一種微量液體泄漏偵測系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體地說，涉及一種微量液體泄漏偵測系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體和面板等電子行業(yè)生產(chǎn)過程中會使用到各種液態(tài)化學(xué)品和水。在輸送這些液態(tài)化學(xué)品和水過程中，設(shè)備、管道閥門和法蘭連接處由于長期處于壓力作用，在這些位置處很可能會導(dǎo)致出現(xiàn)微量液體泄漏。如果不能及時發(fā)現(xiàn)并處理這些泄漏點，則可能會導(dǎo)致出現(xiàn)大量液體泄漏事故，從而危及人身安全并造成財產(chǎn)損失。
[0003]目前在電子行業(yè)中廣泛采用的液體泄漏偵測系統(tǒng)只能偵測大量液體泄漏，而對于微量液體泄漏的情況，這些偵測系統(tǒng)則無法進行準確、可靠地偵測，也就無法作出極早期預(yù)目ο

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是為了解決現(xiàn)有的漏液偵測系統(tǒng)只能夠偵測大量液體泄漏而無法偵測微量液體泄漏的問題。為解決上述問題，本發(fā)明的一個實施例首先提供了一種微量液體泄漏偵測系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括:
[0005]漏液檢測模塊，其貼合設(shè)置在待檢測部位上，用于在待檢測部位存在液體泄漏時產(chǎn)生第一漏液響應(yīng)信號；
[0006]電流放大模塊，其與所述漏液檢測模塊連接，用于對所述第一漏液響應(yīng)信號進行電流放大，得到第二漏液響應(yīng)信號；
[0007]I/O模塊，其與所述電流放大模塊連接，用于根據(jù)接收到的所述第二漏液響應(yīng)信號產(chǎn)生漏液狀態(tài)信號；
[0008]監(jiān)測模塊，其與所述I/O模塊連接，其用于根據(jù)所述漏液狀態(tài)信號確定所述待檢測部位是否存在微量液體泄漏，從而實現(xiàn)對所述待檢測部位是否存在微量液體泄漏的偵測。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述漏液檢測模塊包括多個漏液檢測單元，所述電流放大模塊包括多個電流放大單元，所述多個漏液檢測單元貼合設(shè)置在多個待檢測部位上且與所述多個電流放大單元對應(yīng)連接，所述多個電流放大單元還與所述I/O模塊的多個外接端口對應(yīng)連接。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述監(jiān)測模塊還能夠根據(jù)所述漏液狀態(tài)信號，從所述多個待檢測部位中確定出存在微量液體泄露的待檢測部位，從而實現(xiàn)漏液的定位。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述漏液檢測模塊包括漏液檢測帶，所述漏液檢測帶包括互不導(dǎo)通的第一檢測電極和第二檢測電極，其中，
[0012]當所述漏液檢測模塊中存在液體時，所述第一檢測電極與第二檢測電極之間的電連接導(dǎo)通。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一檢測電極和第二檢測電極通過所述電流放大模塊與所述I/O模塊的兩個外接端口對應(yīng)連接。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，在進行微量漏液檢測時，所述I/O模塊配置為向所述第一檢測電極施加預(yù)設(shè)激勵信號，使得所述第一檢測電極與第二檢測電極之間存在預(yù)設(shè)電壓差。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述預(yù)設(shè)電壓差的取值范圍包括[12V，30V]。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一檢測電極和第二檢測電極為柔性電極。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述漏液檢測帶還包括柔性透明的護套，所述護套包裹住所述第一檢測電極和第二檢測電極。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述系統(tǒng)還包括:
[0019]告警模塊，其與所述監(jiān)測模塊連接，當所述監(jiān)測模塊確定出所述待檢測部位存在微量液體泄漏時，所述檢測模塊還能夠產(chǎn)生告警信號，以控制所述告警模塊進行告警提示。
[0020]從上述描述中可以看出，本發(fā)明所提供的微量液體泄漏偵測系統(tǒng)將漏液檢測模塊貼合設(shè)置在待檢測部位(例如重要設(shè)備和管道的閥門以及法蘭連接處)，只要待檢測部位發(fā)生微量液體泄漏，那么漏液檢測模塊便可以產(chǎn)生對應(yīng)的漏液響應(yīng)信號，最終由監(jiān)測模塊根據(jù)該電流信號確定出發(fā)生液體泄露的待檢測部位，并通過告警模塊進行告警提示。該系統(tǒng)能夠偵測微量液體泄漏，并作出極早期預(yù)警，方便工作人員盡早發(fā)現(xiàn)微量泄漏源并及時處理，從而避免了出現(xiàn)液體大量泄漏的事故，避免了人員傷亡和財產(chǎn)損失。
