否變化超過一門檻值，若未超過門檻值則繼續(xù)進行步驟（g)，若超過 門檻值則進行步驟（i)，該控制器控制該正離子產生電路及該負離子產生電路停止釋出多 個正、負離子。
[0021] 上述更包含一介于步驟（j)與步驟（i)間的步驟（k)，該控制器會對外發(fā)出一放電 警示信號，提醒使用者該正、負離子產生電路的放電異常。
[0022] 上述步驟（j)中，該門檻值為正常放電電流的10%。
[0023] 上述在步驟（c)、步驟（h)與步驟（k)中，該控制器會持續(xù)記錄該目標地的平衡電 壓，以及記錄該靜電消散警示信號與該放電警示信號的數值變化并對外輸出。
[0024] 本發(fā)明的有益功效在于，借由該控制器偵測x、y兩個變數所成的函數關系是否與 該控制器預設的常數比率相同，得以判斷該離子產生裝置的靜電消散能力是否異常，且判 斷時生產線不須停機，不須清空產品，可以在生產同時同步檢測，亦不會影響當前生產線的 生產現況。
【附圖說明】
[0025] 圖1是一控制流程圖，說明現有中國臺灣發(fā)明第1359235號一種機器設備的離子 風扇檢知裝置； 圖2是一方塊示意圖，說明本發(fā)明離子產生裝置的主要構成元件； 圖3是一流程示意圖，說明本發(fā)明離子產生裝置的靜電消散能力自我檢測方法的第一 較佳實施例； 圖4是一立體示意圖，說明該第一較佳實施例中，該離子產生裝置的實施態(tài)樣；及 圖5是一流程示意圖，說明本發(fā)明離子產生裝置的靜電消散能力自我檢測方法的第二 較佳實施例。
[0026] 附圖標記說明： 23、 中央處理器； 231、顯示單元； 24、 離子風扇； 25、 檢知裝置； 251、偵測單元； 254、微處理單兀； 3、離子產生裝置； 31、 主機單元； 311、控制器； 32、 感應單元； 321、偵測元件； 33、 離子產生單元； 331、 正離子產生電路； 332、 負離子產生電路； 333、 氣流產生器； A、 目標地； B、 半導體產品； 901~911、步驟。
【具體實施方式】
[0027] 有關本發(fā)明的特色與技術內容，在以下配合參考圖式的二個較佳實施例的詳細說 明中，將可清楚的呈現。
[0028] 在進行詳細說明前，應注意的是，類似的元件是以相同的編號來作表示。
[0029] 參閱圖2,為本發(fā)明離子產生裝置的靜電消散能力自我檢測方法的第一較佳實施 例。該離子產生裝置3包含有一主機單元31、一與該主機單元31電性連接的感應單元32， 及一與該主機單元31電性連接的離子產生單元33。該主機單元31包括有一控制器311， 該感應單元32包括有一偵測元件321，該離子產生單元33包括有一正離子產生電路331、 一負離子產生電路332,以及一氣流產生器333。
[0030] 配合參閱圖3、4,該離子產生裝置3的靜電消散能力自我檢測方法，包含下列步 驟：首先，進行步驟901，備制上述的離子產生裝置3。
[0031] 接著，進行步驟902，該控制器311中預設有一常數比率 并可控制該正離子產生電路331及該負離子產生電路332放電釋放出多個正、負 離子，該氣流產生器333可將該正、負離子產生電路331、332所釋放的多個正、負離子導引 至一目標地A，通常該目標地A即為一半導體產品B所在位置之處，目的是用以使該半導體 產品B能中合靜電電荷，避免該半導體產品B受到靜電傷害。
[0032] 而后，進行步驟903,該偵測元件321可感測該目標地A的正、負離子平衡電壓，并 將該感測結果回傳予該控制器311。
[0033]然后，進行步驟904,該控制器311可控制該正離子產生電路331，及該負離子產生 電路332增加或減少其所釋放的正、負離子量。在該第一較佳實施例中，是令該正、負離子 產生電路331、332所增減的離子量為X，再令該控制器監(jiān)控該偵測元件321所感測到該目標 地A的平衡電壓為y。
[0034] 接著，進行步驟905,由該控制器311來判斷x、y兩個變數所成的函數關系是否與 該控制器311原先預設的常數比率相同。
[0035] 若該控制器311比對x、y兩變數所成的函數關系與預設值的常數比率結果相同， 則進行步驟906,認定該離子產生裝置3的靜電消散能力正常