2]本發(fā)明的真空轉(zhuǎn)移裝置，通過傳樣桿2前端的叉形樣品杯卡4和樣品杯5的內(nèi)凹型臺(tái)階結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，使得真空樣品在轉(zhuǎn)移過程中穩(wěn)定可靠，不會(huì)出現(xiàn)樣品掉落的問題；而且，本發(fā)明真空轉(zhuǎn)移裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、通用性強(qiáng)，可適用不同真空系統(tǒng)的樣品室和樣
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[0043]進(jìn)一步地，如圖4和圖5所示，本【具體實(shí)施方式】的所述樣品杯卡4，其至少一個(gè)所述叉由彈性材料制成，所述兩個(gè)叉41和42形成的叉口 43的間距略小于樣品杯5的內(nèi)凹型臺(tái)階結(jié)構(gòu)51的寬度，從而使得叉形樣品杯卡4卡取樣品杯5時(shí)形成彈性卡接，進(jìn)一步提高了樣品轉(zhuǎn)移過程中的穩(wěn)定性和可靠性。
[0044]本【具體實(shí)施方式】的真空轉(zhuǎn)移裝置還包括固設(shè)于掃描電鏡和取樣系統(tǒng)的樣品臺(tái)9上的樣品座10，樣品座10和樣品臺(tái)9采用硬連接，如圖6所示，所述樣品座10成型有第一配合部，所述樣品杯5上成型有適于與第一配合部裝配的第二配合部，所述樣品座10上還設(shè)有用于將所述第一配合部和第二配合部鎖緊的可受操縱的鎖緊部，所述樣品杯卡4的其中一個(gè)所述叉為驅(qū)動(dòng)所述鎖緊部的操縱件。
[0045]具體地，本【具體實(shí)施方式】中，所述第一配合部為所述樣品座10的上表面成型的沿豎直方向延伸的安裝孔101，所述第二配合部為所述樣品杯5底面成型的沿豎直方向延伸的并適于與所述安裝孔101形成插接配合的安裝柱52，所述鎖緊部包括所述樣品座10側(cè)壁上成型的沿水平方向延伸并與所述安裝孔相通的螺紋孔102和與所述螺紋孔102形成螺紋配合的螺紋緊固件103，旋入所述螺紋孔102 —定深度的螺紋緊固件103的底端通過向所述安裝柱52施加鎖緊力以將所述安裝柱52和所述安裝孔101鎖緊，所述螺紋緊固件103的前端面上成型第一卡接部103a ;所述樣品杯卡4成型為偏心叉形，其中一個(gè)所述叉41位于所述傳樣桿2的軸線上，所述叉41的自由端成型有適于與所述第一卡接部103a形成卡接配合的第二卡接部41a，所述叉41的第二卡接部41a可在所述磁力桿I的驅(qū)動(dòng)下卡接所述第一卡接部103a并擰緊所述螺紋緊固件103。
[0046]進(jìn)一步具體地，所述螺紋緊固件103為鎖緊螺釘，所述第一卡接部103a為一字凹槽，所述叉的第二卡接部41a為一字型螺絲刀。當(dāng)然，所述第一卡接部103a還可以為十字凹槽，所述叉的第二卡接部41a為十字型螺絲刀。
[0047]如圖7a_7d示出了本發(fā)明的樣品杯安裝到樣品座上的過程:
[0048]如圖7a所示，操縱磁力桿，將樣品杯5的安裝柱52與樣品座10的安裝孔101對(duì)齊；接著，調(diào)節(jié)掃描電鏡樣品臺(tái)和磁力桿，將樣品杯5安全插入樣品座10的安裝孔101內(nèi)，如圖7b所示；然后，操縱磁力桿，將樣品杯卡4與樣品杯5分離，如圖7c所示；最后，利用樣品杯卡4的第二卡接部41a將螺紋緊固件103擰緊，將樣品杯5固定。
[0049]從其他真空系統(tǒng)中將真空樣品轉(zhuǎn)移到掃描電鏡中的步驟與上述步驟相反即可。
[0050]本發(fā)明的螺紋緊固件和所述操縱件并不限于上述【具體實(shí)施方式】，作為上述【具體實(shí)施方式】的一種可替換的實(shí)施方式，所述鎖緊部包括樣品座側(cè)壁上成型的沿水平方向延伸并與安裝孔相通的第一銷孔，樣品杯底面上成型的安裝柱上成型有第二銷孔，安裝柱插入到安裝孔的極限位置后第二銷孔與第一銷孔相對(duì)應(yīng)，鎖緊部還包括部分預(yù)插入到第一銷孔中的插銷。當(dāng)樣品杯安裝插入樣品座的安裝孔中后，操縱磁力桿將樣品杯卡4與樣品杯5分離，然后利用樣品杯卡的其中一個(gè)叉頂住所述插銷，將插銷推入到所述第一銷孔和第二銷孔之間，完成樣品杯和樣品座的固定。
[0051]此外，為了避免真空轉(zhuǎn)移裝置在轉(zhuǎn)移真空樣品過程中受到真空系統(tǒng)振動(dòng)的影響，所述真空管路上還設(shè)有柔性密封管，所述柔性密封管一側(cè)真空密封連接于真空閥門6，另一側(cè)適于真空密封連接于所述取樣或受樣設(shè)備。柔性密封管起到將進(jìn)樣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)隔振的作用。
[0052]進(jìn)一步地，所述柔性密封管為波紋管。但不限于波紋管。
[0053]為了提高傳樣效率，所述磁力桿I還配備有端口調(diào)節(jié)器，可實(shí)現(xiàn)所述磁力桿I軸向、徑向及圓周方向的微調(diào)。
