一種用于優(yōu)化測量系統(tǒng)的靈敏度的方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于優(yōu)化測量系統(tǒng)的靈敏度的方法。
【背景技術】
[0002]本發(fā)明的發(fā)明人在研究中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術在測量領域主要存在以下幾方面的問題，具體地分別為:
[0003]1.大多數(shù)測量設備具有很廣泛的用途，硬件配置、測量方法都很多，對于普通的使用者很難使用，由于系統(tǒng)復雜，沒有經(jīng)過優(yōu)化的系統(tǒng)測量耗時很長，影響測量速度。
[0004]2.可變?nèi)肷浣菍捁庾V偏振測量系統(tǒng)是一種比較方便的儀器，由于其有多個角度，寬波段光譜，同時樣品臺也可以旋轉，入射面方位角可調(diào)。
[0005]3.這種設備對于測量復雜樣品具有很大的優(yōu)勢。但是機臺也有其缺陷，由于是多角度、寬光譜、多入射面方位角等因素，測量樣品時，經(jīng)常需要測量不同入射角(入射面方位角、起偏器驗偏器方位角度變化)下的信息，涉及到設備的機械運動較多，測量時間較長。
[0006]4.由于硬件條件變化較大，采集得到的能量范圍較大，會產(chǎn)生能量溢出或者是能量不足。最終采集得到的數(shù)據(jù)會有大量的廢棄數(shù)據(jù)，或者是采集出來的數(shù)據(jù)對于樣品信息不敏感。對于測量結果的計算沒有幫助。
[0007]5.普通的SE系統(tǒng)為了達到能夠覆蓋盡量多的測量性能，通常會增加特殊的光學元件，如光學衰減片，光學帶通玻片，紫外截止濾光片等等。這些光學元件什么時候使用，工程師通常只是通過試用選擇等，沒有一個確定的方法。
[0008]6.有些SE設備沒有衰減片，但是同樣需要測量某些樣品(如高反射樣品)時，如果不增加一些智能方法，有可能就不能測量樣品。
[0009]以上關于【背景技術】的六點描述均表明了現(xiàn)有的測量方法要么操作起來較為復雜，不適合一般的普通人員操作；要么其靈敏度不夠，也就是說其測量結果并不一定能夠達到各種應用的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]鑒于本發(fā)明的發(fā)明人對于以上技術問題的研究，本發(fā)明的目的在于提供一種用于優(yōu)化測量系統(tǒng)的靈敏度的方法，從而以較高的性價比和可操作性來實施并且優(yōu)化測量系統(tǒng)，進而提升整個測量系統(tǒng)的靈敏度，所述方法包括以下步驟:
[0011]-對待測量的樣品進行敏感性分析以便得到第一分析結果；
[0012]-根據(jù)所述第一分析結果和所述測量系統(tǒng)的預定條件選擇經(jīng)優(yōu)化的測量方法。
[0013]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，所述測量系統(tǒng)的預定條件包括以下條件中的至少一項:
[0014]-所述測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有多個入射角；
[0015]-所述測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉入射面方位角；
[0016]-所述測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉玻片；
[0017]-所述測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉起偏器或驗偏器；
[0018]-所述測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有第一光學元件；或者
[0019]-所述測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有第二光學元件。
[0020]在此，本領域的技術人員應當理解，如果是PrSA結構，可旋轉玻片能夠通過轉動玻片對測量光束的相位進行調(diào)制，使得原來某些波長下光譜的靈敏度提高。
[0021]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，所述第一光學元件為衰減片和/或所述第二光學元件為濾光片。
[0022]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，所述經(jīng)優(yōu)化的測量方法包括第一分析步驟，所述第一分析包括:
[0023]-選擇對測量最敏感的測量條件，以便在一種狀態(tài)下測量所需的數(shù)據(jù)并且分析測量結果。
[0024]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當所述測量系統(tǒng)的預定條件為所述測量系統(tǒng)的主要控制部件具有多個入射角時，對所述待測量的樣品進行入射角敏感性分析以便選擇經(jīng)優(yōu)化的入射角并且使得樣品在經(jīng)優(yōu)化的入射角的條件下進行測量。
[0025]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當所述測量系統(tǒng)的預定條件為所述測量系統(tǒng)的主要控制部件具有可旋轉入射面方位角時，根據(jù)對入射面方位角和所述樣品的結構信息的分析選擇方位角進行測量。
[0026]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當所述測量系統(tǒng)的預定條件為只有寬光譜和單入射角而無可旋轉入射面方位角時并且在預定波段范圍下所述待測樣品的測量光譜不可取時，所述測量系統(tǒng)使用濾光片來選擇測量時所使用的波長范圍。
