譜量測(cè)需求的情況。
[0038]以上介紹了用于波片光軸量測(cè)的設(shè)備，接下來(lái)介紹一種采用上述設(shè)備的波片光軸量測(cè)方法。
[0039]本發(fā)明提供的一種波片光軸量測(cè)方法，請(qǐng)參閱圖2，包括如下步驟:
[0040]如SI所示，提供相對(duì)設(shè)置的第一起偏件21和第二起偏件41，所述第一起偏件21和所述第二起偏件41分別放置在第一載物臺(tái)20和第二載物臺(tái)40上且穿透軸呈正交設(shè)置，所述第一起偏件21和所述第二起偏件41之間的可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)30上設(shè)有待測(cè)λ/4波片31ο
[0041]由于所述第一起偏件和所述第二起偏件的穿透軸呈正交設(shè)置。因此，當(dāng)中間沒(méi)有待測(cè)λ/4波片時(shí)，光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器量測(cè)到的光強(qiáng)最低。當(dāng)中間設(shè)有待測(cè)λ/4波片時(shí)，由于待測(cè)λ/4波片31會(huì)改變起偏件射出的線偏振光的偏振態(tài)。因此會(huì)改變光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器量測(cè)到的光強(qiáng)。且出射光偏振態(tài)由待測(cè)λ/4波片光軸方向與偏振方向的夾角決定。
[0042]然后如S2所示，提供一光源10和一光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器50，所述光源10發(fā)出的光線能依次透過(guò)所述第一起偏件21、所述待測(cè)λ /4波片31和所述第二起偏件41后到達(dá)所述光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器50。
[0043]接著如S3所示，開(kāi)啟所述光源10和所述光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器50，旋轉(zhuǎn)可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)30，帶動(dòng)所述待測(cè)λ /4波片31旋轉(zhuǎn)，所述光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器50監(jiān)測(cè)光強(qiáng)變化值，記錄相鄰兩次出現(xiàn)最小光強(qiáng)值時(shí)待測(cè)λ/4波片31的旋轉(zhuǎn)位置。
[0044]如上所述，所述第二起偏件41的出射光偏振態(tài)由待測(cè)λ/4波片31光軸方向與偏振方向的夾角決定。即λ/4波片e軸或ο軸與線偏振光偏振方向夾角Θ決定。具體改變?nèi)缦?
[0045]當(dāng)λ /4波片e軸或ο軸與偏振方向夾角Θ = 45度時(shí)，則出射光為圓偏振光。
[0046]當(dāng)λ/4波片e軸或ο軸與偏振方向夾角Θ = O度時(shí)，則出射光為線偏振光。
[0047]當(dāng)λ/4波片e軸或O軸與偏振方向夾角Θ =其他角度時(shí)，貝Ij出射光為橢圓偏振光。
[0048]因此，只要旋轉(zhuǎn)可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)30，使得光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器50檢測(cè)到光強(qiáng)最低值時(shí)，第一起偏件21的穿透軸方向就是待測(cè)λ /4波片31的e軸或ο軸的方向。記錄相鄰兩次出現(xiàn)最小光強(qiáng)值時(shí)待測(cè)λ/4波片的旋轉(zhuǎn)位置，便可以得到兩條相交的軸第一軸和第二軸(旋轉(zhuǎn)位置確定后，第一起偏件21的穿透軸在待測(cè)λ /4波片31上的投影就是e軸或ο軸的方向，即第一軸或第二軸方向)。當(dāng)出現(xiàn)相鄰兩次出現(xiàn)最小光強(qiáng)值時(shí)，其中一次與所述第一起偏件21透光軸方向相同的方向?yàn)閑軸，另一次與所述第一起偏件21透光軸方向相同的方向?yàn)棣陷S。即通過(guò)上述方法可以得到第一軸和第二軸，但還無(wú)法確認(rèn)e軸(光軸)是第一軸還是第二軸。
[0049]最后，如S4所示，在所述第一起偏件21和所述第二起偏件41之間固定一標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片，S卩，所述標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片可以放置在所述第一載物臺(tái)20上介于所述第一起偏件21和待測(cè)λ /4波片31之間，或者放置在所述第二載物臺(tái)40上，介于述第二起偏件41和待測(cè)λ/4波片31之間。將所述標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片的光軸與所述第一起偏件的穿透軸、所述標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片的光軸與和所述第二起偏件的穿透軸的夾角為銳角，即所述標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片的光軸方向不與第一起偏件(或第二起偏件)的穿透軸方向平行或垂直。