[0116]第二元件，其設(shè)置于上述第一基板與上述固定部件之間，并根據(jù)與通過(guò)上述固定部件施加于上述第一元件的壓力的方向相同的方向的外力成分來(lái)輸出信號(hào)，
[0117]在從上述第一基板的厚度方向觀察時(shí)，針對(duì)上述第一元件配置有至少一對(duì)上述固定部件。
[0118]由此，能夠得到與上述本發(fā)明的力檢測(cè)裝置相同的效果。而且，能夠反饋力檢測(cè)裝置檢測(cè)出的外力，從而能夠更精密地執(zhí)行作業(yè)。另外，通過(guò)力檢測(cè)裝置檢測(cè)出的外力，能夠檢測(cè)把持部朝障礙物的接觸等。因此，能夠容易地進(jìn)行以往的位置控制中較困難的障礙物回避動(dòng)作、對(duì)象物損傷回避動(dòng)作等，能夠更安全地執(zhí)行電子部件檢查作業(yè)。
[0119](應(yīng)用例15)
[0120]本發(fā)明的電子部件檢查裝置的特征在于，具備:
[0121]把持部，其把持電子部件；
[0122]檢查部，其檢查上述電子部件；以及
[0123]力檢測(cè)裝置，其檢測(cè)施加于上述把持部的外力，
[0124]上述力檢測(cè)裝置具備:
[0125]第一基板；
[0126]第二基板；
[0127]第一元件，其根據(jù)外力輸出信號(hào)；
[0128]固定部件，其對(duì)設(shè)置于上述第一基板與上述第二基板之間的上述第一元件進(jìn)行夾持，并對(duì)上述第一元件施加壓力；以及
[0129]第二元件，其設(shè)置于上述第一基板與上述固定部件之間，并根據(jù)與通過(guò)上述固定部件施加于上述第一元件的壓力的方向相同的方向的外力成分來(lái)輸出信號(hào)，
[0130]在上述第一基板的厚度方向上，上述第一元件的中心與上述第二元件的中心不同。
[0131]由此，能夠得到與上述本發(fā)明的力檢測(cè)裝置相同的效果。而且，能夠反饋力檢測(cè)裝置檢測(cè)出的外力，從而能夠更精密地執(zhí)行作業(yè)。另外，通過(guò)力檢測(cè)裝置檢測(cè)出的外力，能夠檢測(cè)把持部朝障礙物的接觸等。因此，能夠容易地進(jìn)行以往的位置控制中較困難的障礙物回避動(dòng)作、對(duì)象物損傷回避動(dòng)作等，能夠更安全地執(zhí)行電子部件檢查作業(yè)。
[0132](應(yīng)用例16)
[0133]本發(fā)明的部件加工裝置的特征在于，具備:
[0134]工具位移部，其安裝工具并使上述工具位移；和
[0135]力檢測(cè)裝置，其檢測(cè)施加于上述工具的外力，
[0136]上述力檢測(cè)裝置具備:
[0137]第一基板；
[0138]第二基板；
[0139]第一元件，其根據(jù)外力輸出信號(hào)；
[0140]固定部件，其對(duì)設(shè)置于上述第一基板與上述第二基板之間的上述第一元件進(jìn)行夾持，并對(duì)上述第一元件施加壓力；以及
[0141]第二元件，其設(shè)置于上述第一基板與上述固定部件之間，并根據(jù)與通過(guò)上述固定部件施加于上述第一元件的壓力的方向相同的方向的外力成分來(lái)輸出信號(hào)，
[0142]在從上述第一基板的厚度方向觀察時(shí)，針對(duì)上述第一元件配置有至少一對(duì)上述固定部件。
[0143]由此，能夠得到與上述本發(fā)明的力檢測(cè)裝置相同的效果。而且，通過(guò)反饋力檢測(cè)裝置檢測(cè)出的外力，從而部件加工裝置能夠更精密地執(zhí)行部件加工作業(yè)。另外，通過(guò)力檢測(cè)裝置檢測(cè)出的外力，能夠檢測(cè)工具朝障礙物的接觸等。因此，能夠在工具與障礙物等接觸的情況下緊急停止，從而部件加工裝置能夠執(zhí)行更安全的部件加工作業(yè)。
[0144](應(yīng)用例17)
[0145]本發(fā)明的部件加工裝置的特征在于，具備:
[0146]工具位移部，其安裝工具并使上述工具位移；和
[0147]力檢測(cè)裝置，其檢測(cè)施加于上述工具的外力，
[0148]上述力檢測(cè)裝置具備:
[0149]第一基板；
[0150]第二基板；
[0151]第一元件，其根據(jù)外力輸出信號(hào)；
[0152]固定部件，其對(duì)設(shè)置于上述第一基板與上述第二基板之間的上述第一元件進(jìn)行夾持，并對(duì)上述第一元件施加壓力；以及
