閃爍器面板和放射線檢測器的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明的一個側(cè)面涉及閃爍器面板和放射線檢測器。
【背景技術(shù)】
[0002]作為上述技術(shù)領域的現(xiàn)有技術(shù)，例如已知有專利文獻I所記載的放射線檢測元件。專利文獻I所記載的放射線檢測元件包括:玻璃基板；設置在玻璃基板上且包括多個光電轉(zhuǎn)換元件的光傳感器部；設置在光傳感器部上的平坦化膜；和設置在平坦化膜上的多個閃爍器部。特別是在該放射線檢測元件，在平坦化膜，形成有與光電轉(zhuǎn)換元件分別對應的多個凸部，閃爍器部的各個以相互接觸并被劃分開的方式在該凸部的上表面上形成。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開2001-128064號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的問題
[0007]在專利文獻I所記載的放射線檢測元件中，如上所述，在基板和光傳感器部之上的平坦化膜形成凸部，并且以相互被劃分的方式在該凸部的上表面上形成閃爍器部，由此，與在基板和光傳感器部的整個面形成閃爍器部的情況相比較，能夠?qū)崿F(xiàn)起因于在閃爍器部的串擾的MTF的降低的抑制等。
[0008]但是，當如專利文獻I所記載的放射線檢測元件那樣，在平坦化膜的凸部的上表面上形成閃爍器部時，與在基板和光傳感器部的整個面(即平坦化膜的整個面)形成閃爍器部的情況相比較，存在閃爍器部的緊貼性降低、可靠性降低的擔憂。
[0009]本發(fā)明的一個側(cè)面是有鑒于那樣的情況而完成的發(fā)明，其目的在于提供能夠抑制可靠性的降低的閃爍器面板和放射線檢測器。
[0010]解決問題的技術(shù)手段
[0011]為了解決上述問題，本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的閃爍器面板是用于將放射線轉(zhuǎn)換為閃爍光的閃爍器面板，包括:基板，其具有表面和背面，并且形成有在從背面朝向表面的規(guī)定的方向上從表面突出的多個凸部和由凸部規(guī)定的凹部；在基板的凸部的各個上形成的多個第一閃爍器部；和在基板的凹部的底面上形成的第二閃爍器部，第一閃爍器部具有從凸部的上表面沿規(guī)定的方向延伸的第一部分和從凸部的側(cè)面沿規(guī)定的方向延伸且與第一部分接觸的第二部分，第一和第二部分由閃爍器材料的多個柱狀晶體構(gòu)成，第一閃爍器部彼此相互分尚，第二閃爍器部與第二部分接觸。
[0012]該閃爍器面板包括在基板的多個凸部上形成的第一閃爍器部和在由基板的凸部規(guī)定的凹部的底面上形成的第二閃爍器部。特別是第一閃爍器部不僅包括從凸部的上表面延伸的第一部分而且包括從凸部的側(cè)面延伸且與第一部分接觸的第二部分。因此，第一閃爍器部整體與基板的接觸面積變大，緊貼性提高。再有，第二部分與在凹部的底面形成的第二閃爍器部接觸。因此，構(gòu)成第二部分的多個柱狀晶體從凹部的底面?zhèn)缺坏诙W爍器部支承，因此能夠防止它們的脫落。由此，根據(jù)該閃爍器面板，能夠抑制可靠性的降低。另外，第一閃爍器部不僅具有第一部分而且還具有從凸部的側(cè)面延伸的第二部分，因此，在放射線沿凸部的突出方向(從基板的背面朝向表面的規(guī)定的方向)入射的情況下，能夠擴大有效區(qū)域。
[0013]在本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:第一部分由從凸部的上表面沿規(guī)定的方向進行晶體生長而形成的多個柱狀晶體構(gòu)成，第二部分由從凸部的側(cè)面沿與規(guī)定的方向交叉的方向進行晶體生長而形成的多個柱狀晶體構(gòu)成。在這種情況下，在放射線沿上述規(guī)定的方向入射的情況下，能夠更加擴大有效區(qū)域。
[0014]在本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:構(gòu)成第一部分的柱狀晶體的柱徑隨著從凸部的上表面離開而擴大，構(gòu)成第二部分的柱狀晶體的柱徑隨著從凸部的側(cè)面離開而擴大，構(gòu)成第二部分的柱狀晶體的柱徑的擴大率比構(gòu)成第一部分的柱狀晶體的柱徑的擴大率大。在這種情況下，構(gòu)成從凸部的側(cè)面延伸的第二部分的柱狀晶體的柱徑相對較大，因此有效區(qū)域變大，并且放射線吸收變高。
[0015]在本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:凸部的高度比柱狀晶體的柱徑大。在這種情況下，能夠可靠地由多個柱狀晶體構(gòu)成第二部分。此外，能夠可靠地將第一閃爍器部彼此分離地形成。
