>[0024] 如果存在關(guān)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備運(yùn)動誤差的先前信息，則可W備選地或者與之前的描述一 致地運(yùn)樣選擇周向位置，使得運(yùn)動誤差在所有周向位置上或者在大多數(shù)周向位置上特別大 并且因此作為誤差對所測量的表面走向產(chǎn)生明顯影響。運(yùn)確保了能夠由測量信號確定運(yùn)動 誤差。
[0025] 能夠通過與工件表面走向上的冗余表面信息分隔開而確定的運(yùn)動誤差指的是旋 轉(zhuǎn)設(shè)備的可重復(fù)再現(xiàn)的運(yùn)動誤差。在用于坐標(biāo)測量技術(shù)的高品質(zhì)旋轉(zhuǎn)設(shè)備中可W認(rèn)為，當(dāng) 工件在旋轉(zhuǎn)設(shè)備上的布置和旋轉(zhuǎn)設(shè)備在地球重力場中的定向不變時，運(yùn)動誤差的不可重復(fù) 再現(xiàn)的部分非常小。運(yùn)也有限制地適用于在旋轉(zhuǎn)軸線使工件旋轉(zhuǎn)期間將坐標(biāo)測量裝置置入 關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的另一周向位置并且再次測量工件表面走向的情況。所述限制在于，接觸式 探測的坐標(biāo)測量裝置在表面上施加測量力。然而，測量力通常較小并且用于坐標(biāo)測量技術(shù) 的旋轉(zhuǎn)設(shè)備通常運(yùn)樣設(shè)計，使得測量力不會引起顯著的運(yùn)動誤差。
[0026] W下闡述不只能夠由坐標(biāo)測量裝置測量一個工件，而是可W測量多個工件、尤其 是多個相似類型或相同類型的工件，它們可W依次布置在旋轉(zhuǎn)設(shè)備上。相應(yīng)地，第一工件的 表面走向W按照本發(fā)明的方式通過坐標(biāo)測量裝置由不同周向位置測量，所述第一工件稍后 通過工具加工，而所述工件布置在旋轉(zhuǎn)設(shè)備上并且通過旋轉(zhuǎn)設(shè)備旋轉(zhuǎn)。此外可行的是，并不 是將例如樣品部件或校準(zhǔn)體的第一工件，而是將相似或相同類型的工件稍后布置在旋轉(zhuǎn)設(shè) 備上并且由工具加工。因此優(yōu)選的是，在也針對稍后對工件、相似工件或相同類型的工件測 量或加工期間適用的條件下進(jìn)行工件的測量。
[0027] 例如可W在使用接觸式探測的坐標(biāo)測量裝置時在一個區(qū)域內(nèi)測量工件的表面走 向，在所述區(qū)域中也將在稍后測量相似或相同類型的工件，并且尤其也通過同一個坐標(biāo)測 量裝置測量。例如將相似或相同類型的工件定位在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的相同位置上并且由坐標(biāo)測量 裝置測量相似或相同類型的工件的表面走向，其處于與在測量第一工件時相同的位置上 (尤其處于關(guān)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線相同的軸向位置上），測量第一工件是為了將關(guān)于表面 走向的信息與關(guān)于運(yùn)動誤差的信息分隔開。W此方式能夠W較高的精度并且整體上在用于 確定運(yùn)動誤差的耗費(fèi)較小的情況下測量來自批量生產(chǎn)的工件。
[0028] 通過可選地重復(fù)進(jìn)行按照本發(fā)明的方法（可選地在測量固定預(yù)設(shè)的工件數(shù)量之 后），可W檢驗(yàn)之前實(shí)施按照本發(fā)明的方法獲得的結(jié)果和/或考慮到環(huán)境條件如溫度已經(jīng)改 變。因此，如果例如已經(jīng)測量到溫度的改變，其滿足了預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)(例如高于最小溫差），則 來自批量生產(chǎn)的待測量工件可W再次在不同的周向位置上由坐標(biāo)測量裝置測量。
