誤差補(bǔ)償方法與應(yīng)用此方法的自動(dòng)測試設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明關(guān)于一種誤差補(bǔ)償方法與應(yīng)用此方法的自動(dòng)測試設(shè)備，特別關(guān)于一種利用 環(huán)形振蕩器特性而實(shí)現(xiàn)的誤差補(bǔ)償方法與應(yīng)用此方法的自動(dòng)測試設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002] 在集成電路生產(chǎn)流程中，自動(dòng)測試是非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。利用自動(dòng)測試可以找 出功能不正常的集成電路芯片，從而避免讓客戶拿到這樣不正常的集成電路芯片。一般而 言，自動(dòng)測試以自動(dòng)測試設(shè)備來完成。自動(dòng)測試設(shè)備可以用多種預(yù)設(shè)的測試條件以及測試 信號(hào)來同時(shí)對(duì)一個(gè)或多個(gè)待測物（deviceundertest，DUT)進(jìn)行測試。
[0003] 然而，當(dāng)自動(dòng)測試設(shè)備運(yùn)行時(shí)，自動(dòng)測試設(shè)備的電源電壓與環(huán)境溫度可能會(huì)因?yàn)?多個(gè)電路同時(shí)操作而不穩(wěn)定。舉例來說，電源電壓可能會(huì)較預(yù)設(shè)的電壓值為低，而環(huán)境溫度 可能會(huì)較預(yù)設(shè)的溫度值為高。這些環(huán)境因子的變異，都可能使自動(dòng)測試設(shè)備所送出的測試 信號(hào)或時(shí)鐘信號(hào)不正確，如何能正確的補(bǔ)償這些信號(hào)的誤差，是一個(gè)待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 有鑒于以上的問題，本發(fā)明提出一種誤差補(bǔ)償方法與應(yīng)用此方法的自動(dòng)測試設(shè) 備，利用環(huán)形振蕩器去模擬自動(dòng)測試設(shè)備中的控制電路的傳播延遲（propagationdelay) 因?yàn)闇囟然螂妷鹤儺愃a(chǎn)生的誤差，從而以環(huán)形振蕩器所輸出的時(shí)鐘信號(hào)的變異量產(chǎn)生一 個(gè)補(bǔ)正率。并利用所計(jì)算出來的補(bǔ)正率，調(diào)整送給延遲線路的控制信號(hào)送出的時(shí)間點(diǎn)，藉以 使延遲線路所輸出的信號(hào)的信號(hào)邊緣發(fā)生的時(shí)間點(diǎn)與預(yù)期的時(shí)間點(diǎn)相同。
[0005] 依據(jù)本發(fā)明一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例所實(shí)現(xiàn)的一種誤差補(bǔ)償方法，適于一自動(dòng)測試設(shè) 備，此方法包含以環(huán)形振蕩器依據(jù)至少一個(gè)環(huán)境因子，產(chǎn)生第一時(shí)鐘信號(hào)。并依據(jù)系統(tǒng)時(shí)鐘 信號(hào)與第一時(shí)鐘信號(hào)，得到周期測定值。再依據(jù)周期測定值與周期預(yù)期值，得到補(bǔ)正率。而 后依據(jù)補(bǔ)正率，補(bǔ)償測試信號(hào)的誤差。
[0006] 而依據(jù)本發(fā)明一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例所實(shí)現(xiàn)一種自動(dòng)測試設(shè)備，至少包含環(huán)形振蕩 器、周期測定單元與除法演算單元。環(huán)形振蕩器用以依據(jù)至少一個(gè)環(huán)境因子產(chǎn)生第一時(shí)鐘 信號(hào)。周期量測單元電性連接至環(huán)形振蕩器，用以依據(jù)系統(tǒng)時(shí)鐘信號(hào)與第一時(shí)鐘信號(hào)，得到 周期測定值。而除法演算單元電性連接至周期量測單元，用以依據(jù)周期測定值與一個(gè)周期 預(yù)期值，得到補(bǔ)正率。補(bǔ)正率用以補(bǔ)償測試信號(hào)的誤差。
[0007] 依據(jù)本發(fā)明一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例所公開的誤差補(bǔ)償方法與應(yīng)用此方法的自動(dòng)測試 設(shè)備，利用環(huán)形振蕩器所產(chǎn)生的第一時(shí)鐘信號(hào)會(huì)因?yàn)榄h(huán)境溫度與電源電壓而變的特性，去 模擬自動(dòng)測試設(shè)備中的控制電路的傳播延遲因?yàn)榄h(huán)境溫度與電源電壓而發(fā)生的變異。從而 補(bǔ)償送給延遲線路的控制信號(hào)的變異，而使延遲線路所輸出的測試信號(hào)的信號(hào)邊緣發(fā)生的 時(shí)間點(diǎn)符合所設(shè)定的時(shí)間點(diǎn)。
[0008] 以上之關(guān)于本
【發(fā)明內(nèi)容】
的說明及以下之實(shí)施方式的說明系用以示范與解釋本發(fā) 明之精神與原理，并且提供本發(fā)明的權(quán)利要求保護(hù)范圍更進(jìn)一步之解釋。
【附圖說明】
[0009] 圖1為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的自動(dòng)測試設(shè)備功能方塊圖。
[0010] 圖2為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例中圖1的變動(dòng)量演算線路功能方塊圖。
[0011] 圖3為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的環(huán)形振蕩器電路示意圖。
[0012] 圖4為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例中圖2的周期量測單元功能方塊圖。
