一種正交性測試方法和裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體行業(yè)光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種正交性測試方法和裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻技術(shù)是指在基底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖，這種基地可以包括用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(液晶顯示器等)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等的芯片。
[0003]在光刻技術(shù)中，極地紡織在精密移動平臺的基地平臺上，通過處于光刻設(shè)備內(nèi)的曝光裝置，在特征構(gòu)圖投射到基底表面的指定位置。為保證圖形投射位置的精確定位，需要標(biāo)定一些列參數(shù)，其中移動平臺的正交性標(biāo)定尤其重要。
[0004]對于直寫式光刻機(jī)，為了確定由此而導(dǎo)致的實(shí)際曝光位置與正確曝光位置的偏差參數(shù)，需要精確標(biāo)定作精密移動平臺X軸和Y軸的正交性?，F(xiàn)有技術(shù)中多是通過相機(jī)實(shí)時采集圖片，配合人工智能識別技術(shù)來實(shí)現(xiàn)精密移動平臺正交性的標(biāo)定，此時平臺所反饋的位置坐標(biāo)讀書即為定位標(biāo)記的位置坐標(biāo)?，F(xiàn)有的測量方法計(jì)算較為繁瑣，且不能同時測量出多組數(shù)據(jù)，增加了額外計(jì)算的步驟，因此計(jì)算時間較長。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供正交性測試方法和裝置，以改善上述的問題。
[0006]第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供的一種正交性測試方法，應(yīng)用于正交性測試裝置，所述正交性測試裝置包括標(biāo)定單元、圖像采集單元和處理單元，所述標(biāo)定單元固定安裝在所測量的二維可移動平臺上，所述圖像采集單元與所述處理單元電連接，所述標(biāo)定單元包括均勻排列的標(biāo)定圖形，所述方法包括:
[0007]所述二維可移動平臺分別移動所述標(biāo)定單元的第一標(biāo)定圖形、第二標(biāo)定圖形和第三標(biāo)定圖形至所述圖像采集單元的圖像采集區(qū)域中的預(yù)定位置，所述第一標(biāo)定圖形、所述第二標(biāo)定圖形和所述第三標(biāo)定圖形圍成標(biāo)定角；
[0008]所述處理單元分別獲取所述第一標(biāo)定圖形在所述預(yù)定位置時所述二維可移動平臺的第一測量位置坐標(biāo)、所述第二標(biāo)定圖形在所述預(yù)定位置時所述二維可移動平臺的第二測量位置坐標(biāo)和所述第三標(biāo)定圖形在所述預(yù)定位置時所述二維可移動平臺的第三測量位置坐標(biāo)，所述第一測量位置坐標(biāo)、所述第二測量位置坐標(biāo)和所述第三測量位置坐標(biāo)圍成移動角；
[0009]所述處理單元根據(jù)所述標(biāo)定角和所述移動角得出所述二維可移動平臺的正交性角度。
[0010]結(jié)合第一方面，本發(fā)明還提供了第一方面的第一種可能實(shí)施方式，其中，所述第一標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第m行、第η列，所述第二標(biāo)定單元位于所述標(biāo)定單元的第m行，所述第三標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第η列，所述第一標(biāo)定圖形、所述第二標(biāo)定圖形和所述第三標(biāo)定單元圍成的所述標(biāo)定角為直角。
[0011]結(jié)合第一方面的第一種可能實(shí)施方式，本發(fā)明實(shí)施例還提供了第一方面的第二種可能實(shí)施方式，其中，所述第一標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第I行、第I列，所述第二標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第m行、第I列的，所述第三標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第m行、第η列，所述方法具體包括:
[0012]所述二維可移動平臺移動所述標(biāo)定單元的所述第一標(biāo)定圖形至所述圖像采集單元的圖像采集區(qū)域；
[0013]所述處理單元采集所述二維可移動平臺的所述第一測量位置坐標(biāo)Al I (XII，Yl I);
[0014]所述二維可移動平臺移動所述標(biāo)定單元的所述第二標(biāo)定圖形至所述圖像采集單元的圖像采集區(qū)域；
[0015]所述處理單元采集所述述二維可移動平臺的所述第二測量位置坐標(biāo)Amn(Xmn，Ymn)；
[0016]所述二維可移動平臺移動所述第三標(biāo)定圖形至圖像采集單元的所述圖像采集區(qū)域；
[0017]所述處理單元采集所述二維可移動平臺的所述第三測量位置坐標(biāo)Aml(Xml，Yml);
