磁傳感器裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種將磁鐵與感磁傳感器相向配置的磁傳感器裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在用作旋轉(zhuǎn)編碼器等的磁傳感器裝置中，設(shè)置于旋轉(zhuǎn)體側(cè)的磁鐵與設(shè)置于固定體側(cè)的感磁傳感器相向，根據(jù)隨著磁鐵的旋轉(zhuǎn)從感磁傳感器輸出的信號(hào)，信號(hào)處理電路檢測(cè)旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)角度和轉(zhuǎn)速等。此時(shí)，若在從感磁傳感器輸出至信號(hào)處理電路的配線中隨著磁通變化產(chǎn)生感應(yīng)電壓，則檢測(cè)精度下降。因此，提出如下的結(jié)構(gòu):將使由霍爾元件構(gòu)成的感磁傳感器與信號(hào)處理電路連接的柔性配線的導(dǎo)線配置在磁鐵的旋轉(zhuǎn)中心軸線附近(參照專利文獻(xiàn)I)。并且，提出如下的結(jié)構(gòu):將使由霍爾元件構(gòu)成的感磁傳感器與信號(hào)處理電路連接的配線圖案繞磁鐵的旋轉(zhuǎn)中心軸線同心狀地配置。
[0003]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-218592號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本特開2011-33595號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明想要解決的課題
[0008]但是，專利文獻(xiàn)1、2中記載的結(jié)構(gòu)存在如下問題:需要在規(guī)定的條件下將柔性配線配置于磁鐵的周邊的空間和設(shè)置繞磁鐵的旋轉(zhuǎn)中心軸線具有同心狀的配線圖案的基板的空間。
[0009]鑒于以上的問題，本發(fā)明的課題是提供一種即使不在磁鐵的周邊確保大的空間，也能夠緩和在來自感磁傳感器的輸出的傳送路徑中產(chǎn)生的感應(yīng)噪聲的影響的磁傳感器裝置。
[0010]用于解決課題的技術(shù)方案
[0011]為了解決上述的課題，本發(fā)明所涉及的磁傳感器裝置的特征在于，所述傳感器裝置具有設(shè)置在旋轉(zhuǎn)體側(cè)且繞旋轉(zhuǎn)中心軸線設(shè)置有N極以及S極的磁鐵、在固定側(cè)與所述磁鐵相向的感磁傳感器、具有放大來自該感磁傳感器的輸出信號(hào)的放大器部的半導(dǎo)體裝置以及在一側(cè)面?zhèn)妊b配有所述感磁傳感器、在另一側(cè)面?zhèn)妊b配有所述半導(dǎo)體裝置的雙面基板，所述感磁傳感器與所述半導(dǎo)體裝置配置在兩者的至少一部分在所述雙面基板的厚度方向上重疊的位置，所述感磁傳感器與所述半導(dǎo)體裝置通過多個(gè)通孔電連接，所述多個(gè)通孔形成于所述雙面基板中與所述感磁傳感器以及所述半導(dǎo)體裝置中的至少一者在所述雙面基板的厚度方向上重疊的位置。
[0012]在本發(fā)明中，使用在一側(cè)面?zhèn)妊b配有感磁傳感器、在另一側(cè)面?zhèn)妊b配有半導(dǎo)體裝置的雙面基板，感磁傳感器與半導(dǎo)體裝置通過雙面基板的通孔電連接。因此，也可以不在磁鐵的周邊確保大的空間。并且，感磁傳感器與半導(dǎo)體裝置配置在兩者的至少一部分在雙面基板的厚度方向上重疊的位置，且通孔形成于與感磁傳感器以及半導(dǎo)體裝置中的至少一者重疊的位置。因此，由于來自感磁傳感器的輸出的傳送路徑較短，因此，在來自感磁傳感器的輸出的傳送路徑中產(chǎn)生的感應(yīng)噪聲較小，因此能夠緩和感應(yīng)噪聲的影響。
[0013]在本發(fā)明中，能夠采用如下的結(jié)構(gòu):所述感磁傳感器設(shè)置在所述磁鐵的旋轉(zhuǎn)中心軸線上，所述雙面基板配置為使厚度方向朝向所述磁鐵的旋轉(zhuǎn)中心軸線方向。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，由于形成于雙面基板的配線的環(huán)與磁通交鏈的部分較少，因此在來自感磁傳感器的輸出的傳送路徑中產(chǎn)生的感應(yīng)噪聲較小。