[0029] 因此，尤其在考慮與關(guān)于已經(jīng)測量的第一工件的走向的冗余表面信息分離的、關(guān) 于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差的誤差信息的情況下由坐標(biāo)測量裝置測量第二工件(尤其是相同類 型的工件)的表面坐標(biāo)。在此，坐標(biāo)測量裝置尤其處于關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的軸向相同的軸向位置 上和/或處于周向位置之一上，在第一工件圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)期間坐標(biāo)測量裝置定位在所 述周向位置上，W便測量第一工件的表面走向。
[0030] 作為備選或補(bǔ)充，在旋轉(zhuǎn)設(shè)備分別使工件圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)時，在旋轉(zhuǎn)設(shè)備在地 球重力場中的定向中，通過定位在不同周向位置上的坐標(biāo)測量裝置測量第一工件。由此確 保了第一工件的重力在旋轉(zhuǎn)設(shè)備上施加的力和力矩與在旋轉(zhuǎn)設(shè)備的相同定向和第二工件 的相同布置時同樣作用在旋轉(zhuǎn)設(shè)備上的力和力矩相同的，所述第二工件與第一工件類型相 同或相似。因此，在測量第一工件和第二工件時出現(xiàn)相同的可重復(fù)再現(xiàn)的運(yùn)動誤差并且因 此能夠W定位在不同周向位置上的坐標(biāo)測量裝置通過按照本發(fā)明的對第一工件的測量對 所述運(yùn)動誤差進(jìn)行測量，并且與關(guān)于工件的幾何信息分開。
[0031] 如果坐標(biāo)測量裝置不能定位在坐標(biāo)測量裝置在測量第一工件時所定位過的同一 個周向位置和/或軸向位置上，則優(yōu)選的是，在測量第二工件時，將坐標(biāo)測量裝置布置為盡 可能靠近測量第一工件期間的位置。即使在大約相同地定位時，也能夠減少或避免由于坐 標(biāo)測量裝置在彼此離得很遠(yuǎn)的軸向位置上的定位而產(chǎn)生的運(yùn)動誤差的幾何增強(qiáng)效果。備選 地，針對坐標(biāo)測量裝置在另一位置、尤其是關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的另一軸向位置上的定位的運(yùn)動 誤差可W通過計算作為預(yù)期誤差由分開的運(yùn)動誤差確定。對此還將詳細(xì)闡述。
[0032] 如果在通過旋轉(zhuǎn)設(shè)備旋轉(zhuǎn)期間W按照本發(fā)明的方式測量第一(或者唯一的）工件， 則不需要在之前對旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差進(jìn)行校正，因?yàn)殛P(guān)于工件的表面走向測量的測量結(jié) 果中的運(yùn)動誤差的信息借助定位在不同周向位置上的坐標(biāo)測量裝置測量。而其它工件優(yōu)選 不在坐標(biāo)測量裝置的不同周向位置上測量，而是例如只在一個周向位置上測量。運(yùn)個周向 位置可W是特別適合的周向位置，其通過分析第一工件的測量的測量信號確定。此外，其它 工件(或者一般來說:至少另一個第二工件)優(yōu)選在應(yīng)用誤差信息的情況下測量和/或加工， 所述信息與來自第一工件的表面的測得的不同走向的冗余表面信息分開。尤其通過分開的 誤差信息、也就是通過運(yùn)動誤差校正旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備在測量和/或加工 期間使第二工件旋轉(zhuǎn)。所述校正尤其可W運(yùn)樣進(jìn)行，即可機(jī)讀地保存相應(yīng)的校正數(shù)據(jù)并且 例如由坐標(biāo)測量儀的控制裝置或者由機(jī)床予W考慮，所述坐標(biāo)測量儀使用坐標(biāo)測量裝置來 測量第二工件，所述機(jī)床在應(yīng)用工具的情況下加工第二工件。例如KMG的控制裝置在測量第 二工件的表面坐標(biāo)期間由可機(jī)讀的數(shù)據(jù)計算校正，形式為移動第二工件的所測量的表面 點(diǎn)，其使得旋轉(zhuǎn)設(shè)備的實(shí)際旋轉(zhuǎn)運(yùn)動與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的理想的期望旋轉(zhuǎn)運(yùn)動之間的偏差再次縮 小。
