一種氦氣檢測系統(tǒng)雙樣件防誤判校準方法以及裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種氦氣檢測系統(tǒng)防誤判校準方法及其裝置，屬于利用惰性氣體進行密封性檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種通過在氦氣檢測系統(tǒng)交替安裝密封樣件和泄漏樣件對氦氣檢測系統(tǒng)進行防誤判校準的方法及其裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]氦氣檢測是一種以氦氣作為示蹤氣體，使用氦質(zhì)譜檢漏儀進行泄漏檢測的密封檢測技術(shù)。氦質(zhì)譜檢漏方法很多，有噴吹法、氦罩法、吸氦法、預(yù)充氦法和真空室法等。對密閉容器整體檢漏常用真空室法。該方法的原理是將被檢容器放入一個真空室內(nèi)，真空室與檢漏儀相連，用檢漏儀(可加輔助泵)對真空室抽真空，到達本底狀態(tài)后，記錄檢漏儀測出的本底氦信號值隊；打開接在真空室上的標準漏孔，測出標準漏孔開啟后的氦信號Ui,關(guān)閉標準漏孔待氦信號再次達到本底狀態(tài)后，通過貫穿真空室與被檢容器的密封管路對被檢容器內(nèi)充氦，被檢部位如果有漏，氦氣通過漏孔(泄漏通道)泄漏到真空室，檢漏儀可檢測出容器泄漏的氦信號U2,同標準漏孔的信號比對可計算出被檢容器的整體漏率值。由此可見，在利用真空室法對待測件進行氦質(zhì)譜檢漏時，需要首先對氦氣檢測系統(tǒng)的準確性進行校驗，才能最好的保證檢漏的準確性。
[0003]但是在現(xiàn)有技術(shù)中，如中國發(fā)明專利說明書CN102494852B中公開了一種校準氦質(zhì)譜檢漏儀的方法，該方法的主要目的在于提供一種校準氦質(zhì)譜檢漏儀的方法，該方法能夠?qū)べ|(zhì)譜檢漏儀寬量程范圍內(nèi)進行校準，提高了校準的準確性，校準過程簡單易行，測量時間周期短，測量不確定度小，但是這僅僅只是針對氦氣檢測系統(tǒng)中的氦質(zhì)譜檢漏儀的校準，不能保證整個氦氣檢測系統(tǒng)的其他部分工作時不產(chǎn)生問題。
[0004]而在中國發(fā)明專利說明書CN103822761A中公開了一種密封性檢測裝置及方法，該發(fā)明的檢測裝置包括:示漏氣體源，用于向被檢件的一側(cè)提供示漏氣體；氣密室，連接示漏氣體源與被檢件的所述一側(cè)，并提供兩者間的氣密性通道；檢漏儀，位于被檢件的另一偵牝用于檢測穿過被檢件的示漏氣體。雖然發(fā)明可提高密封性檢測的準確性，但是僅僅是在該檢測裝置能夠正常工作的情況下得出密封性檢測的結(jié)構(gòu)，而如何檢驗該檢測裝置是否正常工作的方法以及裝置，該發(fā)明的說明書中并沒有公開。
[0005]在現(xiàn)有技術(shù)中，氦氣檢測系統(tǒng)日常生產(chǎn)時通常由生產(chǎn)人員按照較短的周期(每班/每天/每周等)對氦氣檢測系統(tǒng)的準確性進行校驗，校準鏈由I個密封樣件1、1個大值標準流量頭2和I個小值標準流量頭3組成，如圖1所示?，F(xiàn)有的氦氣檢測系統(tǒng)校準步驟如下:
[0006]1、校準密封樣件:將密封樣件I放入測量臺，氦氣通過充氣裝置充入到密封樣件，進行5-10次重復(fù)性測量，記錄結(jié)果；
[0007]2、校準大值標準流量頭:不取出密封樣件，將大值標準流量頭和密封樣件一起，進行5-10次重復(fù)性測量，記錄結(jié)果；
[0008]3、校準小值標準流量頭:不取出密封樣件，將小值標準流量頭+密封樣件進行5-10次重復(fù)性測量，記錄結(jié)果。三次的測量結(jié)果都滿足給定的評判范圍時即判定氦氣檢測系統(tǒng)校準合格，即檢測結(jié)果是準確可信的。
