測(cè)試裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明關(guān)于一種測(cè)試裝置，特別是一種能對(duì)應(yīng)不同尺寸的載板而切換不同吸附區(qū)域的測(cè)試裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的進(jìn)步，半導(dǎo)體電路的功能也同樣日新月異，且搭載的功能越來越多樣化。傳統(tǒng)上，半導(dǎo)體電路在出廠前，往往會(huì)通過測(cè)試程序，以確定半導(dǎo)體電路中的各項(xiàng)功能均正常。
[0003]一般而言，是將具有半導(dǎo)體電路設(shè)置于測(cè)試載臺(tái)上進(jìn)行測(cè)試。詳細(xì)來說，測(cè)試載臺(tái)上配置有多個(gè)功能電路板以及多個(gè)可伸縮式連接端子(pogo pin)。其中，功能電路板是對(duì)應(yīng)于所欲測(cè)試的檢測(cè)項(xiàng)目。一般而言，測(cè)試載臺(tái)上還會(huì)設(shè)有一載板，載板上設(shè)有電性接點(diǎn)，以與半導(dǎo)體電路電性連接。也就是說，在進(jìn)行半導(dǎo)體電路的測(cè)試前，需要先將載板組裝在測(cè)試載臺(tái)上。
[0004]當(dāng)載板設(shè)置于測(cè)試載臺(tái)上時(shí)，載板會(huì)壓迫可伸縮式連接端子而與可伸縮式連接端子電性接觸，并進(jìn)而與功能電路板電性連接。如此一來，即可通過測(cè)試載臺(tái)來檢測(cè)半導(dǎo)體電路。
[0005]然而，由于可伸縮式連接端子的數(shù)目眾多(通常為數(shù)百個(gè))，因而可伸縮式連接端子具有較大的總簧力。因此，若直接將載板設(shè)置于測(cè)試載臺(tái)上，載板的重量不足以克服可伸縮式連接端子的總簧力。如此，這造成載板與可伸縮式連接端子之間電性連接的效果較差。另一方面，若是通過卡扣件來組合載板與測(cè)試載臺(tái)，將造成載板壓迫可伸縮式連接端子的力量并不平均。
[0006]為了克服上述的問題，目前發(fā)展出通過真空吸附的方式以將載板固設(shè)于測(cè)試載臺(tái)。如此一來，除了可確保載板固設(shè)于測(cè)試載臺(tái)，并且載板可確實(shí)與可伸縮式連接端子電性連接。再者，通過真空吸附的方式，載板施加于可伸縮式連接端子的力量也較為均勻。
[0007]然而，目前的測(cè)試載臺(tái)僅具有單一尺寸的真空吸附區(qū)，因而測(cè)試載臺(tái)只能針對(duì)單一尺寸的載板進(jìn)行組裝。也就是說，當(dāng)載板的尺寸改變時(shí)，就需要使用不同的測(cè)試載臺(tái)來進(jìn)行測(cè)試。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]鑒于以上的問題，本發(fā)明提供一種能對(duì)應(yīng)不同尺寸的載板而切換不同吸附區(qū)域的測(cè)試裝置，以解決先前技術(shù)中測(cè)試載臺(tái)僅能匹配單一尺寸的載板的問題。
[0009]本發(fā)明實(shí)施例提供一種測(cè)試裝置，測(cè)試裝置包含一測(cè)試載臺(tái)、一抽氣管路以及至少一制動(dòng)開關(guān)。測(cè)試載臺(tái)具有一承載面。承載面上具有至少一第一吸附區(qū)及至少一第二吸附區(qū)。抽氣管路設(shè)置于測(cè)試載臺(tái)。抽氣管路具有一負(fù)壓源連接口、一第一吸氣口以及一第二吸氣口。第一吸氣口及第二吸氣口分別連接第一吸附區(qū)及第二吸附區(qū)，且負(fù)壓源連接口常態(tài)連通于第一吸氣口。制動(dòng)開關(guān)設(shè)置于測(cè)試載臺(tái)。制動(dòng)開關(guān)具有凸出承載面的一觸發(fā)件。于觸發(fā)件未受觸發(fā)時(shí)，制動(dòng)開關(guān)封閉負(fù)壓源連接口與第二吸氣口的連通狀態(tài)。于觸發(fā)件受朝向承載面的方向的外力按壓時(shí)，制動(dòng)開關(guān)開啟負(fù)壓源連接口與第二吸氣口的連通狀態(tài)。