[0033] 優(yōu)選地，當(dāng)坐標(biāo)測量裝置定位在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線固定的周向位置上并且測量工件表 面走向期間，旋轉(zhuǎn)設(shè)備使工件圍繞旋轉(zhuǎn)軸線分別至少旋轉(zhuǎn)完整一圈。由此確保了，坐標(biāo)測量 裝置在不同周向位置上測量的不同走向分別具有關(guān)于運(yùn)動誤差的最大可能的信息并且可 選地，如果坐標(biāo)測量裝置處于同一軸向位置上的不同周向位置，則也具有關(guān)于表面走向的 信息。當(dāng)然，不同周向位置中的坐標(biāo)測量裝置的軸向位置一般只關(guān)于理想旋轉(zhuǎn)軸線而言可 W是相同的，因?yàn)樾D(zhuǎn)運(yùn)動的運(yùn)動誤差也會導(dǎo)致實(shí)際旋轉(zhuǎn)軸線與理想旋轉(zhuǎn)軸線的偏差(例 如擺動運(yùn)動）。因此相應(yīng)地也適用于周向位置。它們盡管優(yōu)選是固定預(yù)設(shè)的，但可W只關(guān)于 理想旋轉(zhuǎn)軸線精確地調(diào)節(jié)。然而，用于坐標(biāo)測量或工件制造的旋轉(zhuǎn)設(shè)備通常精確到使得盡 管存在運(yùn)動誤差但不在源自不同表面走向的冗余表面信息和誤差信息中形成顯著的、對于 實(shí)施按照本發(fā)明的方法重要的差別。
[0034] 本發(fā)明還具有的優(yōu)點(diǎn)是，可W使用坐標(biāo)測量儀并且因此使用也用于測量工件表面 的其它區(qū)域和/或之后測量布置在旋轉(zhuǎn)設(shè)備上的另一工件的坐標(biāo)測量儀的坐標(biāo)測量裝置。 因此，不需要Marsh在之前提到的公開出版物中建議的用于測量傳感器的附加支架。因?yàn)樽?標(biāo)測量儀通常能夠相對于工件移動坐標(biāo)測量裝置，所W也能夠W按照本發(fā)明的方式測量不 同類型的工件和/或W按照本發(fā)明的方式在不同的軸向位置上測量同一工件。
[0035] 然而本發(fā)明并不局限于在測量工件表面走向期間使工件最大旋轉(zhuǎn)完整一圈。旋轉(zhuǎn) 設(shè)備可W使工件旋轉(zhuǎn)多于完整一圈，例如一圈半或者至少旋轉(zhuǎn)完整的多圈，因此當(dāng)坐標(biāo)測 量裝置定位在同一周向位置上期間，在所測量的表面走向內(nèi)部也可W得到冗余信息并且W 此方式例如降低測量不確定性。信息是冗余的，因?yàn)楸砻孀呦虻囊来伪粶y量的區(qū)段處于表 面的同一區(qū)域內(nèi)，因?yàn)樵谛D(zhuǎn)完整一圈之后又到達(dá)了同一區(qū)域。優(yōu)選的是，在坐標(biāo)測量裝置 的周向位置不變時，旋轉(zhuǎn)設(shè)備使工件完整地旋轉(zhuǎn)整數(shù)圈。
[0036] 按照本發(fā)明的方法和相應(yīng)的設(shè)備尤其特別好地適用于W下情況，即不能通過普遍 適用的確定結(jié)果確定旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差或者過于耗費(fèi)。例如，可W由使用者在不同的條 件下使用旋轉(zhuǎn)設(shè)備，例如在旋轉(zhuǎn)軸線在地球重力場中的不同定向下和/或具有布置在旋轉(zhuǎn) 設(shè)備上的不同工件，它們在旋轉(zhuǎn)設(shè)備上施加不同的力和力矩。例如與垂直延伸的旋轉(zhuǎn)軸線 相比，在水平延伸的旋轉(zhuǎn)軸線中出現(xiàn)完全不同的力和力矩，所述力和力矩尤其通過旋轉(zhuǎn)設(shè) 備本身和工件的重力產(chǎn)生。為了普遍適用地描述旋轉(zhuǎn)設(shè)備的不同定向和可選地描述工件施 加的不同力和力矩，需要較高的耗費(fèi)。例如必須使用相應(yīng)的數(shù)學(xué)模型，其考慮到所有定向和 力W及力矩。此外，為此需要對旋轉(zhuǎn)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)類型的耗費(fèi)時間的測量。相反，分別在改 變的條件下(例如在旋轉(zhuǎn)軸線的確定定向中）實(shí)施按照本發(fā)明的方法的耗費(fèi)相對較低。
