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      帶光源的芯片檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號(hào):9578261閱讀:488來源:國(guó)知局
      帶光源的芯片檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及芯片檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種帶光源的芯片檢測(cè)系統(tǒng)。
      【背景技術(shù)】
      [0002]制約我國(guó)計(jì)算機(jī)發(fā)展和普及的關(guān)鍵技術(shù)之一是芯片,芯片的發(fā)展瓶頸是制造設(shè)備和生產(chǎn)工藝。龍芯能否普及在我國(guó)計(jì)算機(jī)上的重要因素之一就是我國(guó)芯片制造業(yè)必須掌握芯片的生產(chǎn)工藝。生產(chǎn)工藝涉及的技術(shù)很多,其中芯片制造過程中的外觀檢測(cè)是重要內(nèi)容之一。目前芯片制造過程的外觀檢測(cè)系統(tǒng)基本上是美國(guó)INTEL和AMD公司的標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)。我國(guó)目前還沒有一套此類芯片外觀檢測(cè)系統(tǒng)。因此我國(guó)自行開發(fā)芯片外觀檢測(cè)系統(tǒng)是對(duì)我國(guó)芯片制造是一項(xiàng)極其重要的項(xiàng)目和工程。
      [0003]在現(xiàn)有的芯片加工過程中,生產(chǎn)好的芯片需要進(jìn)行檢測(cè)以防止有缺陷的或者有瑕疵的芯片流入市場(chǎng),而這一工序目前主要是通過人工來進(jìn)行檢測(cè)的。這種通過經(jīng)驗(yàn)來進(jìn)行檢測(cè)的方式,有以下的不足:
      [0004]第一,人工檢測(cè)一個(gè)芯片正常需要4秒時(shí)間,效率不高;
      [0005]第二,由于人工長(zhǎng)時(shí)間低頭檢測(cè)芯片,導(dǎo)致頭腦發(fā)暈,眼睛疲勞,很容易造成質(zhì)量事故;
      [0006]第三,由于人工檢測(cè)工位辛苦,眼睛疲勞,很多員工在這個(gè)工位工作時(shí)間都不是很久,使得工位員工調(diào)換頻繁,導(dǎo)致品質(zhì)不能保證。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0007]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本發(fā)明的目的在于提供一種帶光源的芯片檢測(cè)系統(tǒng),用于解決現(xiàn)有技術(shù)中通過人工檢測(cè)芯片效果較低的問題。
      [0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本發(fā)明提供以下技術(shù)方案:
      [0009]一種帶光源的芯片檢測(cè)系統(tǒng),包括:軌道,包括兩根呈平行設(shè)置的鋼軌,在兩根鋼軌正對(duì)的面上各開設(shè)有一導(dǎo)槽,所述芯片框架的兩側(cè)邊分別嵌設(shè)在兩根鋼軌的導(dǎo)槽內(nèi)來實(shí)現(xiàn)在軌道上的移動(dòng),在導(dǎo)槽內(nèi)設(shè)置有一傳送帶,通過在鋼軌上設(shè)置一電機(jī)來驅(qū)動(dòng)傳送帶循環(huán)運(yùn)動(dòng);適于在軌道上移動(dòng)的芯片框架,在芯片框架的兩側(cè)邊上分別固定連接有若干導(dǎo)輪,且該導(dǎo)輪的輪面與導(dǎo)槽內(nèi)的傳送帶接觸,該導(dǎo)輪和傳送帶由橡膠制成,且在嵌設(shè)在導(dǎo)槽內(nèi)的芯片框架兩側(cè)邊的底部還設(shè)有若干滑輪,且滑輪的輪面與導(dǎo)槽接觸,在芯片框架的端面所在的上方設(shè)置有若干供放置芯片的安裝位,在安裝位底部設(shè)置有貫穿芯片框架底部的隔柵,在芯片框架的端面所在的底部上還設(shè)有與安裝位數(shù)量相同的光源,且光源與隔柵接觸,在芯片框架的端面上還開設(shè)有若干通孔;傳感器,安裝在軌道下方,適于在芯片框架經(jīng)過是通過芯片框架上的通孔發(fā)送觸發(fā)信號(hào);像機(jī),安裝在與安裝位正對(duì)的軌道上方,通過接收傳感器發(fā)送的觸發(fā)信號(hào)來對(duì)放置在芯片框架上的芯片進(jìn)行拍照,得到芯片圖像并予以輸出;圖像檢測(cè)裝置,連接像機(jī),接收芯片對(duì)象并將其與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)芯片圖像進(jìn)行對(duì)比來檢測(cè)所接收的芯片圖像中的芯片的合格情況。
      [0010]優(yōu)選地,所述傳感器為光電傳感器,包括光電信號(hào)發(fā)射器和光電信號(hào)接收器,光電信號(hào)發(fā)射器與通孔對(duì)應(yīng)的安裝在軌道下方,光電信號(hào)接收器適于接收光電信號(hào)并向像機(jī)發(fā)送觸發(fā)信號(hào)的并與通孔對(duì)應(yīng)的安裝在軌道上方。
      [0011]優(yōu)選地,所述安裝位在芯片框架上成陣列的排列設(shè)置。
      [0012]優(yōu)選地,所述安裝位包括兩列,每列安裝位的數(shù)量為5-7個(gè)。