[0021]本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點可通過在說明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。
【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要的附圖做簡單的介紹:
[0023]圖1是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的微量液體泄漏偵測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的漏液檢測帶的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的微量液體泄漏偵測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0026]以下將結(jié)合附圖及實施例來詳細說明本發(fā)明的實施方式，借此對本發(fā)明如何應(yīng)用技術(shù)手段來解決技術(shù)問題，并達成技術(shù)效果的實現(xiàn)過程能充分理解并據(jù)以實施。需要說明的是，只要不構(gòu)成沖突，本發(fā)明中的各個實施例以及各實施例中的各個特征可以相互結(jié)合，所形成的技術(shù)方案均在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
[0027]同時，在以下說明中，出于解釋的目的而闡述了許多具體細節(jié)，以提供對本發(fā)明實施例的徹底理解。然而，對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說顯而易見的是，本發(fā)明可以不用這里的具體細節(jié)或者所描述的特定方式來實施。
[0028]圖1示出了本實施例所提供的微量液體泄漏偵測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]如圖1所示，微量漏液泄漏偵測系統(tǒng)包括:漏液檢測模塊101、電流放大模塊102、I/o模塊103以及監(jiān)測模塊104。其中，在使用時，漏液檢測模塊101貼合設(shè)置在待檢測部位上。當待檢測部位出現(xiàn)液體泄漏時，漏液檢測模塊101將產(chǎn)生第一漏液響應(yīng)信號。電流放大模塊102連接在漏液檢測模塊101與I/O模塊103之間，其能夠?qū)⒔邮盏降牡谝宦┮喉憫?yīng)信號進行電流放大從而得到第二漏液響應(yīng)信號，并將第二漏液響應(yīng)信號傳輸給I/O模塊103以進行進一步的處理。
[0030]具體地，如圖2所示，本實施例中，漏液檢測模塊101采用了漏液檢測帶來實現(xiàn)。該漏液檢測帶包括第一檢測電極201和第二檢測電極202。其中，在正常情況下(即待檢測部位不存在漏液時)，第一檢測電極201與第二檢測電極202互不導(dǎo)通。當然，在本發(fā)明的其他實施例中，漏液檢測模塊101還可以采用其他合理的元器件或電路來實現(xiàn)，本發(fā)明不限于此。
[0031]在使用的過程中，漏液檢測帶貼合設(shè)置在待檢測部位的表面，并且第一檢測電極201與第二檢測電極202之間存在預(yù)設(shè)電壓電壓差。具體地，本實施例中，第一檢測電極201與第二檢測電極202之間的電壓差為24V。當然，在本發(fā)明的其他實施例中，第一檢測電極201與第二檢測電極202之間的電壓差還可以配置為其他合理值，本發(fā)明同樣不限于此。例如，在本發(fā)明的不同實施例中，第一檢測電極201與第二檢測電極202之間的電壓差還可以配置為[12V，30V]中的其他合理值，諸如15V、20V以及28V等。
[0032]在正常情況下(即待檢測部位不存在漏液時)，由于第一檢測電極201與第二檢測電極202之間互不導(dǎo)通，因此此時漏液檢測帶也就沒有電流輸出。而當待檢測部位(例如設(shè)備和管道閥門以及法蘭連接處)出現(xiàn)微量漏液時，液體便會侵入到貼合設(shè)置在待檢測部位的漏液檢測帶中。由于液體的導(dǎo)電作用，此時第一檢測電極201與第二檢測電極202之間的電連接將會導(dǎo)通，這樣漏液檢測帶便會輸出電流信號，該電流信號也就是第一漏液響應(yīng)信號。
[0033]由于漏液檢測帶是貼合在待檢測部位表面的，并且只要微量的液體侵入到漏液檢測帶中便可以使得漏液檢測帶中的第一檢測電極201與第二檢測電極202之間的電來接導(dǎo)通，因此本實施例所提供的漏液偵測系統(tǒng)便能夠準確地偵測到待檢測部位是否存在微量漏液。
[0034]本實施例中，漏液檢測帶具有柔性透明的護套203，這樣，漏液檢測帶便可以更加緊密地貼合在待檢測部位上，從而使得得到的漏液信息更加準確。具體地，本實施例中，漏液檢測帶的護套203優(yōu)選地采用苯乙烯材料制成。當然。在本發(fā)明的其他實施例中，漏液檢測帶的護套203還可以采用其他合理材料來實現(xiàn)，本發(fā)明不限于此。
[0035]再次如圖1所示，由于漏液檢測模塊101所輸出的第一漏液響應(yīng)信號較小，因此為了后續(xù)處理的方便，本實施例所提供的微量液體泄漏偵測系統(tǒng)中配置了與漏液檢測模塊101連接的電流放大模