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      基于開關(guān)電容原位自校準(zhǔn)技術(shù)的lc振蕩器磁敏生物傳感器的制造方法_2

      文檔序號(hào):9395498閱讀:來源:國(guó)知局
      的漏端。
      [0020] 所述的用于LC振蕩器原位自校準(zhǔn)的開關(guān)電容電路具體結(jié)構(gòu)如圖2所示,由S個(gè) nMOS管Ms、M4、Ms,二個(gè)電阻R1、R2,二個(gè)電容C2、C3;各元件的連接關(guān)系為:nM0S管Ms和M4 的源端接在一起接地,nMOS管Ms和M4的柵端相連接再與nMOS管M5的柵端相連,M5的漏端 接nMOS管Ms的漏端,nMOS管Mg的源端接nMOS管M4的漏端;電阻R1的一端接nMOS管M3 的漏端,另一端接電源,電阻R2的一端接nMOS管M4的漏端,另一端接電源;電容C2的一端 接nMOS管Ms的漏端,另一端為開關(guān)電容的左端,電容C3的一端接M4的漏端,另一端為開關(guān) 電容的右端。
      [0021] 本實(shí)施例中,如圖2所示,開關(guān)電容C2、C3的值為24. 5巧,遠(yuǎn)小于3. 7pF的固定電 容。,因此開關(guān)電容的引入只會(huì)使輸出頻率發(fā)生輕微的變化,運(yùn)也保證了開關(guān)前后輸出噪 聲間的相關(guān)性,有利于校準(zhǔn)的效果。在滴加磁顆粒之前,開關(guān)電容狀態(tài)W-個(gè)固定的周期隨 時(shí)間進(jìn)行開關(guān)切換,通過頻率計(jì)數(shù)器讀取輸出頻率,計(jì)算多組開關(guān)前后的頻率差值并取平 均值。隨后,滴入經(jīng)過磁顆粒標(biāo)記的待測(cè)樣本,重復(fù)滴加磁顆粒前的操作,按照相同的周期 進(jìn)行開關(guān)切換,讀取并計(jì)算滴加磁顆粒后的頻率差值。由于滴加磁顆粒前后的頻率差值只 與開關(guān)電容和磁顆粒的引入有關(guān),因此可W通過后續(xù)的數(shù)據(jù)處理從滴加磁顆粒前后的頻率 差值中讀取出有用信號(hào)。
      [0022] 本發(fā)明提出基于片上開關(guān)電容原位自校準(zhǔn)技術(shù)的檢測(cè)原理如下:首先,通過開關(guān) 電容的狀態(tài)切換,在固定電容C。的基礎(chǔ)上人為地引入一個(gè)微小的AC電容變化,運(yùn)樣開關(guān) 前后的頻率差值fwfwt,1經(jīng)過數(shù)學(xué)近似(由于開關(guān)電容值A(chǔ)C遠(yuǎn)小于C。,近似誤差可W忽略) 可W用式(1)表示,其中L。代表固定電感值,fwf代表開關(guān)電容關(guān)斷時(shí)的輸出頻率,f。。代表 開關(guān)電容導(dǎo)通時(shí)的輸出頻率。滴加磁顆粒之后進(jìn)行同樣的操作,讀取并計(jì)算一組頻率差值 frffset,2,此時(shí)由于磁顆粒的引入fDffset,2將變化為式似的形式,其中L0+AL代表滴加磁顆 粒后變化的電感值,f'Wf代表開關(guān)電容關(guān)斷時(shí)的輸出頻率,f'。。代表開關(guān)電容導(dǎo)通時(shí)的輸 出頻率。由于滴加磁顆粒前后的頻率差值只與磁顆粒的引入有關(guān),因此我們可W通過后續(xù) 的數(shù)據(jù)處理從滴加磁顆粒前后的頻率差值中提取出由磁顆粒引入的相對(duì)頻率變化Af/f。, 從而反映出待測(cè)樣本的濃度大小,如式(3)所示。
      [0026] 其中Af為由磁顆粒引入的頻率變化,fc=fwf代表開關(guān)電容關(guān)斷時(shí)的輸出頻率, 即原始頻率。
      [0027] 在整個(gè)原位自校準(zhǔn)過程中,只要保證開關(guān)時(shí)間間隔足夠短,開關(guān)電容引入的容值 遠(yuǎn)小于固定電容,則整個(gè)過程中的數(shù)值近似都可W認(rèn)為是準(zhǔn)確的。本發(fā)明通過在LC振蕩器 中加入一個(gè)開關(guān)電容來模擬之前的差分操作,可W看到,最終的有用信號(hào)只與fwfwt有關(guān), 如果開關(guān)切換時(shí)間很短,可W近似地認(rèn)為環(huán)境中的噪聲,如電源電壓波動(dòng)、溫度波動(dòng)等,在 運(yùn)微小的時(shí)間間隔內(nèi)不足W對(duì)輸出信號(hào)產(chǎn)生影響,此時(shí)頻率差值tffwt只與引入了的微小 電容有關(guān)。通過運(yùn)種辦法,噪聲抑制不再需要額外的參考區(qū),減少了一倍的片上面積和實(shí)現(xiàn) 成本,提高了檢測(cè)靈敏度,并且在形成微陣列之后使得布局布線和編碼譯碼控制都大大簡(jiǎn) 化。
      [0028] 綜合W上分析,本發(fā)明提出的基于片上開關(guān)電容原位自校準(zhǔn)技術(shù)的磁敏生物傳感 器的實(shí)施例測(cè)試流程如下:
