一種用于檢測自身回光對激光器影響的方法及檢測設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于檢測自身回光對激光器影響的方 法及檢測設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002] 半導(dǎo)體激光器是以半導(dǎo)體材料作為工作物質(zhì)的激光器，其具有體積小、效率高、結(jié) 構(gòu)簡單、壽命較長、易于調(diào)制以及價格較低等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用在電子領(lǐng)域。
[0003] 但是半導(dǎo)體激光器在工作時，其自身發(fā)射出的部分激光會沿原路再返回到激光器 芯片內(nèi)部時，造成半導(dǎo)體激光器的激光功率下降，影響半導(dǎo)體激光器的激光光束質(zhì)量，嚴(yán)重 時會燒壞激光器的芯片，導(dǎo)致激光器報廢。而半導(dǎo)體激光器的不同芯片以及不同封裝模式， 其回光對激光光束的影響均不相同，如何檢測回光對激光光束的影響是人們急需解決的問 題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種用于檢測自身回光對激光器影響的方法 及檢測設(shè)備，檢測回光的功率與激光器的輸入光的功率之間的對應(yīng)關(guān)系。
[0005] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是：提供一種于檢測自身回光 對激光器影響的方法，包括：接收激光器輸入的輸入光；將所述輸入光分割成第一檢測光 和第二檢測光，并分別向第一光功率計和可調(diào)反射鏡輸出所述第一檢測光和第二檢測光， 其中，所述第一檢測光的功率與輸入光的功率滿足第一預(yù)定關(guān)系；接收所述可調(diào)反射鏡所 反射的部分第二檢測光，并將所述可調(diào)反射鏡所反射的部分第二檢測光分割成第一回光和 第二回光，并分別向所述激光器和第一光功率計回傳所述第一回光和第二回光，其中，所述 第二回光的功率與第一回光的功率滿足第二預(yù)定關(guān)系；通過所述第一光功率計檢測第一檢 測光的功率，通過所述第二光功率計檢測第二回光的功率；根據(jù)所述第一檢測光的功率計 算激光器的輸入光的功率，根據(jù)所述第二回光的功率計算第一回光的功率，建立并輸出所 述第一回光的功率與激光器的輸入光的功率之間的功率對應(yīng)關(guān)系；轉(zhuǎn)動N-I次所述可調(diào)反 射鏡，使所述可調(diào)反射鏡位于N個不同的反射角反射部分第一檢測光，以輸出N對所述功率 對應(yīng)關(guān)系，其中，N為大于或等于2的自然數(shù)。
[0006] 其中，所述第一檢測光的功率與輸入光的功率滿足的第一預(yù)定關(guān)系，具體為：
[0007]
[0008] 所述為第一檢測光的功率，所述ΡΛ為輸入光的功率；
[0009] 所述第二回光的功率與可調(diào)反射鏡所反射的部分第一檢測光的功率滿足的第二 預(yù)定關(guān)系，具體為：
[0010]
[0011] 所述P'為第一回光的功率，所述P0"為第二回光的功率，所述Ps為可調(diào)反射 鏡所反射的部分第一檢測光的功率。
[0012] 其中，所述方法還包括：判斷所述第一回光的功率大于或等于功率閾值；若大于 或等于所述功率閾值，則發(fā)出告警。
[0013] 其中，在向所述可調(diào)反射鏡輸出第二檢測光的步驟具體為：通過準(zhǔn)直鏡對所述第 二檢測光進(jìn)行準(zhǔn)直，并且在所述第二檢測光準(zhǔn)直后輸出至可調(diào)反射鏡；所述接收所述可調(diào) 反射鏡所反射的部分第二檢測光的步驟具體為：通過所述準(zhǔn)直鏡接收所述可調(diào)反射鏡所反 射的部分第二檢測光。
[0014] 其中，所述方法包括：根據(jù)所述N對所述功率對應(yīng)關(guān)系，并結(jié)合預(yù)設(shè)數(shù)學(xué)模型建立 所述第一回光的功率與激光器的輸入光的功率之間的數(shù)學(xué)關(guān)系。
[0015] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是：提供一種檢測設(shè)備，包括雙 通道光耦合器、第一光功率計、第二光功率計、可調(diào)反射鏡和處理器，其中，所述雙通道光耦 合器設(shè)置有第一左端口、第二左端口、第一右端口和第二右端口，所述第一左端口用于與激 光器連接，所述第一光功率計與所述第一右端口連接，所述可調(diào)反射鏡位于所述第二右端 口的前方，所述第二光功率計與第二左端口連接，所述處理器分別與第一光功率計、第二光 功率計和可調(diào)反射鏡連接；所述雙通道光耦合器用于通過第一左端口接收激光器輸出的輸 入光，并將所述輸入光分割成第一檢測光和第二檢測光，以及通過第一右端口向第一光功 