旋轉(zhuǎn)所述待測(cè)λ/4波片31，使得所述第一軸和所述第二軸分別與標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片的光軸方向重合，并檢測(cè)此時(shí)亮度，對(duì)比第一軸與標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片的光軸方向重合時(shí)的亮度和所述第二軸與標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片的光軸方向重合時(shí)的亮度，亮度較亮?xí)r標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片光軸方向即為所量測(cè)的光軸?軸)方向，亮度較暗時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片光軸方向?yàn)棣陷S方向。
[0050]其原理是，當(dāng)待測(cè)λ/4波片31的光軸與標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片光軸方向一致時(shí)，入射線偏振光經(jīng)過(guò)這兩層波片后，入射線偏振光偏振方向被偏轉(zhuǎn)。(兩層標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片波片光軸一致疊加時(shí)，可以簡(jiǎn)單認(rèn)為是1/2λ波片，線偏振光經(jīng)過(guò)1/2λ波片后偏振方向會(huì)變化，此時(shí)偏振方向與第二起偏件41穿透方向非正交，光線透過(guò)，亮度變亮，為L(zhǎng)vl。
[0051]當(dāng)待測(cè)λ /4波片31的光軸與標(biāo)準(zhǔn)λ /4波片光軸方向垂直時(shí)，入射線偏振光經(jīng)過(guò)兩個(gè)光軸垂直的λ/4波片時(shí)，入射光分別變?yōu)樾蛳喾吹臋E圓偏振光，彼此之間會(huì)相互抵消。因此亮度有所下降，此時(shí)亮度為L(zhǎng)V2。并且有LV1>LV2。因此比較兩個(gè)位置，兩者之中相對(duì)較亮位置的標(biāo)準(zhǔn)λ /4波片光軸即為所量測(cè)的光軸方向。
[0052]可以理解的是，當(dāng)待測(cè)λ/4波片上設(shè)有基準(zhǔn)邊，且光軸與待測(cè)λ/4波片上的基準(zhǔn)邊的夾角為已知值。此時(shí)由于待測(cè)λ/4波片為透明的，無(wú)法確定光軸的方向，此時(shí)可以通過(guò)上述步驟S1-S3，得到相交的第一軸和第二軸，再結(jié)合待測(cè)λ/4波片的光軸與待測(cè)λ/4波片上的基準(zhǔn)邊的夾角即可確認(rèn)光軸方向，因此這種情況下可以省去標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片。
[0053]以上所述的實(shí)施方式，并不構(gòu)成對(duì)該技術(shù)方案保護(hù)范圍的限定。任何在上述實(shí)施方式的精神和原則之內(nèi)所作的修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在該技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種波片光軸量測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括光源、標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片、依光傳播方向依次層疊設(shè)置的第一載物臺(tái)、可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)、第二載物臺(tái)和光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器，所述第一載物臺(tái)上固定有第一起偏件片，所述第二載物臺(tái)上固定有第二起偏件，所述第一起偏件和所述第二起偏件相對(duì)設(shè)置，且所述第一起偏件的穿透軸和所述第二起偏件的穿透軸呈正交設(shè)置，所述可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)用于放置待測(cè)λ/4波片，所述標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片可拆卸地放置在所述第一載物臺(tái)和所述第二載物臺(tái)兩者之一上，所述標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片介于所述第一起偏件和所述第二起偏件之間。2.如權(quán)利要求1所述的波片光軸量測(cè)設(shè)備，其特征在于，還包括伺服電機(jī)，所述可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)與所述伺服電機(jī)連接，所述伺服電機(jī)控制可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)的旋轉(zhuǎn)范圍滿足光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器能夠檢測(cè)到兩次最小光強(qiáng)值。3.