說明光譜裝置內(nèi)部的結(jié)構(gòu)與光束分光的情形；
[0016]圖3為本發(fā)明第二較佳實施例的剖面圖，用以說明維距遮蔽裝置、光譜裝置與觀測裝置間的結(jié)構(gòu)關(guān)系；
[0017]圖4為本發(fā)明第二較佳實施例特定區(qū)域的俯視圖，用以說明特定區(qū)域與位于特定區(qū)域內(nèi)的目標(biāo)范圍的情形；
[0018]圖5為本發(fā)明第三較佳實施例的側(cè)視圖，用以說明釋例為觀察架的維距遮蔽裝置的結(jié)構(gòu)；
[0019]圖6為本發(fā)明第三較佳實施例的示意圖，用以說明加裝四個光譜儀本體以擴(kuò)大擷取范圍的情形。
[0020]符號說明
[0021]光譜裝置 1、1’ 光譜儀本體 11、11’、11”
[0022]入光通道 110、110’光學(xué)鏡片 111
[0023]凹面鏡112光柵113
[0024]聚焦鏡114光感裝置 115
[0025]范圍標(biāo)定單元13、13’ 晶圓8
[0026]激發(fā)光源裝置2’維距遮蔽裝置3’、3”
[0027]遮罩31”培養(yǎng)皿90”
[0028]基座32”觀測裝置 5’、5”
[0029]光學(xué)鏡頭51’顯示處理裝置7
[0030]特定區(qū)域 9’、9” 目標(biāo)范圍 91、91’、91”
【具體實施方式】
[0031]下文將搭配說明書附圖的較佳實施例進(jìn)行詳細(xì)說明，使有關(guān)本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點與功效得以清楚呈現(xiàn)；此外，在各實施例中，相同的元件或步驟將以相似的標(biāo)號表7K。
[0032]請參考圖1，本發(fā)明第一較佳實施例具范圍標(biāo)定單元的光譜裝置對一受污染的晶圓進(jìn)行光學(xué)鑒定，晶圓8受污染的區(qū)域則為鑒定辨識的目標(biāo)范圍91，在本例中，是將相機(jī)設(shè)定拍攝一個預(yù)定焦距處的影像，將一個金屬材質(zhì)的遮罩固定在相機(jī)鏡頭處，再把一個本發(fā)明所述的光譜儀設(shè)置在金屬遮罩上，并且對準(zhǔn)相機(jī)的焦距位置。操作者先將釋例為金屬遮罩的維距遮蔽裝置(圖未示)概括晶圓8及其周邊，以阻光遮蔽包括晶圓8受污染區(qū)域在內(nèi)的一特定區(qū)域9(圖未示)。架設(shè)于維距遮蔽裝置(圖未示)上的光譜裝置I通過光譜儀本體11正對晶圓8受污染的一面，并使光譜儀本體11的入光通道正對目標(biāo)范圍91。光譜裝置I還包括一組對應(yīng)、并與光譜儀本體11維持固定空間關(guān)系設(shè)置的范圍標(biāo)定單元13，范圍標(biāo)定單元13的目的是利用如激光元件等光投射元件，在晶圓8上投射光束以達(dá)到發(fā)光標(biāo)定目標(biāo)范圍91的效果。其中，本發(fā)明所謂「固定空間關(guān)系設(shè)置」是指對應(yīng)光譜儀本體11的入光通道的擷取范圍、角度與范圍標(biāo)定單元13保持協(xié)同作業(yè)的設(shè)置關(guān)系。
[0033]舉例而言，本例中光譜儀本體11的入光通道為線條狀入光的態(tài)樣，范圍標(biāo)定單元13便可打出兩束激光光束，分別標(biāo)定目標(biāo)范圍91中對應(yīng)入光通道的線型擷取范圍的首尾兩點。光束于光譜儀本體11內(nèi)部的行經(jīng)路線請一并參考圖2所示，一旦操作者點擊釋例為平板電腦的顯示處理裝置7，讓平板電腦以通訊裝置發(fā)出擷取影像指令，則來自目標(biāo)范圍91的光束經(jīng)由一光學(xué)鏡片111集光，光束集中穿經(jīng)入光通道110后由凹面鏡112將入射的光束反射至光柵113或經(jīng)由三棱鏡等光調(diào)制器，依照不同波長進(jìn)行分光照射至聚焦鏡114，由聚焦鏡114將不同波長的光束分別集中，投射到光感裝置115，以分別感測各波長光的強(qiáng)度比例；同時，通過同設(shè)于維距遮蔽裝置(圖未示)上的觀測裝置5(如相機(jī))對同一目標(biāo)范圍91同步拍照。最后由光譜裝置I與觀測裝置5分別將目標(biāo)范圍的影像光譜資料、與同步拍攝的影像資訊傳輸給電訊連接的顯示處理裝置7，由于觀測裝置5所拍攝的影像，不僅包括半導(dǎo)體晶圓上的污染處，還包括標(biāo)記光譜資料目標(biāo)范圍兩端的激光光點，故可經(jīng)由顯示處理裝置7進(jìn)行關(guān)聯(lián)或進(jìn)一步分析比對。