[0153]第二元件，其設(shè)置于上述第一基板與上述固定部件之間，并根據(jù)與通過(guò)上述固定部件施加于上述第一元件的壓力的方向相同的方向的外力成分來(lái)輸出信號(hào)，
[0154]在上述第一基板的厚度方向上，上述第一元件的中心與上述第二元件的中心不同。
[0155]由此，能夠得到與上述本發(fā)明的力檢測(cè)裝置相同的效果。而且，通過(guò)反饋力檢測(cè)裝置檢測(cè)出的外力，從而部件加工裝置能夠更精密地執(zhí)行部件加工作業(yè)。另外，通過(guò)力檢測(cè)裝置檢測(cè)出的外力，能夠檢測(cè)工具朝障礙物的接觸等。因此，能夠在工具與障礙物等接觸的情況下緊急停止，部件加工裝置能夠執(zhí)行更安全的部件加工作業(yè)。
【附圖說(shuō)明】
[0156]圖1是表示本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的第一實(shí)施方式的剖視圖。
[0157]圖2是圖1所示的力檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0158]圖3是示意地表示圖1所示的力檢測(cè)裝置的電路圖。
[0159]圖4是示意地表示圖1所示的力檢測(cè)裝置的第一元件的剖視圖。
[0160]圖5是示意地表示圖1所示的力檢測(cè)裝置的第二元件的剖視圖。
[0161]圖6是表示本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的第二實(shí)施方式的分解立體圖。
[0162]圖7是示意地表示圖6所示的力檢測(cè)裝置的電路圖。
[0163]圖8是表示本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的第三實(shí)施方式的俯視圖。
[0164]圖9是表示本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的第四實(shí)施方式的俯視圖。
[0165]圖10是表示使用了本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的單臂機(jī)器臂的一個(gè)例子的圖。
[0166]圖11是表示使用了本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的多臂機(jī)器臂的一個(gè)例子的圖。
[0167]圖12是表示使用了本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的電子部件檢查裝置以及電子部件輸送裝置的一個(gè)例子的圖。
[0168]圖13是表示使用了本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的電子部件輸送裝置的一個(gè)例子的圖。
[0169]圖14是表示使用了本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的部件加工裝置的一個(gè)例子的圖。
[0170]圖15是表示使用了本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的移動(dòng)體的一個(gè)例子的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0171]以下，基于附圖所示的優(yōu)選的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的力檢測(cè)裝置、機(jī)器臂、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置以及部件加工裝置詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
[0172]第一實(shí)施方式
[0173]圖1是表示本發(fā)明的力檢測(cè)裝置的第一實(shí)施方式的剖視圖。圖2是圖1所示的力檢測(cè)裝置的俯視圖。圖3是示意地表示圖1所示的力檢測(cè)裝置的電路圖。圖4是示意地表示圖1所示的力檢測(cè)裝置的第一元件的剖視圖。圖5是示意地表示圖1所示的力檢測(cè)裝置的第二元件的剖視圖。
[0174]此外，以下，為了方便說(shuō)明，將圖1中的上側(cè)稱為“上”或者“上方”，將下側(cè)稱為“下”或者“下方”。
