柔性膜片1309上的一個或多個非壓力敏感位置處檢測沉積物沉積和/或原子摻雜中 的變化。
[0086] 在柔性膜片1309與柔性膜片1303實質(zhì)不同的情況下，或在柔性膜片1303和1309 暴露于氣體或液體的程度之間存在差異的情況下，可由壓力不敏感傳感器系統(tǒng)提供補償， 以補償這些差異。
[0087] 擋板可結(jié)合兩個膜片使用，以確保所述擋板經(jīng)歷相同水平的沉積物沉積和/或原 子摻雜。這種擋板的示例在2013年4月30日提交的、題為"適于MEMS壓力傳感器的集成擋 板（Integrated Baffle for a MEMS pressure sensor)"的美國臨時專利申請 61/817, 713 中描述，其內(nèi)容通過引用并入本文。
[0088] 除了剛剛所述的之外，壓力傳感器1301的各部件可與分別在圖1、圖6、圖9、圖11 和圖12中所示的壓力傳感器101、601、901、1101和1201的相應(yīng)部件（如上所述）相同，包 括所有上面已經(jīng)描述的變型。
[0089] 圖14是壓力傳感器1401示例的框圖，壓力傳感器1301補償為壓力傳感器一部分 的膜片狀況的變化。壓力傳感器1401可包括包括膜片的壓力傳感器系統(tǒng)1403,、壓力不敏 感傳感器系統(tǒng)1405和補償系統(tǒng)1407。壓力傳感器系統(tǒng)1403和壓力不敏感傳感器系統(tǒng)1405 可為上述的任何類型。補償系統(tǒng)1407可基于由壓力不敏感傳感器系統(tǒng)1405所提供的損壞 讀數(shù)調(diào)節(jié)由壓力傳感器系統(tǒng)1403提供的壓力讀數(shù)。補償系統(tǒng)1407可配置以基于對膜片的 不同水平的損壞與壓力敏感傳感器系統(tǒng)1403讀數(shù)中的相應(yīng)誤差之間的以實驗和/或數(shù)學(xué) 方式確定的關(guān)系來如此進(jìn)行?；谟蓧毫Σ幻舾袀鞲衅飨到y(tǒng)1405所報告的損壞量，這些所 確定的關(guān)系可轉(zhuǎn)換成由所述補償系統(tǒng)1407所施加的補償算法和/或轉(zhuǎn)換成映射由壓力傳 感器系統(tǒng)1403進(jìn)行的測量所需調(diào)節(jié)的映射表。當(dāng)壓力傳感器1401正在被使用時，補償系 統(tǒng)1407可實時地提供這種補償。
[0090] 圖15是壓力傳感器1501示例的框圖，壓力傳感器1501提供指示壓力傳感器預(yù)計 剩余壽命的信息和/或當(dāng)所述壓力傳感器的預(yù)計剩余壽命等于或超過閾值時的警告。壓 力傳感器1501可包括具有會由沉積物沉積和/或原子摻雜損壞的膜片的壓力傳感器系統(tǒng) 1503、壓力不敏感傳感器系統(tǒng)1505、壽命管理測量系統(tǒng)1507和警告系統(tǒng)1509。
[0091] 壓力傳感器系統(tǒng)1503和壓力不敏感傳感器系統(tǒng)1505可以是上述的任何類型。
[0092] 基于由所述壓力不敏感傳感器系統(tǒng)1505所提供的損壞讀數(shù)，壽命測量系統(tǒng)1507 可確定在壓力傳感器系統(tǒng)1503中使用的膜片的剩余壽命。壽命測量系統(tǒng)1507可使得膜片 壽命的結(jié)束與由壓力不敏感傳感器系統(tǒng)1503報告對膜片的損壞達(dá)到閾值水平時等同。對 膜片的實際損壞可與該閾值比較，且百分比差異可由壽命測量系統(tǒng)1507報告為膜片的剩 余壽命?？梢允褂迷趽p壞上的變化和壽命上的相應(yīng)報告的變化之間的線性或非線性關(guān)系。 這種線性或非線性關(guān)系可實驗地和/或數(shù)學(xué)地確定，并且用算法和/或映射表實施。當(dāng)壓 力傳感器1501正在被使用時，壽命測量系統(tǒng)1507可實時地提供這種補償。
[0093] 警告系統(tǒng)1509可將來自壽命測量系統(tǒng)1507的關(guān)于傳感器系統(tǒng)1501的剩余壽命 的信息與閾值比較，并且當(dāng)預(yù)計剩余壽命等于或超過該閾值時發(fā)出警告。當(dāng)壓力傳感器 1501正在被使用時，警告系統(tǒng)1509可適當(dāng)?shù)貙崟r提供這種警告。
[0094] 除非另有說明，否則已經(jīng)在本文中論述的外推處理系統(tǒng)、補償系統(tǒng)、壽命測量系統(tǒng) 和警告系統(tǒng)用計算機系統(tǒng)實施，所述計算機系統(tǒng)配置以執(zhí)行在本文中描述的用于部件的功 能。每個計算機系統(tǒng)包括一個或多個處理器、有形存儲器（例如，隨機存取存儲器（RAM)， 只讀存儲器（ROM)和/或可編程只讀存儲器（PROMS))、有形存儲設(shè)備（例如，硬盤驅(qū)動器、 CD/DVD驅(qū)動器、和/或閃存）、系統(tǒng)總線、視頻處理部件、網(wǎng)絡(luò)通信部件、輸入/輸出端口、和 /或用戶界面設(shè)備（例如，鍵盤、指針設(shè)備、顯示器、麥克風(fēng)、聲音再現(xiàn)系統(tǒng)和/或觸摸屏）。