[0016]在本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:還包括以覆蓋第一和第二閃爍器部的方式形成的保護膜。在這種情況下，第一和第二閃爍器部的耐濕性得到提尚。
[0017]本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的閃爍器面板能夠為如下方式:還包括光遮蔽層，該光遮蔽層在第一閃爍器部彼此之間形成且用于遮蔽閃爍光。在這種情況下，能夠?qū)⒃诟鱾€第一閃爍器部產(chǎn)生的閃爍光封入，因此能夠?qū)崿F(xiàn)高亮度、高清晰度。
[0018]此處，為了解決上述問題，本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的放射線檢測器包括上述的閃爍器面板，基板是具有以與第一閃爍器部光學結(jié)合的方式排列的多個光電轉(zhuǎn)換元件的傳感器面板。該放射線檢測器因為具備上述的閃爍器面板，所以能夠抑制可靠性的降低。特別是基板為包括光電轉(zhuǎn)換元件的傳感器面板，因此能夠在該光電轉(zhuǎn)換元件上直接形成凸部，在該凸部之上形成閃爍器部。因此，不需要將另外準備的閃爍器面板和傳感器面板貼合。
[0019]在本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的放射線檢測器中，能夠為如下方式:基板的凸部相對于閃爍光具有透過性。在這種情況下，能夠通過凸部使來自第一閃爍器部的閃爍光有效率地到達光電轉(zhuǎn)換件。
[0020]發(fā)明的效果
[0021]根據(jù)本發(fā)明的一個側(cè)面，能夠提供能夠抑制可靠性的降低的、具有分離型閃爍器部的閃爍器面板和具有分離型閃爍器部的放射線檢測器。
【附圖說明】
[0022]圖1是第一實施方式所涉及的閃爍器面板的側(cè)面圖。
[0023]圖2是圖1所示的閃爍器面板的部分平面圖。
[0024]圖3是圖1所示的閃爍器面板的部分側(cè)面圖。
[0025]圖4是表示圖1所示的閃爍器面板的一個例子的截面照片。
[0026]圖5是第二實施方式所涉及的閃爍器面板的側(cè)面圖。
[0027]圖6是第三實施方式所涉及的閃爍器面板的側(cè)面圖。
[0028]圖7是圖6所示的閃爍器面板的部分平面圖。
[0029]圖8是第四實施方式所涉及的閃爍器面板的側(cè)面圖。
【具體實施方式】
[0030]以下，參照附圖，對一個實施方式所涉及的閃爍器面板進行詳細的說明。另外，在各圖中，對相同或相當部分標注相同符號，省略重復的說明。以下的實施方式所涉及的閃爍器面板是用于將入射的X射線等的放射線R轉(zhuǎn)換為可見光等的閃爍光的閃爍器面板，例如能夠在乳房X射線照相裝置、胸部檢查裝置、CT裝置、齒科口內(nèi)攝影裝置和放射線照相機等中作為放射線成像用的裝置來使用。
[0031][第一實施方式]
[0032]首先，對第一實施方式所涉及的閃爍器面板進行說明。圖1是第一實施方式所涉及的閃爍器面板的側(cè)面圖。圖2是圖1所示的閃爍器面板的部分平面圖。圖3是圖1所示的閃爍器面板的部分側(cè)面圖。如圖1?3所示，閃爍器面板I具備矩形的基板10。
[0033]基板10具有彼此相對的表面1a和背面10b?；?0具有在表面1a形成的凹凸圖案Pa。作為基板10的材料，例如能夠使用Al或SUS (不銹鋼)等的金屬、聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯等的樹脂薄膜、無定形碳或碳纖維強化塑料等的碳類材料、FOP(光纖面板:將直徑為幾微米的大量光纖捆束而得到的光學裝置(例如浜松光電子公司制J5734)等。作為凹凸圖案Pa的材料，例如能夠使用環(huán)氧類樹脂(日本化藥(株式會社)制KMPR和SU-8等)那樣的高深寬比抗蝕劑、硅和玻璃等。特別是構(gòu)成凹凸圖案Pa的凸部的材料能夠為對于在下述的閃爍器部20產(chǎn)生的閃爍光具有透過性的材料，在這種情況下，能夠在基板10的背面1b側(cè)將閃爍器面板I與具有光電轉(zhuǎn)換元件的傳感器面板貼合而構(gòu)成放射線檢測器。
[0034]凹凸圖案Pa由多個凸部11、以及由凸部11規(guī)定的凹部12形成。即，在基板10形成有多個凸部11和凹部12。各個凸部11沿從基板10的背面1b朝向表面1a的規(guī)定的方向(此處，放射線R的入射方向和與基板10的表面1a及背面1b正交的方向)從表面1a突出。各個凸部11被形成為長方體狀。凸部11在基板10的表面1a上呈二維矩陣狀地周期性地排列。因此，由凸部11規(guī)定的凹部12是在平面視時呈矩形的格子狀的槽。
[0035]這樣的凹凸圖案Pa的各尺寸，在令凸部11的間距(凸部11的形成周期)P為100 μ m左右的情況下能夠令凹部12的寬度(槽寬度)W為35 μ m左右，在令凸部11的間距P為127 μ m左右的情況下