放射線圖像檢測裝置及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于醫(yī)療診斷裝置或無損檢測設(shè)備等的放射線圖像檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，出現(xiàn)了以計(jì)算機(jī)X線成像（computed radiography :CR)或平板探測器 (flat panel detector :FPD)等為代表的數(shù)字方式的放射線圖像檢測裝置。這些裝置可以 直接獲得數(shù)字放射線圖像，并在陰極管或液晶面板等圖像顯示裝置中直接顯示圖像，其結(jié) 果，大幅提高了在醫(yī)院或診所等的診斷作業(yè)的便利性。
[0003] 另外，作為新的數(shù)字放射線圖像技術(shù)，開發(fā)了使用薄膜晶體管（thin - film transistor :TFT)或電荷親合元件（charge - coupled device :CCD)的平板探測器（FPD)。
[0004] 關(guān)于這些放射線圖像檢測裝置，已知具有拍攝面板的放射線圖像檢測裝置，該拍 攝面板通過貼合二維配置有薄膜晶體管（TFT)或電荷耦合元件（CCD)等受光元件的傳感器 面板（平面受光元件）和在支承體上形成有用于將放射線變換成受光元件可檢測的光的閃 爍體層的閃爍體面板而形成。
[0005] 已公開有，上述放射線圖像檢測裝置設(shè)有傳感器面板、將放射線變換成光的閃爍 體層、由熱熔性樹脂構(gòu)成的閃爍體保護(hù)部件（例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在專利文獻(xiàn)1中，將 閃爍體面板和傳感器面板夾著由熱熔性樹脂構(gòu)成的閃爍體保護(hù)層貼合。在專利文獻(xiàn)2中公 開了具有拍攝面板的放射線圖像檢測裝置，該拍攝面板通過使閃爍體面板和傳感器面板夾 著作為粘接劑層的熱熔性樹脂貼合而形成。
[0006] 在此，專利文獻(xiàn)1及2中均使用了由具有柱狀晶體構(gòu)造的CsI (Tl)構(gòu)成的材料作 為閃爍體層。這種閃爍體層一般通過氣相法形成，但在通過氣相法成膜例如430mm X 430mm 這樣較大的尺寸的閃爍體層時(shí)，在面內(nèi)必定會(huì)產(chǎn)生膜厚分布。在將具有膜厚分布的閃爍體 層與平坦的傳感器面板粘接時(shí)，由于閃爍體層的膜厚分布，兩者的距離在面內(nèi)變得不均勻， 從而產(chǎn)生圖像不均。另外，由于閃爍體層的膜厚較薄的部分與粘接層不易堅(jiān)固地貼緊，因 此，存在因沖擊而被剝離的問題。從畫質(zhì)方面考慮，優(yōu)選粘接層越薄越好，但粘接層越薄，上 述的閃爍體層的膜厚分布引起的問題就越嚴(yán)重。
[0007] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2006 - 78471號(hào)公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開2011 - 33562號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 發(fā)明要解決的課題
[0012] 本發(fā)明的課題在于，提供一種放射線圖像檢測裝置及其制造方法，其以隔著粘接 劑層的距離在面內(nèi)變得均勻的方式接合平面受光元件及閃爍體面板，抑制圖像不均產(chǎn)生或 清晰度降低。
[0013] 用于解決課題的技術(shù)方案
[0014] 本發(fā)明由以下技術(shù)方案構(gòu)成。
[0015] 本發(fā)明提供一種放射線圖像檢測裝置，依次具備：由支承體及設(shè)于該支承體上的 具有膜厚分布的閃爍體層構(gòu)成的閃爍體面板、粘接劑層、平面受光元件，其特征在于，該支 承體及該平面受光元件中的至少一方彎曲，從而使該閃爍體面板和該平面受光元件隔著該 粘接劑層在面內(nèi)以均勻的距離配置。