[0095] 每個計算機系統(tǒng)可被集成到其相應(yīng)的傳感器系統(tǒng)內(nèi)，或者可與傳感器系統(tǒng)分離， 諸如臺式計算機或便攜式計算機。
[0096] 每個計算機系統(tǒng)可包括軟件（例如，一個或多個操作系統(tǒng)、設(shè)備驅(qū)動器、應(yīng)用程序 和/或通信程序）。當(dāng)軟件被包括時，軟件包括編程指令，并且可包括相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)和庫。 當(dāng)被包括時，編程指令配置成實施一種或多種算法，所述算法實施計算機系統(tǒng)的一種或多 種功能，如本文所述的那樣。對由每個計算機系統(tǒng)所執(zhí)行的每個功能的描述也構(gòu)成對執(zhí)行 該功能的算法的描述。
[0097] 軟件可被存儲在一個或多個非暫時性的、有形存儲設(shè)備上或其內(nèi)，諸如一個或多 個硬盤驅(qū)動器、CD、DVD和/或閃存。軟件可為源代碼和/或目標(biāo)代碼格式。相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù) 可被存儲在任何類型的易失性和/或非易失性的存儲器內(nèi)。軟件可被下載到非暫時性的存 儲器內(nèi)并由一個或多個處理器執(zhí)行。
[0098] 已經(jīng)被論述的部件、步驟、特征、目的、益處和優(yōu)點僅僅是示例性的。它們以及關(guān)于 它們的論述都不意旨以任何方式限制保護(hù)范圍。也可以考慮許多其它實施例。這些包括具 有更少的、附加的、和/或不同部件、步驟、特征、目的、益處和優(yōu)點的實施例。這些也包括其 中部件和/或步驟被不同地布置和/或定序的實施例。
[0099] 除非另有說明，否則在該說明書中（包括在隨后的權(quán)利要求書中）所述的所有測 量、數(shù)值、等級、位置、量級、尺寸和其它規(guī)格都是近似的，而非精確的。它們意旨具有一個合 理的范圍，該合理范圍與它們的相關(guān)功能以及它們所屬技術(shù)領(lǐng)域的慣例是一致的。
[0100] 在本公開中引用的所有文章、專利、專利申請和其它出版物都通過引入并入本文。
[0101] 當(dāng)短語"用于……的裝置"在權(quán)利要求中使用時意旨并且應(yīng)被解釋成包括所述的 相應(yīng)結(jié)構(gòu)和材料以及其等同物。類似地，當(dāng)短語"用于……的步驟"在權(quán)利要求中使用時意 旨并應(yīng)被解釋為成包括所述的相應(yīng)動作和其等同物。這些短語沒有在權(quán)利要求中出現(xiàn)意味 著權(quán)利要求不意旨并且不應(yīng)被解釋成限于這些相應(yīng)的結(jié)構(gòu)、材料、或動作或其等同物。
[0102] 保護(hù)范圍僅由現(xiàn)在隨后的各權(quán)利要求限定。當(dāng)根據(jù)本說明書與隨后的審查歷史來 解釋時，該范圍意旨并應(yīng)被解釋成寬泛至與權(quán)利要求中所用語言的普通含義相一致，除了 特定含義已被闡述之處之外，并包括所有的結(jié)構(gòu)性和功能性等同物。
[0103] 諸如"第一"和"第二"等的關(guān)系術(shù)語可以單獨使用以便將一個實體或動作與 另一個進(jìn)行區(qū)分，而不一定要求或暗示它們之間的任何實際關(guān)系或順序。術(shù)語"包括 (comprises, comprising) "及其任何其它變體當(dāng)與說明書或權(quán)利要求書中的元件列表結(jié) 合使用時意旨指示列表不是排它性的，并且其它元件可被包括在內(nèi)。同樣，前面加以"一 (a，an) "的元件不排除（不進(jìn)一步限制）相同類型的附加元件的存在。
[0104] 沒有權(quán)利要求意旨涵蓋不滿足專利法第101、102、或103章節(jié)要求的主題，并且它 們也不應(yīng)以這樣的方式來解釋。這種主題的任何非預(yù)期涵蓋因此會被放棄。除了剛剛在該 段落中所述之外，所述和所示內(nèi)容不意旨也不應(yīng)被解釋成導(dǎo)致任何部件、步驟、功能、目標(biāo)、 益處、優(yōu)點或等同物專屬于公眾，無論其是否記載在權(quán)利要求書中。
[0105] 提供摘要來幫助讀者快速地確定技術(shù)公開的本質(zhì)。摘要以將不用于解釋或限制權(quán) 利要求范圍或含義的理解來提交。此外，在先前詳細(xì)描述的各種特征會在各種實施例中組 合到一起以簡化本公開。本公開方法不應(yīng)被解釋為要求保護(hù)的實施例需要比在每項權(quán)利要 求中明確記載的更多的特征。相反，如以下權(quán)利要求所反映的那樣，發(fā)明主題在于少于單個 公開實施例的所有特征。因此，隨后的權(quán)利要求由此并入到詳細(xì)說明中，其中每項權(quán)利要求 作為單獨要求保護(hù)的主題而獨立地存在。
【主權(quán)項】
1. 用于測量氣體或液體壓力的壓力傳感器，包括： 腔室，所述腔室具有接收氣體或液體的入口； 位于腔室內(nèi)的柔性膜片，所述柔性膜片具有在氣體或