[0175]圖1以及圖2所示的力檢測(cè)裝置I具有檢測(cè)外力(包含力矩)的功能，即、對(duì)沿著相互正交的三個(gè)軸U (X)軸、β (Y)軸、γ (Z)軸)施加的外力進(jìn)行檢測(cè)的功能。
[0176]力檢測(cè)裝置I具備:第一基板2 ;第二基板3，其以從第一基板2隔開(kāi)規(guī)定的間隔的方式配置并與第一基板2對(duì)置；兩個(gè)加壓螺栓(螺釘)71，它們是固定第一基板2與第二基板3的固定部件；電荷輸出元件(第一元件)10，其設(shè)置于第一基板2與第二基板3之間并根據(jù)被施加的外力輸出信號(hào)；以及一對(duì)電荷輸出元件(第二元件)10a、10b，它們?cè)O(shè)置于第一基板2與各加壓螺栓71之間并根據(jù)被施加的外力輸出信號(hào)。
[0177]第一基板2、第二基板3的形狀分別沒(méi)有特別的限定，但在本實(shí)施方式中，在俯視第一基板2、第二基板3時(shí)(在從厚度方向觀察時(shí))，即、從相對(duì)于第一基板2、第二基板3垂直的方向觀察，其外形形狀呈長(zhǎng)方形(四邊形)。作為第一基板2、第二基板3的俯視時(shí)的與上述不同的外形形狀，例如，可舉出五邊形等其他多邊形、圓形、橢圓形等。另外，作為第一基板2、第二基板3的各構(gòu)成材料沒(méi)有特別的限定，例如，能夠使用各種樹(shù)脂材料、各種金屬材料等。此外，可以將第一基板2、第二基板3的任一個(gè)作為被施加力的一側(cè)的基板，但在本實(shí)施方式中，將第一基板2作為被施加力的一側(cè)的基板進(jìn)行說(shuō)明。
[0178]另外，電荷輸出元件10在第一基板2、第二基板3的位置沒(méi)有特別的限定，但在本實(shí)施方式中，在第一基板2的俯視中，電荷輸出元件10配置于第一基板2、第二基板3的中央部。
[0179]另外，在第一基板2的俯視中的中央部，設(shè)置有將該第一基板2安裝于第一對(duì)象物的緊固部(第一安裝部)23。同樣，在第二基板3的俯視中的中央部，設(shè)置有將該第二基板3安裝于第二對(duì)象物的緊固部(第二安裝部)33。作為第一對(duì)象物、第二對(duì)象物的具體例，例如在機(jī)器臂的臂與末端執(zhí)行器之間設(shè)置力檢測(cè)裝置I的情況下，上述臂與末端執(zhí)行器的一方是上述第一對(duì)象物，另一方是上述第二對(duì)象物。外力從第一對(duì)象物、第二對(duì)象物并以緊固部23、33為中心施加于第一基板2、第二基板3。此外，作為各緊固部23、33沒(méi)有特別的限定，例如，可舉出內(nèi)螺紋等，在該情況下，使外螺紋與上述內(nèi)螺紋旋合，將第一基板2、第二基板3分別安裝于第一對(duì)象物、第二對(duì)象物。這樣，在將力檢測(cè)裝置I安裝于第一對(duì)象物、第二對(duì)象物時(shí)，能夠容易并且迅速地進(jìn)行該安裝作業(yè)，而不必對(duì)于第一基板2、第二基板3實(shí)施特別的加工。
[0180]另外，雖通過(guò)兩個(gè)加壓螺栓71將第一基板2與第二基板3固定，但以允許兩個(gè)的固定對(duì)象物的相互的規(guī)定量的移動(dòng)的方式進(jìn)行基于該加壓螺栓71的“固定”。具體而言，通過(guò)兩個(gè)加壓螺栓71以允許相互的規(guī)定量的第一基板2的面方向的移動(dòng)的方式固定第一基板2與第二基板3。此外，這在其他實(shí)施方式中也相同。
[0181]另外，各加壓螺栓71分別在基端部具有頭部715，在前端部的外周部具有外螺紋716。而且，在第一基板2形成有供兩個(gè)加壓螺栓71插入的兩個(gè)孔25，在第二基板3形成有與兩個(gè)加壓螺栓71的外螺紋716旋合的兩處內(nèi)螺紋35。
[0182]各加壓螺栓71以分別使其頭部715成為第一基板2側(cè)的方式配置，從形成于第一基板2的孔25插入，使該外螺紋716與形成于第二基板3內(nèi)螺紋35旋合。另外，各加壓螺栓71的頭部715位于相比第一基板2的表面更靠第二基板3側(cè)，即、沉入孔25內(nèi)。而且，通過(guò)各加壓螺栓71經(jīng)由第一基板2與第二基板3對(duì)電荷輸出元件10給予規(guī)定大小的Z軸方向(參照?qǐng)D4)的壓力，S卩、加壓。由此，能夠檢測(cè)Z軸方向的正反兩個(gè)方向的力。此外，上述加壓的大小沒(méi)有特別的限定，能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。