[0016] 優(yōu)選地，將形成閃爍體層的所述支承體的彈性模量設(shè)為El (GPa)且將所述支承體 的膜厚設(shè)為dl (mm)時(shí)的、相對(duì)于所述閃爍體層的面方向的所述閃爍體層表面的最大傾斜 角Θ滿足由下述式（1)表示的關(guān)系，
[0017] 【式1】
[0018] tan Θ XElXdl ^ 0. 1 · · · (1)
[0019] 或
[0020] 將所述平面受光元件的彈性模量設(shè)為E2 (GPa)且將所述平面受光元件的膜厚設(shè) 為d2(mm)時(shí)的、相對(duì)于所述閃爍體層的面方向的所述閃爍體層表面的最大傾斜角Θ滿足 由下述式（2)表示的關(guān)系。
[0021] 【式2】
[0022] tan Θ XE2Xd2 彡 0· 1 · · · (2)
[0023] 所述粘接劑層的膜厚優(yōu)選為1~30 μ m。
[0024] 優(yōu)選地，所述粘接劑層為含有一種或兩種以上的熱熔性樹脂的層。
[0025] 優(yōu)選地，所述粘接劑層為兩種以上的層的疊層體，該兩種以上的層由熔點(diǎn)分別不 同的熱熔性樹脂形成。
[0026] 優(yōu)選地，所述疊層體中，形成與閃爍體層接觸的層的熱熔性樹脂的熔點(diǎn)比形成與 平面受光元件接觸的層的熱熔性樹脂的熔點(diǎn)高。
[0027] 優(yōu)選地，所述粘接劑層除了包含一種或兩種以上的熱熔性樹脂之外，還包含間隔 粒子，所述間隔粒子具有與該粘接劑層的膜厚相同程度的粒徑，且具有與該熱熔性樹脂相 同程度的折射率。
[0028] 優(yōu)選地，所述閃爍體層通過蒸鍍形成，且優(yōu)選通過蒸鍍包含碘化銫和至少一種活 化劑的熒光體材料而形成。
[0029] 優(yōu)選地，構(gòu)成所述支承體或平面受光元件的基板以玻璃板或樹脂膜為主成分而構(gòu) 成，更優(yōu)選地，以樹脂膜為主成分而構(gòu)成。
[0030] 本發(fā)明提供一種放射線圖像檢測裝置的制造方法，該放射線圖像檢測裝置依次具 備由支承體及設(shè)于該支承體上的具有膜厚分布的閃爍體層構(gòu)成的閃爍體面板、粘接劑層、 平面受光元件，該放射線圖像檢測裝置的制造方法的特征在于，在50~150°C的加溫下將 該閃爍體面板與該平面受光元件接合，使隔著該粘接劑層的閃爍體面板和平面受光元件之 間的距離在面內(nèi)變得均勻。
[0031] 優(yōu)選地，所述粘接劑層為包含一種或兩種以上的熱熔性樹脂的層，該熱熔性樹脂 的熔融粘度為100~100, OOOPa · S。
[0032] 優(yōu)選地，除了 50~150°C的加溫下之外，還在10, 000~1，000, OOOPa的加壓下，將 所述閃爍體面板與該平面受光元件接合。
[0033] 發(fā)明效果
[0034] 根據(jù)本發(fā)明，在接合平面受光元件和閃爍體面板時(shí)，使平面受光元件及支承體中 的至少一方與閃爍體層上的柱狀晶體的膜厚分布一致地彎曲，由此，能夠?qū)⑵矫媸芄庠?和閃爍體面板接合成隔著粘接劑層的距離在面內(nèi)變得均勻。由此，根據(jù)本發(fā)明可以提供清 晰，抑制圖像不均產(chǎn)生的放射線圖像檢測裝置。
【附圖說明】
[0035] 圖1是表示本發(fā)明的放射線圖像檢測裝置中的、由支承體及閃爍體層構(gòu)成的閃爍 體面板、粘接劑層、平面受光元件的配置的圖；
[0036] 圖2是表示在本發(fā)明的放射線圖像檢測裝置中，通過使支承體及平面受光元件中 的至少一方彎曲，從而將閃爍體面板和平面受光元件貼緊的圖；
[0037] 圖3是表示蒸鍍裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖；
[0038] 圖4是示意地表示本發(fā)明的放射線圖像檢測裝置的結(jié)構(gòu)的剖面圖；
[0039] 圖5是表示本發(fā)明的放射線圖像檢測裝置中的薄膜晶體管及電容器的結(jié)構(gòu)的剖 面圖；
