探針裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及探針裝置，特別涉及自動(dòng)更換探針卡的探頭。
【背景技術(shù)】
[0002]作為檢查形成在作為基片的半導(dǎo)體晶片(以下簡(jiǎn)稱為“晶片”。)上的半導(dǎo)體器件例如功率器件、存儲(chǔ)器的電特性的基片檢查裝置，已知有探針裝置。
[0003]探針裝置包括:具有多個(gè)探針的圓板狀的探針卡；和載置晶片且能夠上下左右移動(dòng)的載置臺(tái)，使探針卡的各探針與半導(dǎo)體器件具有的電極墊、焊料凸點(diǎn)接觸，從各探針向電極墊、焊料凸點(diǎn)流動(dòng)檢查電流，由此檢查半導(dǎo)體器件的電特性(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]在探針裝置中，探針卡的各探針?lè)磸?fù)與電極墊等接觸，針頭發(fā)生磨損，因此需要定期地更換探針。
[0005]—直以來(lái)，各探針與探針卡內(nèi)的配線焊接，因此在更換探針時(shí)也更換探針卡，但是，探針卡配置在探針裝置的主體的內(nèi)部，因此更換并不容易，另外，探針卡價(jià)格昂貴，因此探針卡的更換需要相當(dāng)高的成本。
[0006]于是，如圖12所示提出了一種探針裝置，其設(shè)置相對(duì)于探針卡120可拆裝的探頭(探針插入件)121，向該探頭121集中配置各探針122，由此，僅更換探頭121就能夠更換針頭磨損了的各探針122(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
[0007]另外，為了使探頭121的更換工作容易，因此提出了在探針卡120設(shè)置可翻倒式夾具123，如圖13A所示，當(dāng)將探頭121向探針卡120按壓時(shí)，如圖13B所示，夾具123翻倒而保持探頭121的更換方法。
[0008]進(jìn)一步，還提出了在圓板狀的探頭140的周緣局部地設(shè)置有凸緣141 (圖14A和圖14D)，并且，在探針卡120的前端局部地設(shè)置具有凸緣142的圓筒狀的夾具143(圖14A和圖14C)，在使探頭140插嵌入夾具143后，使該探頭140相對(duì)于夾具143相對(duì)地旋轉(zhuǎn)，如圖14B和圖14E所示，使探頭140的凸緣141與夾具143的凸緣142卡合，從而保持探頭140的更換方法。
[0009]此外，由于圖13A至圖13B和圖14A至圖14E所示的探針卡120也配置在探針裝置的主體的內(nèi)部，在探針裝置的主體的內(nèi)部無(wú)法確保操作者的操作空間，因此，為了更換探頭121、140，需要使探針卡120從探針裝置脫離并再次安裝到探針裝置。
[0010]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0011]專利文獻(xiàn)
[0012]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平7-297242號(hào)公報(bào)
[0013]專利文獻(xiàn)2:日本特表2009-500633號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]發(fā)明想要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0015]但是，伴隨近年來(lái)的晶片的大口徑化，探針卡120也變大，重量存在例如超越20kg的情況，因此，探針卡120的拆裝工作變得困難，其結(jié)果是，存在無(wú)法容易地更換探頭的問(wèn)題。
[0016]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠容易地更換探頭的探針裝置。
[0017]用于解決問(wèn)題的技術(shù)方案
[0018]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種探針裝置，其包括:主體;配置在該主體的內(nèi)部的載置基片的載置臺(tái)；和配置在上述主體的內(nèi)部且與上述載置臺(tái)相對(duì)的探針卡，上述探針卡具有相對(duì)于該探針卡可拆裝且配置有多個(gè)探針的探頭，上述探針裝置包括配置在上述主體的內(nèi)部并且能夠保持上述探頭地向上述探針卡移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0019]在本發(fā)明中，優(yōu)選上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠以沿移動(dòng)方向的軸為中心軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0020]在本發(fā)明中，優(yōu)選還包括配置在上述主體的內(nèi)部的能夠收納上述探頭的收納室。
[0021]在本發(fā)明中，優(yōu)選還包括用于確認(rèn)上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的位置的攝像機(jī)，該攝像機(jī)檢測(cè)設(shè)置在上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)上的位置確認(rèn)用的標(biāo)記。
[0022]在本發(fā)明中，優(yōu)選上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有與上述探針卡相對(duì)且配置有2個(gè)上述位置確認(rèn)用的標(biāo)記的相對(duì)面，2個(gè)上述位置確認(rèn)用的標(biāo)記在該相對(duì)面上對(duì)角配置。
[0023]在本發(fā)明中，優(yōu)選上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有能夠真空吸附上述探頭的真空吸附機(jī)構(gòu)，并能夠判斷是否能夠?qū)ι鲜稣婵瘴綑C(jī)構(gòu)施加負(fù)壓。