[0027]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當所述測量系統(tǒng)具有衰減片并且入射光的能量超過第一閾值時，根據(jù)所述第一閾值選擇第一衰減強度的衰減片。
[0028]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，所述第一衰減強度為50%或者20%。
[0029]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當在敏感性分析過程中發(fā)現(xiàn)所述第一入射光中的第一波長的光譜的能量大于第二閾值且所述第二波長的光譜不利于測量時針對所述第一波長選擇第一濾光片來濾除所述第一波長的光譜。
[0030]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，所述第一濾光片為帶通濾光片。
[0031]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當所述測量系統(tǒng)的預定條件無輔助光學元件而所述待測量的樣品的反射率超過第三閾值時，根據(jù)由所述樣品所模擬計算出的能量曲線選擇驗偏器方位角、轉動頻率、每個周期采集的能量次數(shù)以便得到橢偏參數(shù)。
[0032]依據(jù)本發(fā)明所述的方法能夠以較高的性價比和可操作性來實施并且優(yōu)化測量系統(tǒng)，進而提升整個測量系統(tǒng)的靈敏度。
【附圖說明】
[0033]通過參照附圖閱讀以下所作的對非限制性實施例的詳細描述，本發(fā)明的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯:
[0034]圖1示出了依據(jù)本發(fā)明的測量方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0035]圖1示出了依據(jù)本發(fā)明的用于優(yōu)化測量系統(tǒng)的靈敏度的方法100。從圖中可以看出，該方法包括以下兩個步驟:
[0036]首先，在方法步驟110中對待測量的樣品進行敏感性分析以便得到第一分析結果;
[0037]接下來在方法步驟120中根據(jù)第一分析結果和測量系統(tǒng)的預定條件選擇經(jīng)優(yōu)化的測量方法。
[0038]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，該測量系統(tǒng)的預定條件包括以下條件中的至少一項:
[0039]-測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有多個入射角；
[0040]-測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉入射面方位角；
[0041]-測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉玻片；
[0042]-測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉起偏器或驗偏器；
[0043]-測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有第一光學元件；或者
[0044]-測量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有第二光學元件。
[0045]在此，本領域的技術人員應當理解，如果是PrSA結構，可旋轉玻片能夠通過轉動玻片對測量光束的相位進行調(diào)制，使得原來某些波長下光譜的靈敏度提高。
[0046]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，第一光學元件為衰減片和/或第二光學元件為濾光片。
[0047]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，經(jīng)優(yōu)化的測量方法包括第一分析步驟，第一分析包括:
[0048]-選擇對測量最敏感的測量條件，以便在一種狀態(tài)下測量所需的數(shù)據(jù)并且分析測量結果。
[0049]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當測量系統(tǒng)的預定條件為測量系統(tǒng)的主要控制部件具有多個入射角時，對待測量的樣品進行入射角敏感性分析以便選擇經(jīng)優(yōu)化的入射角并且使得樣品在經(jīng)優(yōu)化的入射角的條件下進行測量。
[0050]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當測量系統(tǒng)的預定條件為測量系統(tǒng)的主要控制部件具有可旋轉入射面方位角時，根據(jù)對入射面方位角和樣品的結構信息的分析選擇方位角進行測量。
[0051]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當測量系統(tǒng)的預定條件為只有寬光譜和單入射角而無可旋轉入射面方位角時并且在預定波段范圍下待測樣品的測量光譜不可取時，測量系統(tǒng)使用濾光片來選擇測量時所使用的波長范圍。
[0052]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當測量系統(tǒng)具有衰減片并且入射光的能量超過第一閾值時，根據(jù)第一閾值選擇第一衰減強度的衰減片。
[0053]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，第一衰減強度為50%或者20%。
[0054]在依據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當在敏感性分析過程中發(fā)現(xiàn)