[0009]這種現(xiàn)有技術(shù)中校準氦氣檢測系統(tǒng)準確性的方案存在不足之處:當氦氣充氣裝置出現(xiàn)異常氦氣沒有充入被測試零件時，步驟1、2、3的測量結(jié)果都滿足給定的評判范圍，但是此種情況下，測得的結(jié)構(gòu)由于本來就沒有氦氣充入，所以測得結(jié)果肯定是合格的，所以該測量系統(tǒng)測得的結(jié)果只是一種假象，是不可靠的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種氦氣檢測系統(tǒng)雙樣件防誤判校準方法以及一種氦氣檢測雙樣件防誤判校準系統(tǒng)，利用該方法對氦氣檢測系統(tǒng)的準確性進行校驗不僅簡單，而且可靠性高；同時氦氣檢測雙樣件防誤判校準系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、兼容性好，不用對現(xiàn)有技術(shù)中的氦氣檢測系統(tǒng)進行大幅度的修改或重新設(shè)計。
[0011]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用了這樣一種氦氣檢測系統(tǒng)雙樣件防誤判校準方法，其在對氦氣檢測系統(tǒng)進行校準前先利用泄漏樣件判定氦氣檢測系統(tǒng)中的氦氣充氣裝置能夠工作。
[0012]在本發(fā)明公開了的一種優(yōu)選實施方案中，所述泄漏樣件可拆卸地連接于所述氦氣檢測系統(tǒng)的真空箱內(nèi)，并與所述氦氣檢測系統(tǒng)的氦氣充氣裝置相連。
[0013]在本發(fā)明公開了的一種優(yōu)選實施方案中，利用泄漏樣件判定氦氣檢測系統(tǒng)中的氦氣充氣裝置能夠工作的步驟包括:將泄漏樣件安裝連接于所述氦氣檢測系統(tǒng)的真空箱內(nèi)后，利用氦氣充氣裝置向泄漏樣件內(nèi)充入氦氣，然后利用所述氦氣檢測系統(tǒng)的氦質(zhì)譜檢測儀檢測是否有氦氣泄漏；如果氦質(zhì)譜檢測儀在每次校準時均測量出氦氣泄漏，則氦氣充氣裝置校準合格。
[0014]在本發(fā)明公開了的一種優(yōu)選實施方案中，當確認氦氣充氣裝置能夠正常釋放氦氣后，利用密封樣件對氦氣檢測系統(tǒng)進行校準。
[0015]在本發(fā)明公開了的一種優(yōu)選實施方案中，所述密封樣件可拆卸地連接于所述氦氣檢測系統(tǒng)的真空箱內(nèi)，并與所述氦氣檢測系統(tǒng)的氦氣充氣裝置相連。
[0016]在本發(fā)明公開了的一種優(yōu)選實施方案中，利用密封樣件對氦氣檢測系統(tǒng)進行校準的步驟包括:密封樣件校準、大值標準流量頭校準和小值標準流量頭校準。
[0017]在本發(fā)明公開了的一種優(yōu)選實施方案中，密封樣件、大值標準流量頭和小值標準流量頭三者的校準測量步驟重復(fù)5-10次。
[0018]在本發(fā)明公開了的一種優(yōu)選實施方案中，當密封樣件、大值標準流量頭和小值標準流量頭三者的校準測量結(jié)果均在給定的評判范圍內(nèi)時，所述氦氣檢測系統(tǒng)校準合格。
[0019]本發(fā)明還公開了一種氦氣檢測雙樣件防誤判校準裝置，其包括氦氣供應(yīng)裝置，充氣裝置，真空箱，真空泵，氦質(zhì)譜檢測儀，大值標準流量頭和小值標準流量頭；所述真空箱一端與所述真空泵連接，另一端連接有所述氦質(zhì)譜檢測儀；所述真空箱內(nèi)可拆卸的連接有密封樣件；所述充氣裝置的輸入端與所述氦氣供應(yīng)裝置連接；所述充氣裝置的輸出端與所述密封樣件連接；所述大值標準流量頭和所述小值標準流量頭的輸入端與所述氦氣供應(yīng)裝置的輸出端連接；所述大值標準流量頭和所述小值標準流量頭的輸出端與所述真空箱連接，其特征在于:所述密封樣件可替換為泄漏樣件。
[0020]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，通過在傳統(tǒng)氦氣檢測系統(tǒng)校準方法的步驟前增加一個確認氦氣充氣裝置正常工作的步驟保證了氦氣檢測系統(tǒng)中確實有氦氣充入，從而使得氦氣檢測系統(tǒng)的校準更準確，并且該系統(tǒng)裝置結(jié)構(gòu)簡單，只需要通過設(shè)計一個可以與原密封樣件替換的泄漏樣件裝入真空箱內(nèi)，即可以完成校驗。
【附圖說明】
[0021]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的氦氣檢測系統(tǒng)準確性校驗裝置的示意圖；
[0022]圖2是本發(fā)明實施例一種氦氣檢測雙樣件防誤判校準系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖中:1-密封