[0013] 圖5為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例中周期量測單元中多個(gè)信號(hào)的時(shí)序圖。
[0014] 圖6A為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的誤差補(bǔ)償方法流程圖。
[0015] 圖6B為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例中，于圖6A之前的方法流程圖。
[0016] 其中，附圖標(biāo)記：
[0017] 1 自動(dòng)測試設(shè)備 11 變動(dòng)量演算線路
[0018] 111 環(huán)形振蕩器 INV1~INV2N+7反相器
[0019] 1113 多工器 113 周期量測單元
[0020] 1131 周期設(shè)定線路
[0021] 1133 計(jì)數(shù)器
[0022]115 除法演算單元
[0023] 13 校正回路
[0024] 15 時(shí)間計(jì)算模塊
[0025]17 控制模塊
[0026]19 延遲線路
[0027] 00、01、10、11 輸入接腳
【具體實(shí)施方式】
[0028] 以下在實(shí)施方式中詳細(xì)敘述本發(fā)明之詳細(xì)特征以及優(yōu)點(diǎn)，其內(nèi)容足以使任何本領(lǐng) 域的技術(shù)人員了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，且根據(jù)本說明書所公開的內(nèi)容、權(quán)利要 求保護(hù)范圍及附圖，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員可輕易地理解本發(fā)明相關(guān)目的及優(yōu)點(diǎn)。以下之 實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明的觀點(diǎn)，但非以任何觀點(diǎn)限制本發(fā)明的范疇。
[0029] 關(guān)于本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中的自動(dòng)測試設(shè)備，請(qǐng)參照?qǐng)D1，其為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例 的自動(dòng)測試設(shè)備功能方塊圖。如圖1所示，自動(dòng)測試設(shè)備1可以包含變動(dòng)量演算線路11、校 正回路13、時(shí)間計(jì)算模塊15、控制模塊17與延遲線路19。其中變動(dòng)量演算線路11與校正 回路13電性連接，控制模塊17分別電性連接至校正回路13與時(shí)間計(jì)算模塊15,而延遲線 路19電性連接至控制模塊17。
[0030] 變動(dòng)量演算線路11用以產(chǎn)生一個(gè)補(bǔ)正率，以補(bǔ)償自動(dòng)測試設(shè)備1之中其他模塊及 線路因?yàn)榄h(huán)境因子（例如環(huán)境溫度或是電源電壓）的變異而產(chǎn)生的誤差。關(guān)于變動(dòng)量演算 線路11的構(gòu)造及運(yùn)作原理，請(qǐng)參照?qǐng)D2,其為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例中圖1的變動(dòng)量演算線路 功能方塊圖。如圖2所示，變動(dòng)量演算線路11可以包含環(huán)形振蕩器111(ringoscillator)、 周期量測單元113與除法演算單元115。其中周期量測單元113電性連接于環(huán)形振蕩器111 與除法演算單元115之間。
[0031]環(huán)形振蕩器111用以依據(jù)至少一個(gè)環(huán)境因子產(chǎn)生第一時(shí)鐘信號(hào)。實(shí)作上，環(huán)形振 蕩器111可以由2k+l個(gè)反相器（inverter,NOT-gate)串連接成一個(gè)環(huán)狀而形成，依據(jù)巴 克豪生準(zhǔn)則（Barkhausen'scriterion)可以知道環(huán)形振蕩器111不是一個(gè)穩(wěn)定收斂的回 授電路（feedbackloopcircuit)因此會(huì)發(fā)生振蕩的現(xiàn)象。并且由于電路學(xué)基本原理可 以推定環(huán)形振蕩器111所產(chǎn)生的第一時(shí)鐘信號(hào)的周期大致等于2k+l個(gè)反相器的傳播延遲 (propagationdelay)的兩倍。因此，可以藉由特定的架構(gòu)，設(shè)計(jì)出可調(diào)整輸出的時(shí)鐘信號(hào) 的周期的環(huán)形振蕩器111。并且，可以在環(huán)境溫度等于預(yù)設(shè)溫度且電源電壓等于預(yù)設(shè)電壓 時(shí)，調(diào)整環(huán)形振蕩器111所輸出的第一時(shí)鐘信號(hào)的的周期至一個(gè)周期設(shè)定值。而后可以用 周期設(shè)定值跟系統(tǒng)時(shí)鐘信號(hào)來計(jì)算出周期預(yù)期值。
[0032] 于本發(fā)明一實(shí)施例中，關(guān)于前述的環(huán)形振蕩器111，可以參照?qǐng)D3,其系依據(jù)本發(fā) 明一實(shí)施例的環(huán)形振蕩器電路示意圖。如圖3所示，環(huán)形振蕩器111可以包含2N+7個(gè)反相 器INV1 至INV2N+7 與一個(gè)四對(duì)一多工器 1113 (four-to-onemultiplexer, 4-1MUX)。并且第 2N+1個(gè)反相器INV2N+1、第2N+3個(gè)反相器INV2N+3、第2N+5個(gè)反相器INV2N+5與第2N+7個(gè)反相 器INV2N+7的輸出端分別連接至多工器1113的四個(gè)輸入接腳，也就是輸入接腳00、輸入接腳 01、輸入接腳10與輸入接腳11。而多工器1113依據(jù)周期設(shè)定信號(hào)來將其中一個(gè)