[0014]在本發(fā)明中，優(yōu)選所述感磁傳感器的中心以及所述半導(dǎo)體裝置的中心位于所述旋轉(zhuǎn)中心軸線上。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，由于能夠?qū)碜愿写艂鞲衅鞯妮敵龅膫魉吐窂脚渲迷谛D(zhuǎn)中心軸線附近，因此能夠減少感應(yīng)噪聲。
[0015]在本發(fā)明中，能夠采用所述磁鐵被磁化出一對(duì)NS極的結(jié)構(gòu)。
[0016]在本發(fā)明中，優(yōu)選所述多個(gè)通孔形成于與所述感磁傳感器以及所述半導(dǎo)體裝置這兩者在所述雙面基板的厚度方向上重疊的位置。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，由于來自感磁傳感器的輸出的傳送路徑較短，因此在來自感磁傳感器的輸出的傳送路徑中產(chǎn)生的感應(yīng)噪聲較小，能夠緩和感應(yīng)噪聲的影響。
[0017]在本發(fā)明中，優(yōu)選在所述雙面基板中，在將感磁傳感器用第一焊盤與感磁傳感器用第二焊盤連接的假想線延伸的方向上，在所述另一側(cè)面?zhèn)扰c所述感磁傳感器用第二焊盤電連接的半導(dǎo)體裝置用第二焊盤相對(duì)于在所述另一側(cè)面?zhèn)扰c所述感磁傳感器用第一焊盤電連接的半導(dǎo)體裝置用第一焊盤所位于的方向與所述感磁傳感器用第二焊盤相對(duì)于所述感磁傳感器用第一焊盤所位于的方向相反，其中，所述感磁傳感器用第一焊盤在所述一側(cè)面?zhèn)扰c所述感磁傳感器的第一輸出端子電連接，所述感磁傳感器用第二焊盤在所述一側(cè)面?zhèn)扰c所述感磁傳感器的同所述第一輸出端子成對(duì)的第二輸出端子電連接。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，只變更電路板的結(jié)構(gòu)，就能夠使從感磁傳感器向半導(dǎo)體裝置的環(huán)的方向在中途逆轉(zhuǎn)。因此，由于能夠在中途使感應(yīng)電壓的極性逆轉(zhuǎn)且相互抵消，因此能夠緩和感應(yīng)噪聲的影響。另外，在本實(shí)施方式中，“同第一輸出端子成對(duì)的第二輸出端子”的“成對(duì)”是指通過從第一輸出端子輸出的信號(hào)與從第二輸出端子輸出的信號(hào)生成一個(gè)信號(hào)的意思，例如意思是:輸出+A相信號(hào)的第一輸出端子與輸出-A相信號(hào)的第二輸出端子的關(guān)系，以及輸出+B相信號(hào)的第一輸出端子與輸出-B相信號(hào)的第二輸出端子的關(guān)系。
[0018]在本發(fā)明中，優(yōu)選第一感應(yīng)電壓、第二感應(yīng)電壓以及第三感應(yīng)電壓以任一個(gè)感應(yīng)電壓與另兩個(gè)感應(yīng)電壓抵消的方式形成，所述第一感應(yīng)電壓是在所述感磁傳感器中通過形成有感磁膜的感磁傳感器側(cè)芯片與所述第一輸出端子之間的感磁傳感器側(cè)第一配線以及所述感磁傳感器側(cè)芯片與所述第二輸出端子之間的感磁傳感器側(cè)第二配線與所述磁鐵的磁通交鏈而產(chǎn)生的，所述第二感應(yīng)電壓是通過在所述雙面基板的截面內(nèi)被所述多個(gè)通孔中與所述第一輸出端子對(duì)應(yīng)的第一通孔以及與所述第二輸出端子對(duì)應(yīng)的第二通孔包圍的區(qū)域與所述磁鐵的磁通交鏈而產(chǎn)生的，所述第三感應(yīng)電壓是在所述半導(dǎo)體裝置中通過形成有所述放大器部的放大器側(cè)芯片同與所述第一輸出端子電連接的第一輸入端子之間的放大器側(cè)第一配線以及所述放大器側(cè)芯片同與所述第二輸出端子電連接的第二輸入端子之間的放大器側(cè)第二配線與所述磁鐵的磁通交鏈而產(chǎn)生的。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，由于能夠使感應(yīng)電壓之間相互抵消，因此能夠緩和感應(yīng)噪聲的影響。
