探針針痕位置的檢測(cè)系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種探針針痕位置的檢測(cè)系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]探針卡用于對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試。探針卡的測(cè)試方式是將探針扎在接觸片(pad)上來對(duì)晶圓進(jìn)行檢測(cè)。目前晶圓在測(cè)試前，機(jī)臺(tái)不會(huì)自動(dòng)檢查探針卡的針痕(prober mark,pad里的扎針針痕)狀態(tài)，需要操作者手動(dòng)扎針并判斷針痕是否在pad中，因此，機(jī)臺(tái)無法自動(dòng)發(fā)現(xiàn)探針卡的狀態(tài)是否良好。而絕大多數(shù)情況下，針痕都是在pad內(nèi)，但是，為了確保探針是扎在pad上的，操作者還是需要手動(dòng)檢查一遍，因此，無論針痕在何種狀態(tài)，都需要手動(dòng)檢查，不僅浪費(fèi)了工藝時(shí)間，還使得測(cè)試更加繁瑣。
[0003]為此，需要建立一種方法，能夠自動(dòng)判斷針痕是否在pad內(nèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種探針針痕位置的檢測(cè)系統(tǒng)和方法，通過標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像，建立標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像的最大范圍坐標(biāo)，進(jìn)而將獲得的實(shí)際針痕位置數(shù)據(jù)與最大范圍坐標(biāo)進(jìn)行比較，以判斷實(shí)際針痕位置是否在接觸片上。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種探針針痕位置的檢測(cè)方法，通過將探針扎到晶圓的接觸片上以對(duì)晶圓進(jìn)行檢測(cè)，其包括以下步驟:
[0006]步驟01:獲取探針扎到所述接觸片上時(shí)所對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像；
[0007]步驟02:經(jīng)過對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像進(jìn)行分析，獲得所述標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍；
[0008]步驟03:根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍，設(shè)定坐標(biāo)原點(diǎn)，并確定所述標(biāo)準(zhǔn)針痕在所述接觸片上的最大范圍坐標(biāo)；
[0009]步驟04:進(jìn)行晶圓測(cè)試前的扎針過程，并采集實(shí)際針痕圖像；
[0010]步驟05:根據(jù)實(shí)際針痕圖像得到所述扎針過程中的實(shí)際針痕位置數(shù)據(jù)，以判斷所述實(shí)際針痕的位置是否位于所述最大范圍坐標(biāo)所形成的范圍之內(nèi)；
[0011]步驟06:當(dāng)判斷結(jié)果為是時(shí)，則開始對(duì)所述晶圓進(jìn)行測(cè)試。
[0012]優(yōu)選地，所述步驟01中，所述標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像包括采用各個(gè)測(cè)試機(jī)臺(tái)扎針時(shí)所對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像。
[0013]優(yōu)選地，所述步驟02中，對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像進(jìn)行分析包括:對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像的顏色進(jìn)行處理，所述標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像中的針痕顏色記為0，所述標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像中的接觸片的顏色記為I。
[0014]優(yōu)選地，所述步驟03中，所述接觸片為多邊形，所述最大范圍為所述接觸片的輪廓范圍；所述最大范圍坐標(biāo)為所述多邊形的各個(gè)角頂點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)。
[0015]優(yōu)選地，所述多邊形的左下角頂點(diǎn)為坐標(biāo)原點(diǎn)。
[0016]優(yōu)選地，所述步驟02中，定義所述標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍的形狀與所述接觸片的形狀相同。
[0017]優(yōu)選地，所述步驟05中，所述實(shí)際針痕位置數(shù)據(jù)為所述實(shí)際針痕圖像中實(shí)際針痕范圍坐標(biāo)。
[0018]優(yōu)選地，所述步驟05中，當(dāng)所述實(shí)際針痕范圍坐標(biāo)在所述最大范圍坐標(biāo)所形成的范圍之內(nèi)時(shí)，所述實(shí)際針痕的位置在所述最大范圍坐標(biāo)所形成的范圍之內(nèi)。
[0019]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種探針針痕位置的檢測(cè)系統(tǒng)，其包括:
[0020]測(cè)試模塊，用于對(duì)所述晶圓進(jìn)行測(cè)試；
[0021]圖像獲取模塊，獲取探針扎到所述接觸片上時(shí)所對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像；或者采集實(shí)際針痕圖像；
[0022]坐標(biāo)設(shè)定模塊，對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像進(jìn)行分析，獲得所述標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍；并根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍，設(shè)定坐標(biāo)原點(diǎn)，并確定所述標(biāo)準(zhǔn)針痕在所述接觸片上的最大范圍坐標(biāo)；
