Tft-lcd顯示面板制造中的光學(xué)檢查裝置及其傳送裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶面板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種TFT-LCD顯示面板制造中的光學(xué)檢查裝置及其傳送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002 ] 薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)的玻璃基板經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工藝流程制造，基板上線路容易形成斷路和短路現(xiàn)象，檢測(cè)出基板上線路的斷路和短路并進(jìn)行維修可提高產(chǎn)品的良率，加快設(shè)備的檢測(cè)速度和減少設(shè)備的硬件結(jié)構(gòu)都可以達(dá)到提高檢測(cè)效率和節(jié)約成本的目的。
[0003]具體地，光阻材料涂布于基板經(jīng)過(guò)曝光、顯影以后，會(huì)進(jìn)入自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)(Automated Optical Inspect1n，Α0Ι)進(jìn)行微觀缺陷的檢查。AOI主要針對(duì)曝光和顯影中產(chǎn)生的不良進(jìn)行實(shí)時(shí)的監(jiān)控，其檢查效果對(duì)量產(chǎn)產(chǎn)品的品質(zhì)保證有著決定性的作用。
[0004]在AOI的檢查過(guò)程中，TFT-LCD顯示面板表面平整度對(duì)檢查的效果有著極大的影響。整個(gè)檢查過(guò)程TFT-LCD顯示面板是處于掃描方向運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)，如果TFT-LCD顯示面板表面平整度起伏較大，會(huì)影響相機(jī)的輝度采集結(jié)果，自然地影響到檢查最終結(jié)果。
[0005]針對(duì)TFT-1XD顯示面板在檢查中的搬運(yùn)，現(xiàn)在業(yè)界內(nèi)主要采用3種方式:
[0006]1、棍柱(Conveyor)方式
[0007]其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，費(fèi)用花費(fèi)較少。但是傳送過(guò)程中基板表面平整度起伏較大。
[0008]2、自由棍(Free Roller)方式
[0009]采用載臺(tái)(Stage)進(jìn)行搬送，自由輥?zhàn)鳛橹魏蛡魉洼o助。此種方式可保證基板表面平整度，而且費(fèi)用花費(fèi)也較低。
[0010]3、氣浮(Air Floating)方式
[0011]為了獲得更高精度的檢查，采用氣浮的方式進(jìn)行搬送。此種方式的優(yōu)點(diǎn)是搬送時(shí)，基板表面平整度很高。但是由于長(zhǎng)距離、大面積的氣浮使用，對(duì)氣浮平衡性的控制要求很高，氣浮的過(guò)程是下表面吹氣和上表面吸氣平衡的結(jié)果，在兩個(gè)氣浮帶(bar)中間基板會(huì)發(fā)生彎曲，有可能接觸到氣浮帶的邊緣孔洞而將基板吸附，進(jìn)而拖拽基板發(fā)生破片，并且氣浮的費(fèi)用花費(fèi)較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明提供一種用于TFT-LCD顯示面板制造中的傳送裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中采用輥柱或自由輥方式基板表面平整度不夠，以及長(zhǎng)距離采用氣浮方式花費(fèi)較高且容易拖拽基板發(fā)生破片的問(wèn)題。
[0013]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種用于TFT-1XD顯示面板制造中的傳送裝置，所述傳送裝置用于承載并傳輸TFT-LCD顯示面板經(jīng)過(guò)自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)下方，以使所述自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)對(duì)曝光和顯影中產(chǎn)生的不良進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，所述傳送裝置包括位于所述自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)可檢查區(qū)域正下方的氣浮傳輸帶及于所述氣浮傳輸帶上游和/或下游設(shè)置的自由輥傳輸帶。
[0014]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述氣浮傳輸帶包括主氣囊及陣列設(shè)于所述主氣囊表面的多個(gè)氣嘴。
[0015]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述傳送裝置還包括基槽，所述基槽包括底板和設(shè)于所述底板兩側(cè)邊的擋板，所述氣浮傳輸帶及所述自由輥傳輸帶設(shè)于所述基槽內(nèi)并低于所述擋板的高度。
[0016]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述自由輥傳輸帶包括多個(gè)平行設(shè)置的轉(zhuǎn)軸，每一所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有多個(gè)滾輪或滾柱。
[0017]根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述滾輪或滾柱表面為彈性材料。
[0018]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的另一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種TFT-LCD顯示面板制造中的光學(xué)檢查裝置，所述光學(xué)檢查裝置包括自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)及傳送裝置，所述傳送裝置用于承載并傳輸TFT-LCD顯示面板經(jīng)過(guò)自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)下方，以使所述自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)對(duì)曝光和顯影中產(chǎn)生的不良進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，所述傳送裝置包括位于所述自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)可檢查區(qū)域正下方的氣浮傳輸帶及于所述氣浮傳輸帶上游和/或下游設(shè)置的自由輥傳輸帶。
[0019]本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的TFT-LCD顯示面板制造中的光學(xué)檢查裝置及其傳送裝置由于僅在自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)可檢查區(qū)域正下方設(shè)有氣浮傳輸帶，可保證TFT-LCD顯示面板的平整度，同時(shí)由于上游和/或下游設(shè)置有自由輥傳輸帶可以節(jié)約成本。
【附圖說(shuō)明】
[0020]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中:
[0021]圖1是本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的TFT-1XD顯示面板制造的簡(jiǎn)化流程圖；
[0022]圖2是圖1中所示的TFT-LCD顯示面板制造中的光學(xué)檢查裝置的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0024]請(qǐng)參閱圖1，圖1是本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的TFT-1XD顯示面板制造的簡(jiǎn)化流程圖。
[0025]如圖1所示，在TFT-1XD顯示面板制造的過(guò)程中，需要以下幾道主要工序:
[0026]首先，通過(guò)洗凈裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)行洗凈；
[0027]其次，通過(guò)涂布裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)行涂布；
[0028]然后，通過(guò)真空干燥裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)行干燥；
[0029]然后，通過(guò)預(yù)烘烤裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)行預(yù)烘烤；
[0030]然后，通過(guò)曝光裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)行曝光；
[0031]然后，通過(guò)顯影裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)行顯影；
[0032]然后，通過(guò)檢查裝置(自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī))對(duì)玻璃基板進(jìn)行檢查；
[0033]然后，通過(guò)烘烤裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)烘烤；
[0034]然后，再進(jìn)入后續(xù)工程。
[0035]請(qǐng)參閱圖2，圖2是圖1中所示的TFT-LCD顯示面板制造中的光學(xué)檢查裝置的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)示意圖。
[0036]如圖2所示，本發(fā)明提供一種用于TFT-LCD顯示面板制造中的傳送裝置，該傳送裝置用于承載并傳輸TFT-LCD顯示