[0024]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種探針裝置，其包括:主體;配置在該主體的內(nèi)部的載置基片的載置臺(tái)；配置在上述主體的內(nèi)部且與上述載置臺(tái)相對(duì)的探針卡；和能夠向上述探針卡移動(dòng)以更換該探針卡的探針卡更換機(jī)構(gòu)，上述探針卡具有相對(duì)于該探針卡可拆裝且配置有多個(gè)探針的探頭，上述探針卡更換機(jī)構(gòu)具有能夠保持上述探頭且能夠與該探針卡更換機(jī)構(gòu)獨(dú)立地向上述探針卡移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0025]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種探針裝置，其包括:主體;配置在該主體的內(nèi)部的載置基片的載置臺(tái)；和配置在上述主體的內(nèi)部且與上述載置臺(tái)相對(duì)的探針卡，上述探針卡具有相對(duì)于該探針卡可拆裝且配置有多個(gè)探針的探頭，上述載置臺(tái)具有能夠向上述探針卡移動(dòng)，并且相對(duì)于上述載置臺(tái)可拆裝且保持上述探頭的適配件。
[0026]在本發(fā)明中，優(yōu)選上述載置臺(tái)具有能夠經(jīng)由上述適配件來(lái)真空吸附上述探頭的真空吸附機(jī)構(gòu)，并能夠判斷是否能夠?qū)ι鲜稣婵瘴綑C(jī)構(gòu)施加負(fù)壓。
[0027]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種探針裝置，其包括:主體;配置在該主體的內(nèi)部的載置基片的載置臺(tái)；和配置在上述主體的內(nèi)部且與上述載置臺(tái)相對(duì)的探針卡，上述探針卡具有相對(duì)于該探針卡可拆裝且配置有多個(gè)探針的探頭，上述探針裝置還包括對(duì)安裝到上述探針卡的探頭的各探針的針頭進(jìn)行研磨的針頭研磨機(jī)構(gòu)，上述針頭研磨機(jī)構(gòu)具有能夠向上述探針卡移動(dòng)，并且相對(duì)于上述針頭研磨機(jī)構(gòu)可拆裝且保持上述探頭的適配件。
[0028]在本發(fā)明中，優(yōu)選上述載置臺(tái)具有能夠經(jīng)由上述適配件來(lái)真空吸附上述探頭的真空吸附機(jī)構(gòu)，并能夠判斷是否能夠?qū)ι鲜稣婵瘴綑C(jī)構(gòu)施加負(fù)壓。
[0029]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種探針裝置，其包括探針卡，上述探針卡具有相對(duì)于該探針卡可拆裝且配置有多個(gè)探針的探頭，上述探針裝置包括能夠保持上述探頭地向上述探針卡移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0030]發(fā)明的效果
[0031]根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)榘ㄅ渲迷谥黧w的內(nèi)部并且能夠保持探頭地向探針卡移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所以能夠利用該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使探頭向探針卡移動(dòng)，從而無(wú)需操作者的手操作且無(wú)需使探針卡從主體脫離就能夠更換探頭。其結(jié)果，能夠容易更換探頭。
[0032]根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)樘结樋ǜ鼡Q機(jī)構(gòu)具有能夠保持探頭且能夠獨(dú)立于該探針卡更換機(jī)構(gòu)地向探針卡移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所以能夠利用該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使探頭向探針卡移動(dòng)，從而無(wú)需操作者的手操作且無(wú)需使探針卡從主體脫離就能夠更換探頭。其結(jié)果，能夠容易更換探頭。
[0033]根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)槟軌蛳蛱结樋ㄒ苿?dòng)的載置臺(tái)具有保持探頭的適配件，所以能夠利用載置臺(tái)使保持于適配件的探頭向探針卡移動(dòng)，從而無(wú)需操作者的手操作且無(wú)需使探針卡從主體脫離就能夠更換探頭。其結(jié)果，能夠容易更換探頭。
[0034]根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)槟軌蛳蛱结樋ㄒ苿?dòng)的針頭研磨機(jī)構(gòu)具有保持探頭的適配件，所以能夠利用針頭研磨機(jī)構(gòu)使保持于適配件的探頭向探針卡移動(dòng)，從而無(wú)需操作者的手操作且無(wú)需使探針卡從主體脫離就能夠更換探頭。其結(jié)果，能夠容易更換探頭。
【附圖說(shuō)明】
[0035]圖1是示意地表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的探針裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0036]圖2是示意地表示圖1的探針裝置的主體內(nèi)部中的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0037]圖3A至圖3B是表示圖1的探針裝置中的探頭向探針卡的安裝方法的工序圖。
[0038]圖4A至圖4B是表示圖1的探針裝置中的探頭向探針卡的另一安裝方法的工序圖。
[0039]圖5是表示圖2中的探針卡保持件的變形例的結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0040]圖6是表示圖2中的位置確認(rèn)用標(biāo)記的配置的變形例的圖。
[0041]圖7是示意地表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的探針裝置的主體內(nèi)部中的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0042]圖8A至圖SC是表示圖7的探針裝置中的探頭向探針卡的安裝方法的工序圖。
[0043]圖9是示意地表示本實(shí)施方式的探針裝置的主體內(nèi)部中的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0044]圖1O是示意地表示本實(shí)施方式的探針裝置的變形例的主體內(nèi)部中的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0045]圖1lA至圖1lB是表示圖9和圖1