      [0029] a.點(diǎn)樣儀點(diǎn)樣,在忍片表面固定探針分子;
      [0030] b.未滴加磁顆粒之前,每隔0.Is切換開關(guān)電容,測(cè)得多組頻率差值取平均,進(jìn)一 步降低熱噪聲;
      [0031] C.滴加待檢測(cè)生物樣本,等待5-10分鐘,確保生物樣本和探針分子發(fā)生反應(yīng);
      [0032] d.加PBS溶液清洗忍片表面,沖洗掉非特異性結(jié)合的生物大分子;
      [0033] e.再進(jìn)行開關(guān)切換操作,測(cè)得多組數(shù)據(jù)頻率差值,求平均;
      [0034] f.重復(fù)上述步驟,串行遍歷微陣列20個(gè)檢測(cè)區(qū);
      [0035] g.將測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行后端數(shù)據(jù)處理;
      [0036] 為了驗(yàn)證本發(fā)明提出的基于片上開關(guān)電容原位自校準(zhǔn)技術(shù)的磁敏生物忍片的正 確性與實(shí)效性,采用0. 18ymCMOS工藝針對(duì)工作在1. 4GHz片上LC振蕩器生物忍片電路實(shí) 施例進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)與流片驗(yàn)證,其電路結(jié)構(gòu)如圖1,其中LC振蕩器輸出信號(hào)經(jīng)緩沖器隔 離通過混頻器下變頻到中頻信號(hào),混頻器的本振信號(hào)L0由片外信號(hào)源提供,輸出信號(hào)經(jīng)片 外頻率計(jì)數(shù)器讀數(shù)。通過本發(fā)明提出的檢測(cè)實(shí)施例流程中一些關(guān)鍵設(shè)計(jì)參數(shù)與指標(biāo)于下表 中列出:
      [0038] 其余部分的電路如電源管理模塊(LD0)、混頻器、編碼譯碼器、緩沖器和低通濾波 器等均采用標(biāo)準(zhǔn)的電路結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。
      [0039] 本發(fā)明對(duì)生物忍片的關(guān)鍵指標(biāo)如檢測(cè)靈敏度、動(dòng)態(tài)檢測(cè)范圍、噪聲抑制效果和相 位噪聲等進(jìn)行了測(cè)試分析,其測(cè)試結(jié)果的曲線分別于圖3、圖4和圖5中給出。圖3中實(shí)屯、 圓圈代表不同數(shù)量的磁顆粒產(chǎn)生的頻率變化,磁顆粒數(shù)目由光學(xué)電鏡觀察確定,虛線為經(jīng) 過原位校準(zhǔn)技術(shù)之后的等效噪底。圖4中灰色曲線代表未校準(zhǔn)前的頻率波動(dòng),黑色曲線代 表校準(zhǔn)后的頻率波動(dòng)。圖5是由頻譜儀測(cè)得的忍片相位噪聲性能。其中縱坐標(biāo)為相位噪聲, 單位為地c/化,橫坐標(biāo)為相對(duì)于載波的頻率偏移,單位為化。相位噪聲在IMHz頻率偏移處 為-123地c/Hz。
      [0040] 從測(cè)試結(jié)果來看,本發(fā)明提出的基于片上開關(guān)電容原位自校準(zhǔn)技術(shù)的磁敏生物 忍片的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了超過80地的動(dòng)態(tài)檢測(cè)范圍,在校準(zhǔn)之后頻率波動(dòng)噪底可W降低至 89細(xì)Z,驗(yàn)證了提出的噪聲抑制技術(shù)的可行性。該忍片檢測(cè)靈敏度理論上最低可W檢測(cè)到7 個(gè)直徑500nm尺寸的磁顆粒,該檢測(cè)靈敏度已經(jīng)達(dá)到lOpg/ml的標(biāo)準(zhǔn),超過了絕大部分商用 的光學(xué)或者電化學(xué)檢測(cè)儀器,而且動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)范圍也達(dá)到現(xiàn)有產(chǎn)品中最好的指標(biāo)。與此同時(shí), 應(yīng)用該方法實(shí)現(xiàn)的生物忍片尺寸和成本遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于現(xiàn)有的儀器,為小型化、便攜性的醫(yī)用檢 測(cè)設(shè)備提供了一種很有潛力的途徑。系統(tǒng)相位噪聲在IMHz頻偏處可W達(dá)到-123地c/化,保 證了較好的噪聲指標(biāo)。綜上所述,該忍片各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到了同類生物檢測(cè)設(shè)備的最高水平, 從而驗(yàn)證了本發(fā)明的正確性和實(shí)效性。