[0183]另外，各加壓螺栓71的位置沒(méi)有特別的限定，但在本實(shí)施方式中，各加壓螺栓71在第一基板2的俯視中(從厚度方向觀察)，使電荷輸出元件10處于其間并以對(duì)置的方式配置。由此，能夠平衡性良好地固定第一基板2與第二基板3，另外，能夠?qū)﹄姾奢敵鲈?0平衡性良好地給予加壓。此外，加壓螺栓71的數(shù)量不限定為兩個(gè)，例如，也可以是三個(gè)以上。
[0184]作為各加壓螺栓71的構(gòu)成材料沒(méi)有特別的限定，例如，能夠使用各種樹(shù)脂材料、各種金屬材料等。
[0185]如以上那樣，電荷輸出元件10在第一基板2與第二基板3的中央部被夾持。該電荷輸出元件10的形狀沒(méi)有特別的限定，在本實(shí)施方式中，在俯視第一基板2時(shí)，電荷輸出元件10的外形形狀呈正方形(四邊形)。作為在俯視電荷輸出元件10時(shí)的與上述不同的外形形狀，例如，可舉出五邊形等其他的多邊形、圓形、橢圓形等。
[0186]另外，電荷輸出元件10a、10b的形狀沒(méi)有特別的限定，但在本實(shí)施方式中，在俯視第一基板2時(shí)，電荷輸出元件10a、10b的外形形狀是與加壓螺栓71的頭部715對(duì)應(yīng)的形狀，即、呈圓形。具體而言，電荷輸出元件10a、1b在俯視第一基板2時(shí)，呈圓環(huán)狀。作為在俯視電荷輸出元件10a、10b時(shí)的與上述不同的外形形狀，例如可舉出四邊形、五邊形等多邊形、橢圓形等。
[0187]而且，各電荷輸出元件10a、10b配置于第一基板2與各加壓螺栓71的頭部715之間，并被第一基板2與加壓螺栓71夾持。由此，與電荷輸出元件10相同的大小的Z軸方向的加壓通過(guò)各加壓螺栓71分配并施加于各電荷輸出元件10a、10b。即，通過(guò)加壓螺栓71施加于電荷輸出元件10的加壓的方向與施加于電荷輸出元件10a、10b的加壓的方向相同，并且其大小也相同。
[0188]另外，對(duì)于外力而言，在對(duì)第一基板2施加與第一基板2正交的方向的外力即Z軸方向的外力時(shí)(在對(duì)第一基板2通過(guò)加壓螺栓71施加了與電荷輸出元件10的壓力的方向相同的方向的外力時(shí))，電荷輸出元件10與電荷輸出元件10a、1b將該外力作為相互相反方向的力而檢測(cè)。
[0189]由此，通過(guò)取得電荷輸出元件10的輸出與電荷輸出元件10a、10b的輸出之差，而將Z軸方向的外力作為未設(shè)置電荷輸出元件10a、10b的情況下的大約兩倍的值而檢測(cè)。另一方面，通過(guò)取得電荷輸出元件10的輸出與電荷輸出元件10a、10b的輸出之差，能夠?qū)Ω骷訅郝菟?1、第一基板2、第二基板3等熱膨脹時(shí)等的加壓螺栓71所給予的加壓的變動(dòng)大小進(jìn)行補(bǔ)償。
[0190]此處，在第一基板2的厚度方向上，電荷輸出元件10的中心與電荷輸出元件10a、1b的中心不同。S卩，電荷輸出元件10a、10b的與第一基板2正交的方向的中心軸、與電荷輸出元件10的與第一基板2正交的方向的中心軸不同。具體而言，電荷輸出元件10a、10b在俯視第一基板2時(shí)被配置成使電荷輸出元件10處于其間并以對(duì)置的方式配置。
[0191]另外，在俯視第一基板2時(shí)，緊固部23、緊固部33、以及電荷輸出元件10重疊。即，在從第一基板2的厚度方向的投影圖像中，緊固部23的影子、緊固部33的影子、以及電荷輸出元件10的影子重疊。具體而言，緊固部23的與第一基板2正交的方向的中心軸、緊固部33的與第一基板2正交的方向的中心軸、以及電荷輸出元件10的與第一基板2正交的方向的中心軸一致。
[0192]由此，即使使第一基板2、第二基板3的厚度較薄，也能夠抑制該第一基板2、第二基板3因外力而撓曲的情況，因此，能夠使裝置的厚度較薄，從而能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、輕型化。
[0193]此外，如本實(shí)施方式那樣，使電荷輸出元件10a、1b配置于電荷輸出元件10的附近，由此能夠使各加壓螺栓71施加于電荷輸出元件10的加壓的因上述熱膨脹等而產(chǎn)生的變動(dòng)、與各加壓螺栓71施加于電荷輸出元件10a、10b的加壓的因上述熱膨脹等而產(chǎn)生的變動(dòng)近似。
[0194]另外，如圖3所示，力檢測(cè)裝置I具備將從電荷輸出元件10輸出的電荷Qxl轉(zhuǎn)換