[0010]根據(jù)上述本發(fā)明實(shí)施例所揭露的測(cè)試裝置，由于制動(dòng)開關(guān)的觸發(fā)件可以切換負(fù)壓源連接口與第二吸氣口與之間的連通狀態(tài)。因此，當(dāng)載板的尺寸較小時(shí)，由于載板并未觸發(fā)觸發(fā)件，因而測(cè)試裝置僅單獨(dú)通過第一吸附區(qū)來吸附載板。另一方面，當(dāng)載板的尺寸較大時(shí)，由于載板觸發(fā)了觸發(fā)件，因而測(cè)試裝置可同時(shí)通過第一吸附區(qū)及第二吸附區(qū)來吸附載板。也就是說，測(cè)試裝置可依據(jù)載板的大小對(duì)應(yīng)開啟第二吸附區(qū)來吸附載板。如此一來，即解決了先前技術(shù)中測(cè)試載臺(tái)僅能匹配單一尺寸的載板的問題。
[0011]以上的關(guān)于本
【發(fā)明內(nèi)容】
的說明及以下的實(shí)施方式的說明是用以示范與解釋本發(fā)明的原理，并且提供本發(fā)明的權(quán)利要求書更進(jìn)一步的解釋。
【附圖說明】
[0012]圖1A為本發(fā)明一實(shí)施例所公開的測(cè)試裝置搭配載板的立體示意圖。
[0013]圖1B為圖1A的測(cè)試裝置的立體示意圖。
[0014]圖1C為圖1A的測(cè)試裝置的另一立體示意圖。
[0015]圖1D為圖1A的測(cè)試裝置的上視圖。
[0016]圖2A為圖1D的測(cè)試裝置于觸發(fā)件未受觸發(fā)時(shí)沿A-A剖切線的剖切示意圖。
[0017]圖2B為圖1D的測(cè)試裝置于觸發(fā)件未受觸發(fā)時(shí)沿B-B剖切線的剖切示意圖。
[0018]圖3A為具有較小尺寸的載板設(shè)置于圖1A的測(cè)試裝置的側(cè)視圖。
[0019]圖3B為具有較小尺寸的載板設(shè)置于圖1A的測(cè)試裝置的剖切示意圖。
[0020]圖4A為具有較大尺寸的載板設(shè)置于圖1A的測(cè)試裝置的側(cè)視圖。
[0021]圖4B為具有較大尺寸的載板設(shè)置于圖1A的測(cè)試裝置的剖切示意圖。
[0022]其中:
[0023]10測(cè)試裝置
[0024]11測(cè)試載臺(tái)
[0025]110承載面
[0026]111第一吸附區(qū)
[0027]1111第一密封件
[0028]1112第一吸附孔
[0029]1113第一電性接點(diǎn)
[0030]112第二吸附區(qū)
[0031]1121第二密封件
[0032]1122第二吸附孔
[0033]113第一尺寸承載區(qū)
[0034]114第二尺寸承載區(qū)
[0035]115定位孔
[0036]12抽氣管路
[0037]121負(fù)壓源連接口
[0038]122第一吸氣口
[0039]123第二吸氣口
[0040]13制動(dòng)開關(guān)
[0041]130觸發(fā)件
[0042]14止擋件
[0043]20載板
[0044]30載板
[0045]Μ中心
【具體實(shí)施方式】
[0046]以下在實(shí)施方式中詳細(xì)敘述本發(fā)明的詳細(xì)特征以及優(yōu)點(diǎn)，其內(nèi)容足以使任何熟習(xí)相關(guān)技藝者了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，且根據(jù)本說明書所揭露的內(nèi)容，任何熟習(xí)相關(guān)技藝者可輕易地理解本發(fā)明相關(guān)的目的及優(yōu)點(diǎn)。以下的實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明的觀點(diǎn)，但非以任何觀點(diǎn)限制本發(fā)明的范疇。
[0047]首先，請(qǐng)參閱圖1Α至圖1D、圖2Α至圖2Β。圖1Α為本發(fā)明一實(shí)施例所公開的測(cè)試裝置搭配載板的立體示意圖。圖1Β為圖1Α的測(cè)試裝置的立體示意圖。圖1C為圖1Α的測(cè)試裝置的另一立體示意圖。圖1D為圖1Α的測(cè)試裝置的上視圖。圖2Α為圖1D的測(cè)試裝置于觸發(fā)件未受觸發(fā)時(shí)沿Α-Α剖切線的剖切示意圖。圖2Β為圖1D的測(cè)試裝置于觸發(fā)件未受觸發(fā)時(shí)沿Β-Β剖切線的剖切示意圖。