如權(quán)利要求2所述的波片光軸量測(cè)設(shè)備，其特征在于，伺服電機(jī)控制可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)的旋轉(zhuǎn)范圍為0-360°。4.如權(quán)利要求2所述的波片光軸量測(cè)設(shè)備，其特征在于，還包括控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)中預(yù)設(shè)所述伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)角度和轉(zhuǎn)動(dòng)頻率。5.如權(quán)利要求4所述的波片光軸量測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述控制系統(tǒng)控制所述伺服電機(jī)旋轉(zhuǎn)的時(shí)間間隔大于光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器的反應(yīng)時(shí)間。6.如權(quán)利要求1所述的波片光軸量測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述第一起偏件和所述第二起偏件為偏振片或起偏鏡。7.如權(quán)利要求1所述的波片光軸量測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器為亮度測(cè)量?jī)x或功率計(jì)。8.一種波片光軸量測(cè)方法，其特征在于，包括如下步驟: 提供相對(duì)設(shè)置的第一起偏件和第二起偏件，所述第一起偏件和所述第二起偏件的穿透軸正交，所述第一起偏件和所述第二起偏件之間放置可旋轉(zhuǎn)的待測(cè)λ/4波片； 提供光源和光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器，所述光源的光線能依次透過(guò)所述第一起偏件、所述待測(cè)λ /4波片和所述第二起偏件后到達(dá)所述光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器； 開(kāi)啟所述光源和所述光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器，旋轉(zhuǎn)所述待測(cè)λ /4波片，所述光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器監(jiān)測(cè)光強(qiáng)變化值，記錄相鄰兩次出現(xiàn)最小光強(qiáng)值時(shí)所述第一起偏件穿透軸在待測(cè)λ/4波片上的投影方向，得到第一軸和第二軸； 在所述第一起偏件和所述第二起偏件之間固定一標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片，設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片的光軸方向與所述第一起偏件的穿透軸方向的夾角為銳角，旋轉(zhuǎn)所述待測(cè)λ/4波片，記錄并比較所述第一軸和所述第二軸分別與標(biāo)準(zhǔn)λ /4波片的光軸方向重合時(shí)的光強(qiáng)值。9.如權(quán)利要求8所述的波片光軸量測(cè)方法，其特征在于，所述第一起偏件和所述第二起偏件為偏振片或起偏鏡。10.如權(quán)利要求8所述的波片光軸量測(cè)方法，其特征在于，所述光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器為亮度測(cè)量?jī)x或功率計(jì)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種波片光軸量測(cè)設(shè)備，包括光源、標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片、依光傳播方向依次層疊設(shè)置的第一載物臺(tái)、可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)、第二載物臺(tái)和光強(qiáng)測(cè)量?jī)x器，所述第一載物臺(tái)上固定有第一起偏件片，所述第二載物臺(tái)上固定有第二起偏件，所述第一起偏件和所述第二起偏件相對(duì)設(shè)置，且所述第一起偏件的穿透軸和所述第二起偏件的穿透軸呈正交設(shè)置，所述可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)用于放置待測(cè)λ/4波片，所述標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片可拆卸地放置在所述第一載物臺(tái)和所述第二載物臺(tái)兩者之一上，所述標(biāo)準(zhǔn)λ/4波片介于所述第一起偏件和所述第二起偏件之間。通過(guò)本發(fā)明的設(shè)備可以確認(rèn)待測(cè)λ/4波片的光軸。
【IPC分類】G01M11/02
【公開(kāi)號(hào)】CN105277341
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510818800
【發(fā)明人】海博
【申請(qǐng)人】深圳市華星光電技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月27日
【申請(qǐng)日】2015年11月23日