[0037] 此外，按照本發(fā)明的方法也能夠改進(jìn)不準(zhǔn)確的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差。至少可W確 定運(yùn)動誤差的可重復(fù)再現(xiàn)的部分并且例如進(jìn)行校正。尤其在測量表面走向期間工件旋轉(zhuǎn)整 圈時，對不可重復(fù)再現(xiàn)的誤差部分求平均值。
[0038] 此外，按照本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施形式可行的是，將與冗余表面信息分開的誤差 信息（也就是所確定的運(yùn)動誤差）用于檢驗(yàn)關(guān)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備誤差的現(xiàn)有誤差信息并且可選地 進(jìn)行校正。運(yùn)些現(xiàn)有誤差信息例如由旋轉(zhuǎn)設(shè)備的制造商提供并且例如能夠按照之前已經(jīng)提 到的方式通過機(jī)器讀取并且因此可用于坐標(biāo)測量儀和機(jī)床。通過W按照本發(fā)明的方式確定 的誤差信息可W至少選擇性地針對相應(yīng)的運(yùn)行狀態(tài)（例如坐標(biāo)測量儀的軸向位置、適用的 環(huán)境溫度和/或當(dāng)前出現(xiàn)的力和力矩)進(jìn)行現(xiàn)有誤差信息的檢驗(yàn)。例如將可機(jī)讀數(shù)據(jù)的應(yīng)用 去激活，由此不在應(yīng)用可機(jī)讀數(shù)據(jù)的情況下通過坐標(biāo)測量儀或者機(jī)床進(jìn)行自動校正。W此 方式，總運(yùn)動誤差針對通過坐標(biāo)測量裝置的表面走向測量是完全有效的。
[0039] 因此，例如相應(yīng)的坐標(biāo)測量儀可W具有特殊的運(yùn)行模式，在所述運(yùn)行模式中不將 可能存在的可機(jī)讀數(shù)據(jù)用于校正旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差，而是實(shí)施按照本發(fā)明的方法。運(yùn)使 得使用者尤其能夠判斷總體上是否需要重新校準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)設(shè)備和/或旋轉(zhuǎn)設(shè)備是否用壞并且因 此需要維護(hù)或更換。
[0040] 因此一般也優(yōu)選的是，根據(jù)對不必強(qiáng)制作為可機(jī)讀數(shù)據(jù)用于自動校正的現(xiàn)有誤差 信息的檢驗(yàn)發(fā)出信號，所述信號顯示旋轉(zhuǎn)設(shè)備的校準(zhǔn)需求和/或維護(hù)或更換的需求。例如在 滿足預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)時輸出信號，所述標(biāo)準(zhǔn)既設(shè)及現(xiàn)有誤差信息也設(shè)及與冗余表面信息分開的誤 差信息。例如可W在分開的誤差信息與現(xiàn)有誤差信息的差別大于預(yù)設(shè)極限值的情況下輸出 信號。
[0041] 備選地，在實(shí)施按照本發(fā)明的方法期間，可W根據(jù)關(guān)于旋轉(zhuǎn)設(shè)備的運(yùn)動誤差的現(xiàn) 有誤差信息進(jìn)行自動校正。在運(yùn)種情況下，在呈現(xiàn)工件表面走向和由不同周向位置上的坐 標(biāo)測量裝置產(chǎn)生的測量信號中，只包含旋轉(zhuǎn)設(shè)備運(yùn)動的剩余誤差和/或自動校正的誤差。優(yōu) 點(diǎn)在于，剩余誤差和/或差別可W在實(shí)際測量條件下確定。因此，同時包含在測量信號中的 冗余表面信息能夠特別準(zhǔn)確地確定尤其是與走向相應(yīng)的區(qū)域內(nèi)的工件表面的坐標(biāo)。
