驅(qū)動反饋裝置213的增量編碼器只能提供位置變化，也就是從初始位置起的位移量，而不是當前位置的絕對值。因此，如果從增量編碼器接收反饋的控制單元230或者放大器(未示出)已經(jīng)被關(guān)閉的話，那么即使將其再次打開也無法獲得當前位置的值。
[0021]第一和第二 X-軸絕對反饋裝置221、222被分別安裝于在橫梁120的兩端中橫梁120與引導(dǎo)件111、112相交的位置處，以便測量構(gòu)成工作臺正交性的每個軸的位置，該反饋裝置可以由絕對編碼器組成。
[0022]構(gòu)成第一和第二 X-軸絕對反饋裝置221、222的絕對編碼器可以提供當前位置的絕對值，因此即便從絕對編碼器接收反饋的控制單元230或者放大器(未示出)在已經(jīng)關(guān)閉之后被再次打開，也仍可以獲得當前位置的絕對值。
[0023]控制單元230根據(jù)從第一和第二 X-軸驅(qū)動反饋裝置211、212 ;Υ_軸驅(qū)動反饋裝置213以及第一和第二X-軸絕對反饋裝置221、222接收到的反饋來控制工作臺的位移并且檢測工作臺正交性的變化，該控制單元由用于進行計算和控制的微處理器組成。
[0024]即使在操作工作臺的過程中電源被關(guān)閉，控制單元230也可以提供工作臺的當前位置的絕對值，這是因為其不僅從增量編碼器而且從絕對編碼器接收反饋的緣故。因此，控制單元230可以基于如圖2中示出在組裝工作臺的時候初始所測量到的正交性及如圖3中示出在工作臺的操作期間所測量到的已經(jīng)變化的正交性，來實時地計算工作臺正交性的變化。
[0025]另外，控制單元230可以使用正交性的變化，用于診斷、監(jiān)控和分析系統(tǒng)的問題，或者為此目的而將其提供給外部設(shè)備。
[0026]圖4展示了借助于增量反饋裝置來定位工作臺使其歸位的常規(guī)方法。
[0027]參考圖4，如果僅僅借助于根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的增量反饋裝置來定位工作臺使其歸位的話，那么①首先將工作臺往前移動到被安裝在工作臺兩側(cè)處的引導(dǎo)件111、112的一端上的限位傳感器140，②接著沿相反方向進行移動，以便找到歸位傳感器130。在該情況下，其應(yīng)該以低速進行移動以用于精準定位，并且應(yīng)該在檢測到歸位傳感器之后移動至某一額外距離以便降低速度。③在隨著速度降低而停止之后，其應(yīng)該再次往前移動到所檢測到的歸位傳感器，由此，其在精度退化的同時還要花費很長時間。
[0028]圖5展示了根據(jù)本發(fā)明另一實施例的借助于增量反饋裝置和絕對反饋裝置來定位工作臺使其歸位的方法。
[0029]參考圖5，如果借助于根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于測量工作臺正交性的系統(tǒng)來定位工作臺使其歸位的話，那么①首先借助于第一和第二 X-軸驅(qū)動反饋裝置211、212將工作臺往前移動到限位傳感器140，②接著借助于第一和第二 X-軸絕對反饋裝置221、222快速地移動到歸位位置。從而，定位工作臺使其歸位的精度和速度得以改進，因此提高了系統(tǒng)的精準度和生產(chǎn)率。
[0030]本發(fā)明的實施例在工作臺的操作過程中以實時方式精準地檢測工作臺正交性的變化，從而預(yù)先發(fā)現(xiàn)工作臺的錯誤并且提供用于校正錯誤的數(shù)據(jù)。
[0031]此外，可以測量工作臺的歸位位置的絕對值，以便改善定位工作臺使其歸位的速度、精準度和穩(wěn)定性。
[0032]而且，不僅采用增量反饋裝置而且采用絕對反饋裝置，從而最少地使用高成本和低精度的絕對反饋裝置，因此減少生產(chǎn)成本并且改善控制的精度。