[0019]在本發(fā)明中，優(yōu)選從所述旋轉(zhuǎn)中心軸線方向觀察時(shí)，具有如下的結(jié)構(gòu):將所述第一通孔與所述第二通孔連接的假想線以及將所述感磁傳感器用第一焊盤與所述感磁傳感器用第二焊盤連接的假想線中至少一個(gè)假想線相對(duì)于將所述半導(dǎo)體裝置用第一焊盤與所述半導(dǎo)體裝置用第二焊盤連接的假想線平行地延伸，或具有如下的結(jié)構(gòu):將所述第一通孔與所述第二通孔連接的假想線以及將所述半導(dǎo)體裝置用第一焊盤與所述半導(dǎo)體裝置用第二焊盤連接的假想線中至少一個(gè)假想線相對(duì)于將所述感磁傳感器用第一焊盤與所述感磁傳感器用第二焊盤連接的假想線平行地延伸。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，由于能夠?qū)R第一感應(yīng)電壓、第二感應(yīng)電壓以及第三感應(yīng)電壓中至少兩個(gè)感應(yīng)電壓的相位，因此適于使感應(yīng)電壓之間相互抵消。
[0020]在本發(fā)明中，能夠采用如下的結(jié)構(gòu):所述感磁傳感器隨著所述磁鐵的旋轉(zhuǎn)而輸出具有90°的相位差的兩相信號(hào)。
[0021]發(fā)明效果
[0022]在本發(fā)明中，使用在一側(cè)面?zhèn)妊b配有感磁傳感器、在另一側(cè)面?zhèn)妊b配有半導(dǎo)體裝置的雙面基板，感磁傳感器與半導(dǎo)體裝置通過雙面基板的通孔電連接。因此，也可以不在磁鐵的周邊確保大的空間。并且，感磁傳感器和半導(dǎo)體裝置配置在兩者的至少一部分在雙面基板的厚度方向上重疊的位置，且通孔形成于與感磁傳感器以及半導(dǎo)體裝置中的至少一者重疊的位置。因此，由于來自感磁傳感器的輸出的傳送路徑較短，因此在來自感磁傳感器的輸出的傳送路徑中產(chǎn)生的感應(yīng)噪聲較小，能夠緩和感應(yīng)噪聲的影響。
【附圖說明】
[0023]圖1是示出應(yīng)用了本發(fā)明的磁傳感器裝置(旋轉(zhuǎn)編碼器)的結(jié)構(gòu)的說明圖。
[0024]圖2是示出應(yīng)用了本發(fā)明的磁傳感器裝置的電氣結(jié)構(gòu)的說明圖。
[0025]圖3是示出應(yīng)用了本發(fā)明的磁傳感器裝置的檢測(cè)原理的說明圖。
[0026]圖4是應(yīng)用了本發(fā)明的磁傳感器裝置的從感磁傳感器向放大器部的信號(hào)路徑的說明圖。
[0027]圖5是示出應(yīng)用了本發(fā)明的磁傳感器裝置中用于有效抵消感應(yīng)電壓的結(jié)構(gòu)的說明圖。
[0028](符號(hào)說明)
[0029]10磁傳感器裝置；
[0030]2旋轉(zhuǎn)體；
[0031]4感磁傳感器(傳感器IC)；
[0032]5雙面基板；
[0033]9半導(dǎo)體裝置(放大器IC);
[0034]40芯片(感磁傳感器側(cè)芯片)；
[0035]41-44 感磁膜；
[0036]45元件基板；
[0037]47感磁傳感器的元件基板(芯片)與輸出端子之間的感磁傳感器側(cè)配線；
[0038]47 (+A)感磁傳感器側(cè)配線(感磁傳感器側(cè)第一配線)；
[0039]47 (-A)感磁傳感器側(cè)配線(感磁傳感器側(cè)第二配線)；
[0040]47 (+B)感磁傳感器側(cè)配線(感磁傳感器側(cè)第一配線)；
[0041]47 (-B)感磁傳感器側(cè)配線(感磁傳感器側(cè)第二配線)；
[0042]48感磁傳感器的輸出端子；
[0043]48 (+A)輸出端子(感磁傳感器的第一輸出端子)；
[0044]48 (-A)輸出端子(感磁傳感器的第二輸出端子)；
[0045]48 (+B)輸出端子(感磁傳感器的第一輸出端子)；
[0046]48 (-B)輸出端子(感磁傳感器的第二輸出端子)；
[0047]50 通孔；
[0048]50 (+A)第一通孔；
[0049]50 (-A)第二通孔；
[0050]50 (+B)第一