[0034]其中，本例的范圍標(biāo)定單元是設(shè)置在光譜儀本體之上，而光譜裝置與觀測裝置又分別設(shè)置于維距遮蔽裝置上，一來讓光譜裝置與觀測裝置與目標(biāo)范圍保持固定觀測距離，同時使觀察者可通過觀測裝置從目標(biāo)范圍上看見光譜儀本體的擷取范圍，并依照范圍標(biāo)定單元的投射位置來校準(zhǔn)光譜裝置的角度與距離。如此一來，可確保擷取范圍完全落入目標(biāo)范圍內(nèi)，亦即光譜儀本體所擷取的影像光譜資料可完整對應(yīng)至目標(biāo)范圍，降低錯位的機(jī)率；避免過往憑借感覺與經(jīng)驗在模擬擷取范圍的尷尬。需再次強(qiáng)調(diào)的是，光譜儀本體與范圍標(biāo)定單元的固定空間關(guān)系設(shè)置是著重于將光譜儀本體的擷取范圍具體投射這一效果關(guān)系，前述的結(jié)構(gòu)連結(jié)關(guān)系只是方便說明，兩者的具體結(jié)構(gòu)連結(jié)并非本發(fā)明的限制。
[0035]本發(fā)明第二較佳實施例的具獨立光譜裝置及觀測裝置的攝像系統(tǒng)是將前述的光譜裝置結(jié)合相關(guān)組件而成，請一并參考圖3、4，本例假設(shè)本發(fā)明系統(tǒng)是應(yīng)用在刑事現(xiàn)場，用以鑒定地板上被擦拭的血跡，前述血跡便是本例待鑒定的目標(biāo)范圍91’，而包括血跡(目標(biāo)范圍91’)的周邊地板區(qū)域則釋例為特定區(qū)域9’。觀察者將一個釋例為相機(jī)加裝鏡筒的維距遮蔽裝置3’放置于地板上、以便將指定的特定區(qū)域9’阻光遮蔽。本例的光譜裝置I’是架設(shè)在維距遮蔽裝置3’上，由于光譜裝置I’與地板間隔有維距遮蔽裝置3’，使光譜儀本體11’能與目標(biāo)范圍91’保持一個固定的操作距離。
[0036]除此之外，在本例中釋例為攝影機(jī)的觀測裝置5’也設(shè)置于維距遮蔽裝置3’上，同樣通過維距遮蔽裝置3’與目標(biāo)范圍91’保持固定觀測距離，且在攝影機(jī)上設(shè)置有一組對應(yīng)光學(xué)鏡頭51’并釋例為一組抽換式發(fā)光二極管的激發(fā)光源裝置2’，所謂抽換式發(fā)光二極管是為因應(yīng)不同的使用需求提供彈性調(diào)整的空間，例如供觀測裝置5’拍攝照片時換上肉眼可見光的發(fā)光二極管，用光譜儀本體11’針對血跡拍攝時則更換成870nm的發(fā)光二極管。在本例中，光譜儀本體11’供擷取影像的入光通道110’為孔型，而范圍標(biāo)定單元13’是以激光光束通過釋例為全相片(Hologram)等繞射元件的光調(diào)制器在目標(biāo)范圍91’上發(fā)光標(biāo)定出一個方框狀的擷取范圍。
[0037]實際操作時，由于血跡中的鐵質(zhì)會吸收870nm波長的光能，利用此一特性首先由顯示處理裝置指令激發(fā)光源裝置2’對特定區(qū)域9’照射波長870nm的光能，同時指令光譜儀本體11’對疑似血跡殘留處的目標(biāo)范圍91’進(jìn)行擷取，于擷取影像光譜資料的瞬間再指令觀測裝置5’將發(fā)光標(biāo)定有方框狀擷取范圍的特定區(qū)域9’拍攝成照片。最后，由光譜儀本體11’從孔型的入光通道110’擷取方框內(nèi)的影像光譜資料，隨后進(jìn)行分光、辨識的作業(yè)并回傳至顯示處理裝置。若目標(biāo)范圍91’內(nèi)所擷取到的光能遠(yuǎn)低于激發(fā)光源裝置2’所激發(fā)光束的正常反射值，便可確認(rèn)曾有血跡落入目標(biāo)范圍91’內(nèi)；反過來說若光能正常，則代表前一次目標(biāo)范圍91’可能有誤,需轉(zhuǎn)換目標(biāo)范圍91’再次鑒定。
[0038]此外，當(dāng)刑事鑒定人員還要找尋地板上的指紋，亦可更換抽換式發(fā)光二極管，改為可以因應(yīng)特殊顏色指紋粉的發(fā)光二極管，使得本例中的攝影機(jī)可以針對同一區(qū)域進(jìn)行多種不同檢驗測試紀(jì)錄。并且藉由激光光束和全相片將光譜影像和目標(biāo)范圍區(qū)域同步精確紀(jì)錄。
[0039]綜上所述，本系統(tǒng)光譜裝置的擷取與觀測裝置的拍攝兩者作業(yè)時機(jī)趨近于同步，后續(xù)作業(yè)得以對照影像光譜資料與照片中被發(fā)光標(biāo)定的目標(biāo)范圍