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      用于紅外測試中的承載裝置的制造方法

      文檔序號:9545306閱讀:259來源:國知局
      用于紅外測試中的承載裝置的制造方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及紅外測試領(lǐng)域,具體地說,涉及一種用于紅外測試中的承載裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]現(xiàn)有技術(shù)中,紅外測試系統(tǒng)主要包括傅里葉紅外光譜儀、測試載臺、光學(xué)偏振元件、光學(xué)聚焦元件、制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及電學(xué)儀表等組成部分。紅外吸收或紅外透射測試的基本原理是紅外光源經(jīng)過邁克爾遜干涉儀產(chǎn)生干涉光并垂直入射到樣品截面,樣品吸收相應(yīng)的紅外波段,其余透過的紅外光被對應(yīng)波段的紅外探測器探測接收并轉(zhuǎn)換為電信號傳送到計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)經(jīng)過傅里葉變換得到樣品的紅外吸收光譜或紅外透射光譜。
      [0003]此外,紅外干涉光經(jīng)過樣品的傳輸光路通常很短,吸收效率不高,紅外探測器探測到的信號對比強(qiáng)度較弱,分析樣品的紅外干涉光不能獲得足夠準(zhǔn)確的樣品信息。
      [0004]量子阱紅外探測器是一種常用的紅外探測器,但是受到量子選擇定則的限制,垂直入射到量子阱結(jié)構(gòu)樣品表面的紅外光無法被吸收,需要引入一定的耦合方式。波導(dǎo)耦合是一種常用的高效光耦合方式,紅外光以預(yù)定的傾斜角入射到樣品內(nèi)部,在樣品內(nèi)部進(jìn)行多次反射以提高樣品對紅外光的吸收效率,而后利用紅外測試系統(tǒng)對量子阱結(jié)構(gòu)樣品的紅外吸收特性及紅外探測器的光電性能進(jìn)行有效地表征。為了實(shí)現(xiàn)波導(dǎo)耦合,需要將樣品的某個(gè)截面磨成45°角或者將兩個(gè)相對截面磨成平行的45°角,并使用具有45°角的斜面的承載裝置輔助測試人員進(jìn)行測試。然而,現(xiàn)有的承載裝置承載待測試的樣品,使得在待測試的樣品對紅外光的吸收與透射的測試中數(shù)據(jù)不夠準(zhǔn)確,并且多次測試不易重復(fù)。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本發(fā)明的目的在于提供一種用于紅外測試中的承載裝置,其包括:承載組件,包括用于承載待測試的樣品的斜面及遮光板,其中,所述遮光板上設(shè)置有通孔,所述待測的樣品接收來自所述通孔的光;擋光組件,鄰近于所述通孔設(shè)置,用于改變所述通孔的通光面積;偏振元件,固定設(shè)置在所述遮光板的入光側(cè),用于調(diào)節(jié)入射到所述通孔的光的偏振模式。
      [0006]進(jìn)一步地,所述承載臺還包括:固定元件,設(shè)置在所述斜面上,用于固定承載在所述斜面上的所述待測試的樣品。
      [0007]進(jìn)一步地,所述斜面上設(shè)置有第一測量標(biāo)記及與所述第一測量標(biāo)記垂直的第二測量標(biāo)記,其中,所述第一測量標(biāo)記與所述第二測量標(biāo)記用于測量所述待測試的樣品的位置坐標(biāo)。
      [0008]進(jìn)一步地,所述承載組件還包括直角三角臺,其中,所述直角三角臺具有所述斜面、在第二方向上的第二直角面以及在第一方向上的第一直角面,所述遮光板與所述第一直角面固定連接,其中,所述第一方向與所述第二方向相互垂直。
      [0009]進(jìn)一步地,所述擋光組件包括第一方向擋光片及第二方向擋光片,其中,所述第一方向擋光片用于減小所述通孔在第一方向上的通光直徑,所述第二方向擋光片用于減小所述通孔在第二方向上的通光直徑。
      [0010]進(jìn)一步地,所述承載臺還包括:固定孔,其貫穿所述直角三角臺的相對的兩個(gè)平行側(cè)面,用于與支撐架固定連接。
      [0011]進(jìn)一步地,所述偏振元件包括環(huán)形底座及與所述環(huán)形底座相對設(shè)置的環(huán)形起偏件,其中,所述環(huán)形底座包括固定桿,所述環(huán)形起偏件包括通槽,所述固定桿置于所述通槽中,其中,通過調(diào)節(jié)所述固定桿在所述通槽中的位置來調(diào)節(jié)入射到所述通孔的光的偏振模式。
      [0012]進(jìn)一步地,所述環(huán)形底座固定設(shè)置在所述遮光板的入光側(cè)面上,以環(huán)繞所述通孔,其中,所述環(huán)形底座的與所述入光側(cè)面相對的表面上設(shè)置有凹槽,所述第一方向擋光片設(shè)置在所述凹槽中。
      [0013]進(jìn)一步地,所述環(huán)形起偏件的側(cè)端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)件,其中,所述旋轉(zhuǎn)件用于旋轉(zhuǎn)所述環(huán)形起偏件,以使所述固定桿沿著所述通槽轉(zhuǎn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)入射到所述通孔的光的偏振模