[0040] 圖6是表示本發(fā)明的放射線圖像檢測裝置的概略結(jié)構(gòu)的局部剖面立體圖。
[0041] 附圖標(biāo)記說明
[0042] 12· ··蒸鍍用基板
[0043] 13 · · ·支承體
[0044] 51 ···拍攝面板
[0045] 52 · · ·控制部
[0046] 53 · · ·存儲(chǔ)部
[0047] 54 ···電源部
[0048] 55 · · ·框體
[0049] 56 ···連接器
[0050] 57 ···操作部
[0051] 58 · · ·顯示部
[0052] 60 ···放射線檢測裝置
[0053] 61 ···蒸鍍裝置
[0054] 62 · · ·真空容器
[0055] 63 · · ·舟皿
[0056] 64A · · ·絕緣性基板
[0057] 64 ···基板支架
[0058] 65 ···旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
[0059] 65a · · ·旋轉(zhuǎn)軸
[0060] 65A · · ·絕緣膜
[0061] 65B · · ·柵極絕緣膜
[0062] 66A · · · TFT有源矩陣基板
[0063] 66 · · ·真空栗
[0064] 67 · · ·平坦化層
[0065] 68 · · ·存儲(chǔ)電容
[0066] 69 ···粘接劑層
[0067] 70 ···薄膜晶體管（TFT)
[0068] 70A ···柵電極
[0069] 70B ···有源層
[0070] 70C· ··源電極
[0071] 70D· ··漏電極
[0072] 71 ···閃爍體層
[0073] 71A · · ·非柱狀晶體區(qū)域
[0074] 71B · · ·柱狀晶體區(qū)域
[0075] 72 ···傳感器部
[0076] 72A· · ·上部電極
[0077] 72B· · ·下部電極
[0078] 72C· · ·光電轉(zhuǎn)換膜
[0079] 73 · · ·平面受光元件
[0080] 100 ···放射線圖像檢測裝置
[0081] 102 · · ·密封部
【具體實(shí)施方式】
[0082] 本發(fā)明的放射線圖像檢測裝置接合閃爍體面板和平面受光元件，使閃爍體面板和 平面受光元件隔著粘接劑層的距離在面內(nèi)變得均勻。上述放射線圖像檢測裝置的特征在 于，通過將由支承體及該支承體上的具有膜厚分布的閃爍體層構(gòu)成的閃爍體面板隔著粘接 劑層與平面受光元件接合而制造，在50~150°C的加溫下將該閃爍體面板與該平面受光元 件接合，使隔著該粘接劑層的該閃爍體層和該平面受光元件之間的距離在面內(nèi)變得均勻。 圖1及2表示上述放射線圖像檢測裝置中的閃爍體面板、平面受光元件及粘接劑層的配置， 并且表示通過支承體及平面受光元件中的至少一方彎曲，使閃爍體面板和平面受光元件貼 緊。
[0083] 優(yōu)選地，將構(gòu)成上述放射線圖像檢測裝置的支承體的彈性模量設(shè)為El (GPa)且將 上述支承體的膜厚設(shè)為dl (mm)時(shí)的、相對(duì)于上述閃爍體層的面方向的上述閃爍體層表面 的最大傾斜角Θ滿足由下述式（1)表示的關(guān)系，
[0084] 【式1】
[0085] tan Θ XElXdl ^ 0. 1 · · · (1)
[0086] 或者，
[0087] 將上述平面受光元件的彈性模量設(shè)為E2 (GPa)且將上述平面受光元件的膜厚設(shè) 為d2(mm)時(shí)的、相對(duì)于上述閃爍體層的面方向的上述閃爍體層表面的最大傾斜角Θ滿足 由下述式（2)表示的關(guān)系。
[0088] 【式2】
[0089] tan Θ XE2Xd2 彡 0· 1 · · · (2)
[0090] 在此，如圖2所示，最大傾斜角Θ是指，相對(duì)于閃爍體層的面方向，具有膜厚分布 的閃爍體層的平均