      [0041] 總之,W上所述僅為本發(fā)明在具體CMOS工藝下與具體磁敏生物傳感器的驗(yàn)證實(shí) 例而已,并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1. 一種基于片上開關(guān)電容原位自校準(zhǔn)技術(shù)的LC振蕩器磁敏生物傳感器,采用片上LC 振蕩器作為檢測(cè)模塊,利用磁顆粒引起的感值變化來檢測(cè)輸出頻率的變化,其特征在于,該 傳感器包括:CMOS片上的n個(gè)LC振蕩器傳感單元、n個(gè)用于LC振蕩器原位自校準(zhǔn)的開關(guān) 電容、電源管理模塊、緩沖器、編碼/譯碼器、混頻器、低通濾波器,以及片外頻率計(jì)數(shù)器;其 中,n個(gè)開關(guān)電容與n個(gè)LC振蕩器傳感單元組成傳感器微陣列,n為正整數(shù);每個(gè)LC振蕩 器傳感單元的輸出端接一個(gè)開關(guān)電容,電源管理模塊的輸出連接編/譯碼與檢測(cè)區(qū)使能信 號(hào)電路的輸入,并通過編/譯碼與檢測(cè)區(qū)使能信號(hào)電路的n個(gè)輸入端分別連接LC振蕩器陣 列中n個(gè)LC振蕩器單元的電源端;傳感器微陣列的輸出端接緩沖器的輸入端,緩沖器的輸 出端接混頻器的輸入端,混頻器的本振LO端接片外的外加本振信號(hào),混頻器的輸出端接低 通濾波器的輸入端,低通濾波器的輸出端接緩沖器的輸入端,緩沖器的輸出端為芯片輸出, 并接片外的頻率計(jì)數(shù)器。2. 如權(quán)利要求1所述傳感器,其特征在于,所述LC振蕩器傳感單元由兩個(gè)nMOS管、第 一電容、一個(gè)差分電感組成,開關(guān)電容和LC振蕩器傳感單元中各元器件的連接關(guān)系為:第 一 nMOS管和第二nMOS管的源端接在一起,再接電流源的一端,電流源的另一端接地;第一 nMOS管的柵端接第二nMOS管的漏端,第二nMOS管的柵端接第一 nMOS管的漏端;第一 nMOS 管的漏端接第一電容的一端并接差分電感的左端,第一電容的另一端接第二nMOS管的漏 端并接差分電感的右端,差分電感的中間端為電源端;用于LC振蕩器原位自校準(zhǔn)的開關(guān)電 容的左端接第一 nMOS管和第二nMOS管的源端接在一起,再接電流源的一端,電流源的另一 端接地;第一 nMOS管的漏端,該開關(guān)電容的右端接第一 nMOS管和第二nMOS管的源端接在 一起,再接電流源的一端,電流源的另一端接地;第二nMOS管的的漏端。3. 如權(quán)利要求1或2所述傳感器,其特征在于,所述的用于LC振蕩器原位自校準(zhǔn)的開 關(guān)電容電路由三個(gè)nMOS管,二個(gè)電阻,二個(gè)電容;各元件的連接關(guān)系為:第三nMOS管和第 四nMOS管的源端接在一起接地,第三nMOS管和第四nMOS管的柵端相連接再與第五nMOS 管的柵端相連,第五nMOS管的漏端接第三nMOS管的漏端,第五nMOS管的源端接第四nMOS 管的漏端;第一電阻的一端接第三nMOS管的漏端,第一電阻的另一端接電源,第二電阻的 一端接第四nMOS管的漏端,第二電阻的另一端接電源;第二電容的一端接第三nMOS管的漏 端,第二電容的另一端為開關(guān)電容的左端,第三電容的一端接第四nMOS管的漏端,第三電 容的另一端為開關(guān)電容的右端。
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于片上開關(guān)電容原位自校準(zhǔn)技術(shù)的LC振蕩器磁敏生物傳感器,屬于生物傳感器技術(shù)領(lǐng)域,該傳感器包括:CMOS片上的n個(gè)LC振蕩器傳感單元、n個(gè)用于LC振蕩器原位自校準(zhǔn)的開關(guān)電容、電源管理模塊、緩沖器、編碼/譯碼器、混頻器、低通濾波器,以及片外頻率計(jì)數(shù)器;其中,n個(gè)開關(guān)電容與n個(gè)LC振蕩器傳感單元組成傳感器微陣列,n為正整數(shù);每個(gè)LC振蕩器傳感單元的輸出端接一個(gè)開關(guān)電容。在實(shí)現(xiàn)良好噪聲抑制效果的基礎(chǔ)上,節(jié)省片上面積,降低了成本和復(fù)雜度,提高了檢測(cè)靈敏度。經(jīng)過流片實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,應(yīng)用該原位校準(zhǔn)技術(shù)的生物芯片各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到同類技術(shù)的最高水平。
      【IPC分類】G01N27/02
      【公開號(hào)】CN105116018
      【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510378455
      【發(fā)明人】張雷, 耿金文, 錢鶴
      【申請(qǐng)人】清華大學(xué)
      【公開日】2015年12月2日
      【申請(qǐng)日】2015年7月1日
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