      [0013]優(yōu)選地,所述通孔開設(shè)在兩列安裝位之間,且安裝位的數(shù)量與每列安裝位的數(shù)量相同。
      [0014]如上所述,本發(fā)明具有以下有益效果:在實(shí)際的應(yīng)用中,可以在與安裝位正對(duì)的軌道上方設(shè)置圖像獲取裝置,來對(duì)安裝位上的芯片進(jìn)行拍照,從而獲取圖像并通過圖像處理來判斷芯片的合格檢測(cè),相比現(xiàn)有技術(shù)中采用人工的檢測(cè)的方式,效率顯得更高。
      【附圖說明】
      [0015]圖1顯示為一種帶光源的芯片載運(yùn)裝置的原理圖。
      [0016]元件標(biāo)號(hào)說明
      [0017]1鋼軌
      [0018]11導(dǎo)槽
      [0019]2芯片框架
      [0020]21安裝位
      [0021]22隔柵
      [0022]23通孔
      [0023]3導(dǎo)輪
      [0024]4滑輪
      [0025]5傳送帶
      [0026]6電機(jī)
      [0027]7光源
      [0028]8傳感器
      [0029]81光電信號(hào)發(fā)射器
      [0030]82光電信號(hào)接收器
      [0031]9像機(jī)
      [0032]10圖像檢測(cè)裝置
      【具體實(shí)施方式】
      [0033]以下由特定的具體實(shí)施例說明本發(fā)明的實(shí)施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
      [0034]請(qǐng)參閱圖1。須知,本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件,故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下,均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí),本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語,亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍,其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整,在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。
      [0035]請(qǐng)參閱圖1,為一種帶光源的芯片檢測(cè)系統(tǒng)的原理圖,如圖所示,包括:軌道,包括兩根呈平行設(shè)置的鋼軌1,在兩根鋼軌1正對(duì)的面上各開設(shè)有一導(dǎo)槽11,所述芯片框架2的兩側(cè)邊分別嵌設(shè)在兩根鋼軌1的導(dǎo)槽11內(nèi)來實(shí)現(xiàn)在軌道上的移動(dòng),在導(dǎo)槽11內(nèi)設(shè)置有一傳送帶5,通過在鋼軌1上設(shè)置一電機(jī)6來驅(qū)動(dòng)傳送帶5循環(huán)運(yùn)動(dòng);適于在軌道上移動(dòng)的芯片框架2,在芯片框架2的兩側(cè)邊上分別固定連接有若干導(dǎo)輪3,且該導(dǎo)輪3的輪面與導(dǎo)槽11內(nèi)的傳送帶5接觸,該導(dǎo)輪3和傳送帶5由橡膠制成,且在嵌設(shè)在導(dǎo)槽11內(nèi)的芯片框架2兩側(cè)邊的底部還設(shè)有若干滑輪4,且滑輪4的輪面與導(dǎo)槽11接觸,在芯片框架2的端面所在的上方設(shè)置有若干供放置芯片的安裝位21,在安裝位21底部設(shè)置有貫穿芯片框架2底部的隔柵22,在芯片框架2的端面所在的底部上還設(shè)有與安裝位21數(shù)量相同的光源7,且光源7與隔柵22接觸,在芯片框架2的端面上還開設(shè)有若干通孔23 ;傳感器8,安裝在軌道下方,適于在芯片框架2經(jīng)過是通過芯片框架2上的通孔23發(fā)送觸發(fā)信號(hào);像機(jī)9,安裝在與安裝位21正對(duì)的軌道上方,通過接收傳感器8發(fā)送的觸發(fā)信號(hào)來對(duì)放置在芯片框架2上的芯片進(jìn)行拍照,得到芯片圖像并予以輸出;圖像檢測(cè)裝置10,連接像機(jī)9,接收芯片對(duì)象并將其與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)芯片圖像進(jìn)行對(duì)比來檢測(cè)所接收的芯片圖像中的芯片的合格情況。
      [0036]通過上述方案,可以使得芯片框架2能夠在軌道上自由移動(dòng),并只需要一個(gè)電機(jī)6即可完成芯片框架2的驅(qū)動(dòng),不需要大型的傳輸材料,可以節(jié)約設(shè)備的成本,此外,芯片在運(yùn)動(dòng)過程中即可完成芯片圖像的獲取,不需要停留,并通過圖像檢測(cè)裝置10來實(shí)現(xiàn)芯片的自動(dòng)檢測(cè),效率極高。
      [0037]需要理解的是,圖像檢測(cè)裝置10也可以用來顯示該芯片圖像,通過人工檢測(cè)芯片圖像來判斷芯片的好壞。
      [0038]在具體實(shí)施中,若干安裝位21在芯片框架2上成陣列的排列設(shè)置。一般地,在芯片框架2上包括兩列安裝位21,每列安裝位21的數(shù)量為5-7個(gè)。其中,通孔23的數(shù)量與每列安裝位21的數(shù)
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