[0054]顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。如偏壓部件3還可以為V形彈片等。這里無需也無法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括: 真空腔(3); 真空管路，用于連接真空腔(3)與取樣或受樣設(shè)備，設(shè)有真空閥門(6); 磁力桿(1)，具有位于真空腔(3)外的真空外磁力環(huán)和位于真空腔(3)內(nèi)的真空內(nèi)磁力環(huán)； 傳樣桿(2)，設(shè)置在真空腔(3)內(nèi)，與真空內(nèi)磁力環(huán)連接，前端設(shè)有具有兩個(gè)叉(41 ;42)的叉形樣品杯卡(4); 樣品杯(5)，用于承載真空樣品，具有內(nèi)凹型臺(tái)階結(jié)構(gòu)(51)，通過內(nèi)凹型臺(tái)階結(jié)構(gòu)(51)與所述兩個(gè)叉(41 ;42)卡接配合而裝配在傳樣桿(2)上； 外力驅(qū)動(dòng)真空外磁力環(huán)時(shí)，真空外磁力環(huán)通過磁力作用驅(qū)動(dòng)真空內(nèi)磁力環(huán)帶動(dòng)位于傳樣桿(2)上的樣品杯(5)沿軸向、徑向和圓周方向運(yùn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，其中一個(gè)叉(42)由彈性材料制成，所述兩個(gè)叉(41 ;42)形成的叉口(43)的間距小于所述樣品杯(5)的內(nèi)凹型臺(tái)階結(jié)構(gòu)(51)的寬度，以使所述樣品杯卡(4)卡取所述樣品杯(5)時(shí)形成彈性卡接。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于:還包括用于設(shè)置在取樣或受樣設(shè)備上的樣品座(10)，所述樣品座(10)成型有第一配合部，所述樣品杯(5)上成型有用于與第一配合部裝配的第二配合部，所述樣品座(10)上還設(shè)有用于將所述第一配合部和第二配合部鎖緊的鎖緊部，所述樣品杯卡(4)的其中一個(gè)叉為驅(qū)動(dòng)所述鎖緊部的操縱件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一配合部為所述樣品座(10)的上表面成型的沿豎直方向延伸的安裝孔(101)，所述第二配合部為所述樣品杯(5)底面成型的沿豎直方向延伸的并用于所述安裝孔(101)形成插接配合的安裝柱(52)，所述鎖緊部包括所述樣品座(10)側(cè)壁上成型的沿水平方向延伸并與所述安裝孔相通的螺紋孔(102)和與所述螺紋孔(102)形成螺紋配合的螺紋緊固件(103)，旋入所述螺紋孔(102) —定深度的螺紋緊固件(103)的底端通過向所述安裝柱(52)施加鎖緊力以將所述安裝柱(52)和所述安裝孔(101)鎖緊，所述螺紋緊固件(103)的前端面上成型第一卡接部(103a)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述樣品杯卡(4)的其中一個(gè)叉(42)偏離所述傳樣桿(2)的中軸線設(shè)置，另一個(gè)叉(41)位于所述傳樣桿(2)的中軸線上，該叉(41)的自由端成型有用于與所述第一卡接部(103a)形成卡接配合的第二卡接部(41a)，該叉(41)的第二卡接部(41a)能夠在所述磁力桿(I)的驅(qū)動(dòng)下卡接所述第一卡接部(103a)并通過旋轉(zhuǎn)擰緊所述螺紋緊固件(103)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述螺紋緊固件(103)為鎖緊螺釘，所述第一卡接部(103a)為一字或十字凹槽，叉(41)的第二卡接部(41a)為一字或十字型螺絲刀。7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述真空管路上還設(shè)有柔性密封管，所述柔性密封管一側(cè)真空密封連接于所述真空閥門(6)，另一側(cè)用于真空密封連接于所述取樣或受樣設(shè)備。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述柔性密封管為波紋管(7)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括端口調(diào)節(jié)器，配置在所述磁力桿(I)上，用于實(shí)現(xiàn)所述磁力桿(I)軸向、徑向及圓周方向的微調(diào)。
【專利摘要】一種真空樣品轉(zhuǎn)移裝置，包括：真空腔；真空管路，用于連接真空腔與取樣或受樣設(shè)備，設(shè)有真空閥門；磁力桿，具有位于真空腔外的真空外磁力環(huán)和位于真空腔內(nèi)的真空內(nèi)磁力環(huán)；傳樣桿，設(shè)置在真空腔內(nèi)，與真空內(nèi)磁力環(huán)連接，前端設(shè)有具有兩個(gè)叉的叉形樣品杯卡；樣品杯，用于承載真空樣品，具有內(nèi)凹型臺(tái)階結(jié)構(gòu)，通過內(nèi)凹型臺(tái)階結(jié)構(gòu)與所述兩個(gè)叉卡接配合而裝配在傳樣桿上；通過傳樣桿前端的叉形樣品杯卡和樣品杯的內(nèi)凹型臺(tái)階結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，使得真空樣品在轉(zhuǎn)移過程中穩(wěn)定可靠，不會(huì)出現(xiàn)樣品掉落的問題；而且，本發(fā)明真空轉(zhuǎn)移裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、通用性強(qiáng)，可適用不同真空系統(tǒng)的樣品室和樣品臺(tái)。
【IPC分類】G01N35/00
【公開號(hào)】CN104914264
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510372372
【發(fā)明人】張軍安, 耿俊清, 梁春蕾
【申請(qǐng)人】北京中科科儀股份有限公司
【公開日】2015年9月16日
【申請(qǐng)日】2015年6月30日