[0048]測(cè)試裝置10包含一測(cè)試載臺(tái)11、一抽氣管路12以及至少一制動(dòng)開關(guān)13。在本實(shí)施例中，測(cè)試裝置10是透過抽氣吸附的方式，以將一載板20(load board)固設(shè)置于測(cè)試載臺(tái)11上以進(jìn)行測(cè)試。圖1A所繪示的載板20的尺寸大小僅用以舉例說明。測(cè)試裝置10如何抽氣、吸附載板20，將于稍后的段落進(jìn)行更詳細(xì)的描述。
[0049]測(cè)試載臺(tái)11具有一承載面110。承載面110可用以承載接受測(cè)試的載板。承載面110上具有至少一第一吸附區(qū)111及至少一第二吸附區(qū)112。其中，第一吸附區(qū)111及第二吸附區(qū)112是位于承載面110的不同位置，以分別對(duì)應(yīng)不同尺寸大小的載板。在本實(shí)施例中，第一吸附區(qū)111的數(shù)目為二、第二吸附區(qū)112的數(shù)目為二，然并不限于此。使用者亦可依據(jù)其需求而分別更換第一吸附區(qū)111、第二吸附區(qū)112的數(shù)目。
[0050]更詳細(xì)來說，可再將承載面110可分別定義出一第一尺寸承載區(qū)113以及一第二尺寸承載區(qū)114。第二尺寸承載區(qū)114大于且涵蓋第一尺寸承載區(qū)113。第一尺寸承載區(qū)113是對(duì)應(yīng)于具有較小尺寸的載板，而第二尺寸承載區(qū)114則是對(duì)應(yīng)于具有較大尺寸的載板。亦即，第一尺寸承載區(qū)113與第二尺寸承載區(qū)114是分別對(duì)應(yīng)具有不同尺寸大小的載板。換句話說，當(dāng)具有較小尺寸的載板設(shè)置于承載面110上時(shí)，具有較小尺寸的載板實(shí)質(zhì)上覆蓋了第一尺寸承載區(qū)113，而當(dāng)具有較大尺寸的載板設(shè)置于承載面110上時(shí)，具有較大尺寸的載板實(shí)質(zhì)上覆蓋了第二尺寸承載區(qū)114。
[0051]進(jìn)一步而言，第一吸附區(qū)111位于第一尺寸承載區(qū)113之內(nèi)，并且第二吸附區(qū)112位于第二尺寸承載區(qū)114之內(nèi)且位于第一尺寸承載區(qū)113之外。進(jìn)一步來說，在本實(shí)施例中，還可將承載面110定義出一中心M。第一吸附區(qū)111至承載面110的中心Μ的距離小于第二吸附區(qū)112至承載面110的中心Μ的距離。因此，當(dāng)具有較小尺寸之載板設(shè)置于第一尺寸承載區(qū)113時(shí)，具有較小尺寸的載板覆蓋了第一吸附區(qū)111，因而第一吸附區(qū)111可將載板吸附而固設(shè)于承載面110。也就是說，具有較小尺寸的載板僅藉由第一吸附區(qū)111即可固設(shè)于承載面110上，而不需要第二吸附區(qū)112進(jìn)行吸附。另一方面，當(dāng)具有較大尺寸的載板設(shè)置于第二尺寸承載區(qū)114時(shí)，具有較大尺寸的載板同時(shí)覆蓋了第一吸附區(qū)111及第二吸附區(qū)112，因而第一吸附區(qū)111及第二吸附區(qū)112可共同將具有較大尺寸的載板吸附而固設(shè)于承載面110。亦即，具有較大尺寸的載板是同時(shí)通過第一吸附區(qū)111及第二吸附區(qū)112而固設(shè)于承載面110上。如上所述，第一吸附區(qū)111及第二吸附區(qū)112所設(shè)置的位置可滿足不同尺寸大小的載板的需求。
[0052]須注意的是，上述“第一吸附區(qū)111至承載面110的中心Μ的距離小于第二吸附區(qū)112至承載面110的中心Μ的距離”的結(jié)構(gòu)特征并非用以限定本發(fā)明。在本發(fā)明中，只要“第一吸附區(qū)111位于第一尺寸承載區(qū)113之內(nèi)，且第二吸附區(qū)112位于第二尺寸承載區(qū)114之內(nèi)且位于第一尺寸承載區(qū)113之外”即可達(dá)到相似的效果。
[0053]在本實(shí)施例中，第一吸附區(qū)111還環(huán)繞有一第一密封件1111。第一吸附區(qū)111內(nèi)具有至少一第一吸附孔1112