率計輸出所述第一檢測光，通過所述第二右端口向可調(diào)反射鏡輸出第二檢測光，其中，所述 第一檢測光的功率與輸入光的功率滿足第一預(yù)定關(guān)系；所述可調(diào)反射鏡向第二右端口反射 部分第二檢測光；所述雙通道光耦合器還用于通過第二右端口接收所述可調(diào)反射鏡所反射 的部分第二檢測光，并將所述可調(diào)反射鏡所反射的部分第二檢測光分割成第一回光和第二 回光，以及通過所述第一左端口向激光器回傳第一回光，通過所述第二端口向第一光功率 計發(fā)送第二回光，其中，所述第二回光的功率與可調(diào)反射鏡所反射的部分第一檢測光的功 率滿足第二預(yù)定關(guān)系；通過所述第一光功率計檢測第一檢測光的功率，通過所述第二光功 率計檢測第二回光的功率；所述處理器用于根據(jù)所述第一檢測光的功率計算激光器的輸入 光的功率，根據(jù)所述第二回光的功率計算第一回光的功率，建立并輸出所述第一回光的功 率與激光器的輸入光的功率之間的功率對應(yīng)關(guān)系；所述處理器還用于控制所述可調(diào)反射鏡 轉(zhuǎn)動N-I次，以使所述可調(diào)反射鏡位于N個不同的反射角反射部分第一檢測光，以輸出N對 所述功率對應(yīng)關(guān)系，其中，N為大于或等于2的自然數(shù)。
[0016] 其中，所述第一檢測光的功率與輸入光的功率滿足第一預(yù)定關(guān)系，具體為：
[0017]
[0018] 所述為第一檢測光的功率，所述ΡΛ為輸入光的功率；
[0019] 所述第二回光的功率與可調(diào)反射鏡所反射的部分第一檢測光的功率滿足第二預(yù) 定關(guān)系，具體為：
[0020]
[0021] 所述P0 '為第二光的功率，所述Ps為可調(diào)反射鏡所反射的部分第一檢測光的功 率。
[0022] 其中，所述檢測設(shè)備還包括告警裝置，所述告警裝置與所述處理器連接；處理器還 用于判斷所述第一回光的功率大于或等于功率閾值，若大于或等于所述功率閾值，則控制 所述告警裝置發(fā)出告警。
[0023] 其中，所述檢測設(shè)備還包括準(zhǔn)直鏡；所述準(zhǔn)直鏡設(shè)置于所述第二左端口與所述可 調(diào)反射鏡之間，所述準(zhǔn)直鏡用于第二檢測光進(jìn)行準(zhǔn)直后輸出至可調(diào)反射鏡，并且所述可調(diào) 反射鏡所反射的部分第二檢測光經(jīng)過準(zhǔn)直鏡后入射至第二左端口。
[0024] 所述處理器還用于根據(jù)所述N對所述功率對應(yīng)關(guān)系，并結(jié)合預(yù)設(shè)數(shù)學(xué)模型建立所 述第一回光的功率與激光器的輸入光功率之間的數(shù)學(xué)關(guān)系。
[0025] 本發(fā)明的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明通過將激光器的輸入光分 割成第一檢測光和第二檢測光，第一檢測光入射至第一光功率計，第二檢測光入射至可調(diào) 反射鏡，通過可調(diào)反射鏡反射部分第一檢測光，可調(diào)反射鏡所反射的部分第二檢測光被分 割成第一回光和第二回光，第一回光作為激光器的自身回光回傳至激光器，第二回光入射 至第二光功率計，其中，第一檢測光的功率與輸入光的功率滿足第一預(yù)定關(guān)系，第二回光的 功率與第一回光的功率滿足第二預(yù)定關(guān)系，因此，可通過第一檢測光的功率計算輸入光的 功率，通過第二回光的功率計算第一回光的功率，從而建立激光器自身的回光的功率與自 射輸入光的功率之間的對應(yīng)關(guān)系。
【附圖說明】
[0026] 圖1是本發(fā)明用于檢測自身回光對激光器影響的方法實施方式的流程圖；
[0027] 圖2是本發(fā)明檢測設(shè)備實施方式的示意圖。
【具體實施方式】
[0028] 下面結(jié)合附圖和實施方式對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0029] 請參閱圖1，用于檢測自身回光對激光器影響的方法包括：
[0030] 步驟S201 :接收激光器輸入的輸入光。
[0031] 在本實施例中，激光器是指激光器核心栗源部分不包含其他光學(xué)器件，如激光器 芯片。
[0032] 步驟S202 :將輸入光分割成第一檢測光和第二檢測光，并分別向第一光功率計和 可調(diào)反射鏡輸出第一檢測光和第二檢測光，其中，第一檢測光的功率與輸入光的功率滿足 第一預(yù)定關(guān)系。
[0033] 將輸入光分割成第一檢測光和第二檢測光是按預(yù)定要求進(jìn)行分割，因此，除了第 一檢測光的功率與輸入光的功率滿足第一預(yù)定關(guān)系之外，第二檢測光的功率與輸入光的功 率之間也滿足一定關(guān)系，在本發(fā)明實施方式中，激光器的輸入光5 :5分割成第一檢測光和 第二檢測光，即：將激光器的輸入光等分成兩份，第一檢測光的功率與第二檢測光的功率相