[0023]判斷模塊，根據(jù)實(shí)際針痕圖像得到所述扎針過程中的實(shí)際針痕位置數(shù)據(jù)，來判斷所述實(shí)際針痕的位置是否位于所述最大范圍坐標(biāo)所形成的范圍之內(nèi)；當(dāng)判斷結(jié)果為是時(shí)，則發(fā)出開始對(duì)所述晶圓進(jìn)行測(cè)試的信號(hào)給測(cè)試模塊。
[0024]優(yōu)選地，還包括警報(bào)模塊，當(dāng)判斷結(jié)果為否時(shí)，判斷模塊向警報(bào)模塊發(fā)出觸發(fā)信號(hào)，然后警報(bào)模塊發(fā)出警報(bào)信號(hào)。
[0025]本發(fā)明的探針針痕位置的檢測(cè)系統(tǒng)和方法，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像，獲得標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍，并以此建立最大范圍坐標(biāo)，從而使得檢測(cè)到的針痕位置數(shù)據(jù)有了參造基準(zhǔn)；根據(jù)檢測(cè)到的實(shí)際針痕圖像，得到實(shí)際針痕位置數(shù)據(jù)，判斷實(shí)際針痕位置數(shù)據(jù)是否在最大范圍坐標(biāo)所形成的范圍之內(nèi)，以判斷出實(shí)際針痕是否扎在接觸片上。通過本發(fā)明，無需手動(dòng)來檢測(cè)探針針痕是否扎在接觸片上，解決了檢測(cè)時(shí)間，提高了檢測(cè)效率，簡(jiǎn)化了工藝過程。
【附圖說明】
[0026]圖1為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的探針針痕位置的檢測(cè)方法的流程示意圖
[0027]圖2為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像示意圖
[0028]圖3為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的探針針痕位置的檢測(cè)系統(tǒng)的方塊圖
【具體實(shí)施方式】
[0029]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0030]以下結(jié)合附圖1-2和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的探針針痕位置的檢測(cè)方法作進(jìn)一步詳細(xì)說明。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說明本實(shí)施例的目的。
[0031]探針是否扎在晶圓的接觸片上，將影響到對(duì)晶圓的檢測(cè)準(zhǔn)確度；在晶圓檢測(cè)之前需要判斷探針是否扎在接觸片上，在晶圓檢測(cè)時(shí)有時(shí)也需要判斷探針的位置，亦或存在晶圓檢測(cè)之后對(duì)探針位置的判斷。因此，對(duì)探針是否扎在接觸片上的檢測(cè)十分重要。
[0032]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)施例的探針針痕位置的檢測(cè)方法，通過將探針扎到晶圓的接觸片上以對(duì)晶圓進(jìn)行檢測(cè)，其包括以下步驟:
[0033]步驟01:獲取探針扎到接觸片上時(shí)所對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像；
[0034]具體的，可以通過對(duì)各個(gè)測(cè)試機(jī)臺(tái)扎針時(shí)所對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像進(jìn)行對(duì)標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像的獲??；標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像可以為一系列的圖像集合。
[0035]步驟02:經(jīng)過對(duì)標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像進(jìn)行分析，獲得標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍；
[0036]具體的，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像進(jìn)行分析包括:標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像的顏色進(jìn)行處理，標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像中的針痕顏色記為0，標(biāo)準(zhǔn)針痕圖像中的接觸片的顏色記為I。通過顏色對(duì)比不同，來近似得到標(biāo)準(zhǔn)針痕的輪廓范圍。為了便于判斷，定義標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍的形狀與接觸片的形狀相同，如果接觸片的形狀矩形，則定義標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍的形狀也為矩形。
[0037]步驟03:根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍，設(shè)定坐標(biāo)原點(diǎn)，并確定標(biāo)準(zhǔn)針痕在接觸片上的最大范圍坐標(biāo)；
[0038]具體的，本發(fā)明中接觸片可以為多邊形，最大范圍為接觸片的輪廓范圍，最大范圍坐標(biāo)為多邊形的各個(gè)角頂點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)，可以設(shè)定多邊形的左下角頂點(diǎn)為坐標(biāo)原點(diǎn)；本實(shí)施例中，接觸片為矩形，則最大范圍為接觸片的矩形邊緣；最大范圍坐標(biāo)為矩形的四個(gè)角頂點(diǎn)對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)；例如，如圖2所示，矩形接觸片I的長和寬分別為X和Y，設(shè)定矩形I的左下角頂點(diǎn)A為坐標(biāo)原點(diǎn)，則矩形I的四個(gè)角頂點(diǎn)的坐標(biāo)分別為A (O，O)，B (X，O)，C (X，Y)，D (O，
Y) O
[0039]在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，最大范圍也可以獲得的一些標(biāo)準(zhǔn)針痕范圍中最大的一個(gè)；例如，接觸片為矩形，標(biāo)準(zhǔn)針痕可以近似定義為一個(gè)矩形，將矩形