[0033]本發(fā)明不應(yīng)該被上述實施例和附圖所限制。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見的是在不脫離本發(fā)明的技術(shù)概念的情況下，可以替換、修改和變更本發(fā)明的構(gòu)成部分。
【主權(quán)項】
1.一種用于測量工作臺正交性的系統(tǒng)，包括: 第一和第二 X軸驅(qū)動反饋裝置，所述第一和第二 X軸驅(qū)動反饋裝置被分別安裝于分別布置在所述工作臺兩側(cè)的一對引導(dǎo)件上，用于測量并提供用于改變所述工作臺的X軸位置的位移； Y軸驅(qū)動反饋裝置，所述Y軸驅(qū)動反饋裝置被安裝于所述工作臺的橫梁上，用于測量并提供用于改變所述工作臺的Y軸位置的位移； 第一和第二 X軸絕對反饋裝置，所述第一和第二 X軸絕對反饋裝置每個均被安裝于在所述橫梁兩端的橫梁與一對引導(dǎo)件相交的位置處，用于測量并提供構(gòu)成所述工作臺正交性的每個軸的位置；以及 控制單元，所述控制單元根據(jù)從所述第一和第二 X軸驅(qū)動反饋裝置，所述Y軸驅(qū)動反饋裝置以及所述第一和第二 X軸絕對反饋裝置接收到的反饋，來控制所述工作臺的位移并檢測所述工作臺正交性的變化。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量工作臺正交性的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一和第二 X軸驅(qū)動反饋裝置包括增量編碼器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量工作臺正交性的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一和第二 X軸絕對反饋裝置包括絕對編碼器。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量工作臺正交性的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元基于在初始組裝所述工作臺的時候所測量的正交性和在所述工作臺的操作期間所測量的已改變的正交性，來實時地檢測所述工作臺正交性的變化。5.一種借助于用于測量工作臺正交性的系統(tǒng)來定位工作臺使其歸位的方法，所述系統(tǒng)包括增量反饋裝置和絕對反饋裝置，所述方法包括以下步驟: 通過使用所述增量反饋裝置將所述工作臺往前移動到設(shè)置于在所述工作臺兩側(cè)的引導(dǎo)件的端部處的限位傳感器；以及 通過使用所述絕對反饋裝置將所述工作臺往前移動到設(shè)置有所述工作臺的歸位傳感器的位置。
【專利摘要】公開一種用于測量工作臺正交性的系統(tǒng)以及使用該系統(tǒng)來定位工作臺使其歸位的方法。所述系統(tǒng)包括：被分別安裝于在工作臺兩側(cè)分別布置的一對引導(dǎo)件上的第一和第二X-軸驅(qū)動反饋裝置，用于測量并提供用于改變工作臺的X-軸位置的位移；被安裝在工作臺的橫梁上的Y-軸驅(qū)動反饋裝置，用于測量并提供用于改變工作臺Y-軸位置的位移；每個均被安裝于在橫梁的兩端中該橫梁與一對引導(dǎo)件相交的位置處的第一和第二X-軸絕對反饋裝置，用于測量并提供構(gòu)成工作臺正交性的每個軸的位置；以及根據(jù)從第一和第二X-軸驅(qū)動反饋裝置、Y-軸驅(qū)動反饋裝置以及第一和第二X-軸絕對反饋裝置接收到的反饋來控制工作臺的位移并且檢測工作臺正交性的變化的控制單元。
【IPC分類】G01B21/00
【公開號】CN104976972
【申請?zhí)枴緾N201510166574
【發(fā)明人】鐘奎舒
【申請人】循環(huán)工程株式會社
【公開日】2015年10月14日
【申請日】2015年4月10日
【公告號】EP2930463A1, US20150292882