一種用于測(cè)量高度的裝置及測(cè)量顯影液噴嘴高度的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光刻技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于測(cè)量高度的裝置及測(cè)量顯影液噴嘴高度的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體光刻制程中，顯影液噴嘴相對(duì)晶圓的高度是機(jī)臺(tái)維護(hù)中一個(gè)關(guān)鍵的參數(shù)。顯影液噴嘴高度太高或太低，或水平度不達(dá)標(biāo)，不僅會(huì)影響圖形關(guān)鍵尺寸的均勻性，還會(huì)造成制程缺陷。
[0003]因?yàn)轱@影液噴嘴形狀不規(guī)則，無(wú)法用常規(guī)方式直接測(cè)量其高度。目前，測(cè)量顯影液噴嘴高度普遍使用塞規(guī)，即特定厚度的塞規(guī)是否能夠通過(guò)顯影液噴嘴與晶圓之間的間隙，來(lái)判斷顯影液噴嘴高度是否在規(guī)格之內(nèi)。然而，塞規(guī)只能確定一個(gè)高度范圍，無(wú)法精確測(cè)量，在關(guān)鍵尺寸逐漸減小的情況下，有時(shí)無(wú)法滿足工藝要求。而且，塞規(guī)本身的磨損和形變也對(duì)測(cè)量結(jié)果有影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明目的是提供一種用于測(cè)量高度的裝置及測(cè)量顯影液噴嘴高度的方法，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題。
[0005]本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下:
[0006]—種用于測(cè)量高度的裝置，包括底板，所述底板的一端垂直安裝有液壓缸，所述液壓缸的第一活塞頂部設(shè)置有連桿;所述底板的另一端垂直安裝有線性導(dǎo)軌，所述線性導(dǎo)軌上設(shè)置有可沿豎直方向移動(dòng)的滑塊;還包括與所述底板平行的量測(cè)板;所述量測(cè)板的一端固定于所述連桿上，另一端固定于所述滑塊上;所述液壓缸通過(guò)連通管與注射器連通，所述液壓缸、連通管和注射器的連通空間中充滿液壓油；所述注射器設(shè)置有用于讀取所述量測(cè)板的上表面與所述底板的下表面之間的高度差的刻度。
[0007]本發(fā)明的有益效果是:由于液壓油的體積保持不變，量測(cè)板上下移動(dòng)將帶動(dòng)注射器的活塞運(yùn)動(dòng)；將量測(cè)板處于不同位置時(shí)，量測(cè)板的上表面與底板的下表面之間的高度差的數(shù)值轉(zhuǎn)換為注射器上的刻度，從而從注射器上直接讀取;讀數(shù)方便，數(shù)據(jù)精準(zhǔn)。
[0008]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。
[0009]進(jìn)一步，所述液壓缸的內(nèi)部橫截面積大于所述注射器的內(nèi)部橫截面積。
[0010]采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，將量測(cè)板的微小移動(dòng)轉(zhuǎn)換為注射器的活塞的較大移動(dòng)，提高測(cè)量精度。
[0011]進(jìn)一步，所述刻度設(shè)置于所述注射器的第二活塞的側(cè)壁上。
[0012]采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，避免刻度由于與外界的接觸而磨損，導(dǎo)致數(shù)值不清楚。
[0013]進(jìn)一步，所述注射器的空筒的端口作為指針，用于指示所述刻度中表示所述量測(cè)板的上表面與所述底板的下表面之間的高度差的數(shù)值。
[0014]采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，直接使用空筒的端口作為指針，制作方便，且不易受損。
[0015]進(jìn)一步，所述第二活塞的側(cè)壁上設(shè)置有多個(gè)所述刻度。
[0016]采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，方便讀數(shù)，且避免因轉(zhuǎn)動(dòng)注射器而帶來(lái)誤差。
[0017]進(jìn)一步，所述連桿為L(zhǎng)型結(jié)構(gòu);所述連桿的一端與所述底板平行設(shè)置，并與所述第一活塞固定連接;所述連桿的另一端垂直向下指向所述底板，并與所述量測(cè)板的一端固定連接。
[0018]采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，當(dāng)L型結(jié)構(gòu)尺寸合理設(shè)計(jì)，量測(cè)板可無(wú)限接近底板，實(shí)現(xiàn)低高度測(cè)量。
[0019]本發(fā)明的另一技術(shù)方案如下:
[0020]一種測(cè)量顯影液噴嘴高度的方法，包括如下步驟:
[0021]步驟1，將晶元加載到顯影單元中的真空吸盤上；
[0022]步驟2，將權(quán)利要求1至6任一所述一種用于測(cè)量高度的裝置放置于所述晶元的上表面，并使所述底板的下表面緊貼于所述晶元的上表面；
[0023]步驟3，將顯影液噴嘴移動(dòng)到噴吐位置；
[0024]步驟4，推動(dòng)所述第二活塞，使所述量測(cè)板的上表面緊貼于所述顯影液噴嘴的下端，并從所述刻度讀取所述量測(cè)板的上表面與所述底板的下表面之間的高度差，所述高度差即為所述顯影液噴嘴相對(duì)所述晶元的高度。
[0025]本發(fā)明的有益效果是:量測(cè)板的上表面與底板的下表面之間的高度差，即為顯影液噴嘴相對(duì)晶元的高度，使顯影液噴嘴相對(duì)晶元高度的測(cè)量，操作方便，結(jié)果精確。
[0026]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。
[0027]進(jìn)一步，所述步驟2與步驟3之間，還包括步驟23;
[0028]所述步驟23，按壓所述第一活塞，使所述量測(cè)板下移至其可移動(dòng)范圍的最下方。
[0029]采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，避免量測(cè)板過(guò)高，在移動(dòng)顯影液噴嘴的過(guò)程中，量測(cè)板與顯影液噴嘴發(fā)生觸碰，損壞顯影液噴嘴，且影響測(cè)量準(zhǔn)確性。
【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1為本發(fā)明一種用于測(cè)量高度的裝置的裝置正視圖；
[0031 ]圖2為本發(fā)明一種用于測(cè)量高度的裝置的裝置俯視圖；
[0032]圖3為本發(fā)明一種測(cè)量顯影液噴嘴高度的方法的第一示意圖；
[0033]圖4為本發(fā)明一種測(cè)量顯影液噴嘴高度的方法的第二示意圖；
[0034]圖5為本發(fā)明一種測(cè)量顯影液噴嘴高度的方法的第三示意圖。
[0035]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:
[0036]1、底板，2、液壓缸，21、第一活塞，22、連桿，23、液壓油，3、線性導(dǎo)軌，31、滑塊，4、兩測(cè)板，5、連通管，6、注射器，61、刻度，62、第二活塞，63、空筒，631、端口，7、晶元，8、真空吸盤，9、顯影液噴嘴。
【具體實(shí)施方式】
[0037]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0038]如圖1和圖2所示，一種用于測(cè)量高度的裝置，包括底板1，所述底板1的一端垂直安裝有液壓缸2，所述液壓缸2的第一活塞21頂部設(shè)置有連桿22;所述底板1的另一端垂直安裝有線性導(dǎo)軌3，所述線性導(dǎo)軌3上設(shè)置有可沿豎直方向移動(dòng)的滑塊31;還包括與所述底板1平行的量測(cè)板4;所述量測(cè)板4的一端固定于所述連桿22上，另一端固定于所述滑塊31上;所述液壓缸2通過(guò)連通管5與注