      ° °
      [0014]本發(fā)明的用于紅外測試中承載裝置,可以實(shí)現(xiàn)紅外光在待測試的樣品中的波導(dǎo)傳輸,保證紅外探測器接收到的紅外光均為經(jīng)過待測試的樣品吸收后透過的紅外光,并且可保證待測試的樣品放置位置的可重復(fù)性,能夠減少其他多余背景光及光學(xué)干涉導(dǎo)致的影響,提高待測試的樣品的吸收效率,獲得高信噪比的且更準(zhǔn)確的待測試的樣品對紅外光的吸收光譜與透射光譜。此外,該承載裝置結(jié)構(gòu)簡單靈活,安裝方便,并可用來測試樣品對不同偏振方向紅外光的吸收特性。
      【附圖說明】
      [0015]通過結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述,本發(fā)明的實(shí)施例的上述和其它方面、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚,附圖中:
      [0016]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于紅外測試中的承載裝置的側(cè)視示意圖;
      [0017]圖2是圖1的左視示意圖;
      [0018]圖3是圖1的右視示意圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0019]以下,將參照附圖來詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而,可以以許多不同的形式來實(shí)施本發(fā)明,并且本發(fā)明不應(yīng)該被解釋為限制于這里闡述的具體實(shí)施例。相反,提供這些實(shí)施例是為了解釋本發(fā)明的原理及其實(shí)際應(yīng)用,從而使本領(lǐng)域的其他技術(shù)人員能夠理解本發(fā)明的各種實(shí)施例和適合于特定預(yù)期應(yīng)用的各種修改。
      [0020]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于紅外測試中的承載裝置的側(cè)視示意圖。圖2是圖1的左視意圖。圖3是圖1的右視意圖。
      [0021]參照圖1至圖3,根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于紅外測試中的承載裝置包括:直角三角臺10、遮光板20、第一方向擋光片31、第二方向擋光片32及偏振兀件40。
      [0022]直角三角臺10包括:用于承載待測試的樣品80的斜面11、在第二方向上的第二直角面12、在第一方向上的第一直角面13以及相對平行的第一平行側(cè)面14與第二平行側(cè)面15。其中,斜面11與第一直角面13的夾角優(yōu)選為45°,但本發(fā)明并不限制于此。在本實(shí)施例中,第一方向可為水平方向,第二方向可為垂直方向,但本發(fā)明并不限制于此。
      [0023]遮光板20與第二直角面12固定連接,并且遮光板20的底端與第一直角面13所在平面平齊,遮光板20的頂端高于斜面11的另一端112。這樣使得斜面11的一端111與遮光板20的底端處于同一平面(即第一直角面13所在平面),并使斜面11的另一端112抵靠在遮光板20上。
      [0024]遮光板20上具有用于通光的通孔21,其中,該通孔21位于抵靠在遮光板20上的斜面11的另一端112之上。第一方向擋光片31沿第一方向鄰近于通孔21設(shè)置,用于沿第一方向減小通孔21的通光面積。第二方向擋光片32沿第二方向鄰近于通孔21設(shè)置,用于沿第二方向減小通孔21的通光面積。這樣,通過第一方向擋光片31沿第一方向減小通孔21的通光面積及通過第二方向擋光片32沿第二方向減小通孔21的通光面積,來使得通孔21的通光面積減小,從而保證通過通孔21的光僅入射至待測試的樣品80的側(cè)面81上。換句話說,通過減小通孔21的通光面積,使得通孔21的通光面積小于待測試的樣品80的側(cè)面81的面積。此外,在本實(shí)施例中,樣品80的側(cè)面81與另一側(cè)面82,其中,另一側(cè)面82與斜面11的夾角可為45°。
      [0025]偏振元件40固定設(shè)置在遮光板20的入光側(cè)面22上,用于調(diào)節(jié)入射到通孔21的光的偏振模式。這里,偏振元件40可通過旋轉(zhuǎn)偏振角度來將入射到通孔21的光調(diào)節(jié)為垂直偏振光(即沿第二方向振動(dòng)的光)或水平偏振光(即沿第一方向振動(dòng)的光)。當(dāng)然,在本發(fā)明中,偏振元件40也可固定設(shè)置在遮光板20的入光側(cè)面22與紅外光發(fā)射器之間,同樣可以達(dá)到上述的目的。
      [0026]此外,為了便于將入射到通孔21的光調(diào)節(jié)為垂直偏振光或水平偏振光,偏振元件40包括環(huán)形底座41及環(huán)形起偏件42。環(huán)形底座41固定設(shè)置在遮光板20的入光側(cè)面22上,以環(huán)繞通孔21,并且其上設(shè)置至少兩個(gè)固定桿411。此外,環(huán)形底座41的與入光側(cè)面22相對的表面
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