12的個(gè)人計(jì)算機(jī)1100 (便攜型個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖13的移動(dòng)電話機(jī)1200、圖14的數(shù)碼照相機(jī)1300中之外，還能夠應(yīng)用于如下的電子裝置中，例如:智能手機(jī)等移動(dòng)體終端、通信設(shè)備、噴墨式噴出裝置(例如噴墨打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、平板型個(gè)人計(jì)算機(jī)、路由器或開關(guān)等存儲區(qū)域網(wǎng)絡(luò)設(shè)備、局域網(wǎng)絡(luò)設(shè)備、移動(dòng)體終端基站用設(shè)備、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、導(dǎo)航裝置、實(shí)時(shí)時(shí)鐘裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括附帶通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、電子計(jì)算器、電子游戲設(shè)備、文字處理機(jī)、工作臺、可視電話、防盜用視頻監(jiān)控器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、P0S終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖計(jì)測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測儀、各種測量設(shè)備、計(jì)量儀器類(例如，車輛、航空器、船舶的計(jì)量儀器類)、飛行模擬器、頭戴式顯示器、運(yùn)動(dòng)軌跡、運(yùn)動(dòng)跟蹤、運(yùn)動(dòng)控制器、PDR(步行者航位推算)等電子設(shè)備。
[0121]移動(dòng)體
[0122]接下來，使用圖15來對具備本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的功能元件的移動(dòng)體進(jìn)行說明。另外，在本說明中，示出了使用作為功能元件的角速度傳感器100的示例。
[0123]圖15為概要地表示作為移動(dòng)體的一個(gè)示例的汽車1500的立體圖。
[0124]在汽車1500中搭載有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的角速度傳感器100。
[0125]如圖15所示，在作為移動(dòng)體的汽車1500上，通過內(nèi)置角速度傳感器100而對輪胎1503等進(jìn)行控制的電子控制單元1502被搭載于車身1501上。此外，角速度傳感器100除此之外還能夠廣泛地應(yīng)用于無鑰匙進(jìn)入系統(tǒng)、發(fā)動(dòng)機(jī)防盜鎖止裝置、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車空調(diào)系統(tǒng)、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、胎壓監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS:Tire Pressure MonitoringSystem)、發(fā)動(dòng)機(jī)控制器、制動(dòng)系統(tǒng)、混合動(dòng)力車輛或電動(dòng)車輛的電池監(jiān)視器、車身姿態(tài)控制系統(tǒng)等電子控制單元(ECU -Electronic Control Unit)中。
[0126]符號說明
[0127]10…第一基體；10a…玻璃基板；12…厚壁部；14…第一凹部；15…第二凹部；16…底面;20…支承體;22…連接部;24…第二彈性部;27…驅(qū)動(dòng)電極;30…第一彈性部;40...檢測可動(dòng)電極；50、50a、50b…檢測固定電極；60...質(zhì)量體；100…作為功能元件的角速度傳感器；110…第二基體;110a…硅基板;1100…個(gè)人計(jì)算機(jī);1200…移動(dòng)電話;1300…數(shù)碼照相機(jī)；1500…汽車。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種功能元件，其特征在于，具備: 第一基體； 連接部，其與所述第一基體連接； 支承體，其從所述連接部延伸； 質(zhì)量體，其與所述支承體連接； 驅(qū)動(dòng)電極，其被設(shè)置在所述第一基體的與所述質(zhì)量體對置的面一側(cè)； 檢測可動(dòng)電極，其從所述支承體延伸； 檢測固定電極，其與所述第一基體連接且與所述檢測可動(dòng)電極的至少一部分對置，所述質(zhì)量體能夠在與所述質(zhì)量體的主面交叉的方向上進(jìn)行位移，并且在將所述第一基體與所述質(zhì)量體之間的距離設(shè)為dl、將所述第一基體與所述檢測固定電極之間的距離設(shè)為d2 時(shí)，dl > d2o2.如權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述第一基體設(shè)置有厚壁部，所述連接部被設(shè)置在所述厚壁部上，在俯視觀察時(shí)，所述質(zhì)量體與所述厚壁部分離。3.如權(quán)利要求2所述的功能元件，其特征在于， 所述檢測固定電極的至少一部分被設(shè)置在所述厚壁部上。4.如權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述檢測可動(dòng)電極的厚度與所述質(zhì)量體相比而較厚。5.