[0018]所述處理單元根據(jù)所述二維可移動平臺的所述第一測量位置坐標(biāo)Al I (XII，Yl I)、所述第二測量位置坐標(biāo)Amn (Xmn，Ymn)和所述第三測量位置坐標(biāo)Aml (Xml1Yml)和移動角的計(jì)算公式 cos Θ= {[ (Xll-Xml) '2+(Yl 1-Yml) '2] + [ (Xml-Xmn) '2+(Yml-Ymn) '2]-[ (XI 1-Xmn)~2+(Yll-Ymn)'2]}/{2*sqrt[(Xll-Xml)'2+(Yll-Yml)'2]*sqrt[(Xml-Xmn)'2+(Yml-Ymn)~2]}，根據(jù)所述移動角得出所述二維可移動平臺的正交性角度。
[0019]結(jié)合第一方面的第二種可能實(shí)施方式，本發(fā)明實(shí)施例還提供了第一方面的第三種可能實(shí)施方式，其中，所述標(biāo)定單元的所述標(biāo)定圖形按等間距d排列，所述方法還包括:
[0020]所述處理單元根據(jù)所述第一測量位置坐標(biāo)AllUl，Y1)和所述第二測量位置坐標(biāo)為Amn(Xm, Yn)計(jì)算出橫軸漲縮值Sx = sqrt[ (Xll-Xml) ~2+(Yl1-Yml) ~2]/[ (n_l)*d]。
[0021]結(jié)合第一方面的第三種可能實(shí)施方式，本發(fā)明實(shí)施例還提供了第一方面的第四種可能實(shí)施方式，其中，所述標(biāo)定單元的所述標(biāo)定圖形按等間距d排列，所述方法還包括:所述處理單元根據(jù)所述第一測量位置坐標(biāo)Al I (XI，Yl)和所述第二測量位置坐標(biāo)為Amn (Xm, Yn)計(jì)算出橫軸漲縮值Sy = sqrt[(Xl1-Xml )~2+(Yl1-Yml )~2]/[(m-l)*d]。
[0022]第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種正交性測試裝置，其中，所述裝置包括標(biāo)定單元、圖像采集單元和處理單元，所述標(biāo)定單元固定安裝在所測量的二維可移動平臺上，所述圖像采集單元與所述處理單元電連接，所述標(biāo)定單元包括均勾排列的標(biāo)定圖形；
[0023]所述二維可移動平臺用于分別移動所述標(biāo)定單元的第一標(biāo)定圖形、第二標(biāo)定圖形和第三標(biāo)定圖形至所述圖像采集單元的圖像采集區(qū)域中的預(yù)定位置，所述第一標(biāo)定圖形、所述第二標(biāo)定圖形和所述第三標(biāo)定圖形圍成標(biāo)定角；
[0024]所述處理單元用于分別獲取所述第一標(biāo)定圖形在所述預(yù)定位置時所述二維可移動平臺的第一測量位置坐標(biāo)、所述第二標(biāo)定圖形在所述預(yù)定位置時所述二維可移動平臺的第二測量位置坐標(biāo)和所述第三標(biāo)定圖形在所述預(yù)定位置時所述二維可移動平臺的第三測量位置坐標(biāo)，所述第一測量位置坐標(biāo)、所述第二測量位置坐標(biāo)和所述第三測量位置坐標(biāo)圍成移動角；
[0025]所述處理單元還用于根據(jù)所述標(biāo)定角和所述移動角得出所述二維可移動平臺的正交性角度。
[0026]結(jié)合第二方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了第一方面的第一種可能實(shí)施方式，其中，所述二維可移動平臺分別移動所述標(biāo)定單元的所述第一標(biāo)定圖形、所述第二標(biāo)定圖形和所述第三標(biāo)定圖形至所述圖像采集單元的圖像采集區(qū)域，所述第一標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第m行、第η列，所述第二標(biāo)定單元位于所述標(biāo)定單元的第m行，所述第三標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第η列，所述第一標(biāo)定圖形、所述第二標(biāo)定圖形和所述第三標(biāo)定單元圍成的所述標(biāo)定角為直角。
[0027]結(jié)合第二方面的第一種可能實(shí)施方式，本發(fā)明實(shí)施例還提供了第二方面的第二種可能實(shí)施方式，其中，所述第一標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第I行、第I列，所述第二標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第m行、第I列的，所述第三標(biāo)定圖形位于所述標(biāo)定單元的第m行、第η列；
[0028]所述二維可移動平臺具體用于移動所述標(biāo)定單元的所述第一標(biāo)定圖形至所述圖像采集單元的圖像采集區(qū)域；
[0029]所述處理單元用于采集所述二維可移動平臺的所述第一測量位置坐標(biāo)Α11(Χ11，Yll);
[0030]所述二維可移動平臺用于移動所述標(biāo)定單元的所述第二標(biāo)定圖形至所述圖像采集單元的圖像采集區(qū)域；
[0031]所述處理單元采集用于所述述二維可移動平臺的所述第二測量位置坐標(biāo)Amn(Xmn1Ymn)；
[0032]所述二維可移動平臺用于移動所述第三標(biāo)定圖形至圖像采集單元的所述圖像采集區(qū)域；
[0033]所述處理單元采集用于所述二維可移動平臺的所述第三測量位置坐標(biāo)AmlUml，Yml)；
[0034]所述處理單元用于根據(jù)所述二維可移動平臺的所述第一測量位置坐標(biāo)Α11(Χ11，Yl I)、所述第二測量位置坐標(biāo)Amn(Xmn，Ymn)和所述第三測量位置坐標(biāo)Aml (Xml, Yml)和移動角的計(jì)算公式cosΘ= {[ (Xll-Xm