[0042] 本發(fā)明尤其可W用于測量工件表面的區(qū)域，所述區(qū)域形成工件的外周向，運(yùn)種情 況出現(xiàn)在例如圓柱形的、但也可W是非旋轉(zhuǎn)對稱的工件周向面中。周向面的特征在于，表面 法線橫向于并且尤其是垂直于布置有工件的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線延伸。本發(fā)明也能夠測量 表面法線平行于或者接近平行于旋轉(zhuǎn)軸線延伸的表面的走向。例如在具有圓形端面的圓柱 形工件的情況下，可W與旋轉(zhuǎn)軸線相間隔地測量端面的走向，（虛擬的）對稱軸在中央穿過 所述端面。在運(yùn)種情況下，坐標(biāo)測量裝置例如只通過測量沿坐標(biāo)軸方向的坐標(biāo)來測量表面 的平整度，所述坐標(biāo)軸平行于旋轉(zhuǎn)軸線延伸。
[0043] 本發(fā)明不局限于坐標(biāo)測量裝置針對其在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的不同周向位置上的定位 而運(yùn)動。當(dāng)旋轉(zhuǎn)設(shè)備與布置在其上的工件共同圍繞與旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線共軸延伸的第二 旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)時，坐標(biāo)測量裝置可W在實(shí)驗(yàn)坐標(biāo)系統(tǒng)(也就是相對于測量裝置的周圍環(huán)境） 靜止。為此例如可W使用第二旋轉(zhuǎn)設(shè)備，其旋轉(zhuǎn)軸線與待檢驗(yàn)或待用于測量的旋轉(zhuǎn)設(shè)備的 旋轉(zhuǎn)軸線共軸地延伸。因此，將坐標(biāo)測量裝置從第一周向位置置入第二周向位置，方法是由 旋轉(zhuǎn)軸線與第一旋轉(zhuǎn)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸線共軸地延伸的第二旋轉(zhuǎn)設(shè)備使所述旋轉(zhuǎn)設(shè)備旋轉(zhuǎn)，而 坐標(biāo)測量裝置保留在其位置上。組合當(dāng)然也是可行的，也就是旋轉(zhuǎn)設(shè)備可W與布置在其上 的工件共同圍繞同軸的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，坐標(biāo)測量裝置也可W沿周向和/或沿關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線 的徑向和/或沿旋轉(zhuǎn)軸線的軸向（也就是平行于旋轉(zhuǎn)軸線或者沿旋轉(zhuǎn)軸線的方向）運(yùn)動。優(yōu) 點(diǎn)在于，能夠W簡單的方式使用坐標(biāo)測量裝置，其具有唯一的、也就是關(guān)于徑向的測量自由 度。因?yàn)樽鴺?biāo)測量裝置不運(yùn)動，所W當(dāng)其在另一周向位置上測量時也不需要重新沿旋轉(zhuǎn)軸 線的方向定向。坐標(biāo)測量裝置的重新定向可能是耗費(fèi)的附加步驟。
[0044] 但由此當(dāng)坐標(biāo)測量裝置運(yùn)動W置入改變的周向位置時也形成了坐標(biāo)測量儀的優(yōu) 點(diǎn)。為此可W使用典型的坐標(biāo)測量儀，其能夠使測量裝置沿至少兩個相互獨(dú)立的方向運(yùn)動。 在坐標(biāo)測量儀中也普遍的是，測量裝置不只具有唯一一個測量自由度。因此，運(yùn)種測量裝置 在運(yùn)動到改變的周向位置中時不需要沿旋轉(zhuǎn)軸線的方向重新定向。
[0045] 尤其建議:一種