如權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 在所述質(zhì)量體通過向所述質(zhì)量體與所述驅(qū)動(dòng)電極之間施加的交流電壓而進(jìn)行振動(dòng)，并且向所述質(zhì)量體施加了圍繞沿著所述質(zhì)量體的主面且檢測可動(dòng)電極所延伸的方向的軸的角速度時(shí)，所述檢測可動(dòng)電極在與所述方向交叉的方向上進(jìn)行振動(dòng)。6.如權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述支承體包括與所述連接部連接的第一彈性部和與所述質(zhì)量體連接的第二彈性部，在剖視觀察時(shí)，所述第一彈性部的厚度與所述第二彈性部的厚度相比而較厚。7.一種功能元件的制造方法，其特征在于，包括: 對第二基體進(jìn)行加工而在所述第二基體上形成第二凹部的工序； 在第一基體上配置驅(qū)動(dòng)電極的工序； 將具有被設(shè)置在所述第二基體上的所述第二凹部的面與具有所述第一基體的所述驅(qū)動(dòng)電極的面接合的接合工序； 對所述第二基體進(jìn)行加工而形成連接部、支承體、質(zhì)量體、檢測可動(dòng)電極以及檢測固定電極的工序， 在形成所述連接部、所述支承體、所述質(zhì)量體、所述檢測可動(dòng)電極以及所述檢測固定電極的工序中，在所述第二凹部處形成所述質(zhì)量體。8.如權(quán)利要求7所述的功能元件的制造方法，其特征在于， 包括在所述第一基體上形成第一凹部的工序， 在配置所述驅(qū)動(dòng)電極的工序中，在所述第一凹部中形成所述驅(qū)動(dòng)電極， 在所述接合工序中，使所述第一凹部與所述第二凹部以面對面的方式接合。9.一種電子設(shè)備，其特征在于， 具備權(quán)利要求1所述的功能元件。10.一種移動(dòng)體，其特征在于， 具備權(quán)利要求1所述的功能元件。11.如權(quán)利要求2所述的功能元件，其特征在于， 所述檢測可動(dòng)電極的厚度與所述質(zhì)量體相比而較厚。12.如權(quán)利要求3所述的功能元件，其特征在于， 所述檢測可動(dòng)電極的厚度與所述質(zhì)量體相比而較厚。13.如權(quán)利要求2所述的功能元件，其特征在于， 在所述質(zhì)量體通過向所述質(zhì)量體與所述驅(qū)動(dòng)電極之間施加的交流電壓而進(jìn)行振動(dòng)，并且向所述質(zhì)量體施加了圍繞沿著所述質(zhì)量體的主面且檢測可動(dòng)電極所延伸的方向的軸的角速度時(shí)，所述檢測可動(dòng)電極在與所述方向交叉的方向上進(jìn)行振動(dòng)。14.如權(quán)利要求3所述的功能元件，其特征在于， 在所述質(zhì)量體通過向所述質(zhì)量體與所述驅(qū)動(dòng)電極之間施加的交流電壓而進(jìn)行振動(dòng)，并且向所述質(zhì)量體施加了圍繞沿著所述質(zhì)量體的主面且檢測可動(dòng)電極所延伸的方向的軸的角速度時(shí)，所述檢測可動(dòng)電極在與所述方向交叉的方向上進(jìn)行振動(dòng)。15.如權(quán)利要求4所述的功能元件，其特征在于， 在所述質(zhì)量體通過向所述質(zhì)量體與所述驅(qū)動(dòng)電極之間施加的交流電壓而進(jìn)行振動(dòng)，并且向所述質(zhì)量體施加了圍繞沿著所述質(zhì)量體的主面且檢測可動(dòng)電極所延伸的方向的軸的角速度時(shí)，所述檢測可動(dòng)電極在與所述方向交叉的方向上進(jìn)行振動(dòng)。16.如權(quán)利要求2所述的功能元件，其特征在于， 所述支承體包括與所述連接部連接的第一彈性部和與所述質(zhì)量體連接的第二彈性部，在剖視觀察時(shí)，所述第一彈性部的厚度與所述第二彈性部的厚度相比而較厚。17.如權(quán)利要求3所述的功能元件，其特征在于， 所述支承體包括與所述連接部連接的第一彈性部和與所述質(zhì)量體連接的第二彈性部，在剖視觀察時(shí)，所述第一彈性部的厚度與所述第二彈性部的厚度相比而較厚。18.如權(quán)利要求4所述的功能元件，其特征在于， 所述支承體包括與所述連接部連接的第一彈性部和與所述質(zhì)量體連接的第二彈性部，在剖視觀察時(shí)，所述第一彈性部的厚度與所述第二彈性部的厚度相比而較厚。19.如權(quán)利要求5所述的功能元件，其特征在于， 所述支承體包括與所述連接部連接的第一彈性部和與所述質(zhì)量體連接的第二彈性部，在剖視觀察時(shí)，所述第一彈性部的厚度與所述第二彈性部的厚度相比而較厚。20.如權(quán)利要求14所述的功能元件，其特征在于， 所述支承體包括與所述連接部連接的第一彈性部和與所述質(zhì)量體連接的第二彈性部，在剖視觀察時(shí)，所述第一彈性部的厚度與所述第二彈性部的厚度相比而較厚。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具有較高的檢測靈敏度的功能元件、該功能元件的制造方法、具備該功能元件的電子設(shè)備以及移動(dòng)體。功能元件(100)的特征在于，具備：第一基體(10)；連接部(22)，其與第一基體(10)連接；支承體(20)，其從連接部(22)延伸；質(zhì)量體(60)，其與支承體(20)連接；驅(qū)動(dòng)電極(27)，其被設(shè)置在第一基體(10)的與質(zhì)量體(60)對置的面一側(cè)；檢測可動(dòng)電極(40)，其從支承體(20)延伸；檢測固定電極(50)，其與第一基體(10)連接且與檢測可動(dòng)電極(40)的至少一部分的面對置，質(zhì)量體(60)能夠在與質(zhì)量體(60)的主面交叉的方向上進(jìn)行位移，在將第一基體(10)與質(zhì)量體(60)之間的距離設(shè)為d1、將第一基體(10)與檢測固定電極(50)之間的距離設(shè)為d2時(shí)，d1＞d2。
【IPC分類】G01C19/5656
【公開號】CN105277183
【申請?zhí)枴緾N201510316544
【發(fā)明人】古畑誠
【申請人】精工愛普生株式會(huì)社
【公開日】2016年1月27日
【申請日】2015年6月10日
【公告號】US20150362317