一種空氣采樣泵裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，涉及一種空氣采樣泵裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了能夠很好地監(jiān)控半導(dǎo)體工廠(Fab)環(huán)境的空氣污染物質(zhì)量，質(zhì)量工程師(QE)對于Fab需要每天進行空氣取樣，每次需要多個空氣采樣泵裝置(pump)去抽取各個區(qū)域的環(huán)境空氣，并溶解于液體中，形成采樣溶液，采樣溶液統(tǒng)一由化學(xué)實驗集成電路(ChemicalLab IC)機臺進行分析。
[0003]現(xiàn)在質(zhì)量工程師使用較簡易的取樣方式，人為的通過面板設(shè)定所需取樣的時間段，設(shè)定完成之后，在泵體抽取管道中的氣體形成負壓的情況下，空氣污染物會隨空氣通過取樣口進入取樣瓶并溶解于取樣瓶內(nèi)的液體中，多余的空氣經(jīng)過干燥管路被泵體繼續(xù)抽取，從而空氣源源不斷進入取樣瓶中，使取樣瓶內(nèi)內(nèi)體溶解足夠的空氣污染物。其中干燥管路可以防止泵體因潮氣損壞。經(jīng)過規(guī)定時間的取樣后，將取樣瓶內(nèi)的液體樣品及時進行分析。
[0004]由于取樣時空氣采樣泵裝置需要放在FAB里的機臺旁約一個小時，經(jīng)常會發(fā)生空氣采樣泵被人不小心撞倒的狀況，由于現(xiàn)有的干燥管路僅包括一個干燥管，其吸取液體能力有限，這時取樣瓶中的水會順著管道倒流而使采樣泵損壞，并且有可能將液體倒灌入機臺，導(dǎo)致機臺破損。
[0005]因此，提供一種新的空氣采樣泵裝置以防止采樣泵及機臺由于液體倒灌而損壞實屬必要。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種空氣采樣泵裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中空氣采樣泵裝置容易因意外發(fā)生液體倒流使得采樣泵損毀或?qū)е聶C臺破損的問題。
[0007]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種空氣采樣泵裝置，包括采樣管及泵體，所述采樣管頂部設(shè)有空氣入口及管路接口，所述管路接口與所述泵體之間通過管路連接；所述管路包括第一防護段及第二防護段；
[0008]所述第一防護段包括一二通閥，所述二通閥的入口通過第一管道與所述管路接口連接、出口與第二管道連接；所述第一管道中放置有一能透過氣體而不能透過液體的單透膜，所述單透膜與所述二通閥之間設(shè)有移動警報裝置；所述移動警報裝置安裝于所述第一管道內(nèi)壁并與所述泵體及二通閥電連接，當所述單透膜由于液體沖力與所述移動警報裝置接觸并觸發(fā)所述移動警報裝置，所述移動警報裝置控制所述泵體停止抽氣，并控制所述二通閥使其關(guān)閉；
[0009]所述第二防護段包括入口與所述第二管道連接的三通閥，所述三通閥的兩個出口分別與第一分支管道及第二分支管道連接；所述第一分支管道與一內(nèi)壁設(shè)有吸水樹脂膜的第一干燥管的入口連接，所述第一干燥管的出口裝設(shè)有一封閉閥門；所述第二分支管道與一第二干燥管的入口連接，所述第二干燥管的出口通過第三管道與所述泵體連接；所述第二管道內(nèi)壁上裝設(shè)有與所述三通閥及所述封閉閥門電連接的液體傳感器，當所述液體傳感器未檢測到液體時，所述第一分支管道關(guān)閉，所述第二分支管道開啟，當所述液體傳感器檢測到液體時，所述液體傳感器控制所述三通閥關(guān)閉所述第二分支管道并開啟第一分支管道，并控制所述封閉閥門關(guān)閉所述第一干燥管的出口。
[0010]可選地，所述第一干燥管入口處放置有色度指示劑卡片。
[0011]可選地，所述吸水樹脂膜包括一基板及連接于所述基板表面的若干魚鱗狀樹脂片。
[0012]可選地，所述魚鱗狀樹脂片外端朝向所述第一干燥管入口方向。
[0013]可選地，所述移動警報裝置包括壓力傳感器。
[0014]可選地，所述移動警報裝置包括一與所述壓力傳感器連接的蜂鳴器、發(fā)光二極管或聲光裝置。
[0015]可選地，所述吸水樹脂薄膜采用聚丙乙烯材料。
[0016]可選地，所述第一管道與所述管路接口之間還設(shè)置有一緩沖容器，所述緩沖容器包括進氣端口及出氣端口，所述進氣端口通過第四管道與所述管路接口連接，所述出氣端口與所述第一管道連接。
[0017]可選地，所述進氣端口設(shè)置于所述緩沖容器頂部，所述出氣端口設(shè)置于所述緩沖容器側(cè)壁上部且與所述進氣端口垂直。
[0018]可選地，所述泵體及采樣管均放置于一承載框體內(nèi)。
[0019]如上所述，本實用新型的空氣采樣泵裝置，具有以下有益效果:本實用新型的空氣采樣泵裝置形成采樣泵的多重防護，從而確保泵的使用和正常取樣，防止采樣泵或機臺意外損壞，延長采樣泵的使用壽命，且結(jié)構(gòu)設(shè)計更為緊湊。當發(fā)生異常狀況時，首先通過單透膜的設(shè)計可以初步阻礙水流的侵入，但是無法避免氣路通過時或者水流過大時可能導(dǎo)致的膜層移位，所以在設(shè)計上加入了移動警報裝置，其一旦被移位的單透膜觸發(fā)，將控制采樣泵停止工作，并關(guān)閉二通閥，取樣自動停止，并報警引發(fā)工程師的注意。但是二通閥關(guān)閉前可能有水流透過并可能繼續(xù)沿管路流動，所以加入分支管路設(shè)計，包括異常通道及正常通道，當有液體進入管道時，通過第一干燥管(異常通道)吸收異常情況下的水流，同時可以根據(jù)色度卡指示劑作出初步判斷，并且發(fā)生異常情況時，第二干燥管(正常通道)入口關(guān)閉，將泵口完全堵住，從而形成了對采樣泵的多重防護。正常情況下，第一干燥管入口關(guān)閉，第二干燥管入口開啟，進行正常采樣。
【附圖說明】
[0020]圖1顯示為本實用新型的空氣采樣泵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]元件標號說明
[0022]101采樣管
[0023]102泵體
[0024]103空氣入口
[0025]104管路接口
[0026]105二通閥
[0027]106第一管道
[0028]107第二管道
[0029]108單透膜
[0030]109移動警報裝置
[0031]110三通閥
[0032]111第一分支管道
[0033]112第二分支管道
[0034]113吸水樹脂膜
[0035]114第一干燥管
[0036]115封閉閥門
[0037]116第二干燥管
[0038]117第三管道
[0039]118液體傳感器
[0040]119色度指示劑卡片
[0041]120緩沖容器
[0042]121進氣端口
[0043]122出氣端口
[0044]123第四管道
[0045]124空氣
[0046]125液體
【具體實施方式】
[0047]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0048]請參閱圖1。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0049]本實用新型提供一種空氣采樣泵裝置，請參閱圖1，顯示為該裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括采樣管101及泵體102，所述采樣管101頂部設(shè)有空氣入口 103及管路接口 104，所述管路接口 104與所述泵體101之間通過管路連接；所述管路包括第一防護段及第二防護段；
[0050]所述第一防護段包括一二通閥105，所述二通閥105的入口通過第一管道106與所述管路接口 104連接、出口與第二管道107連接；所述第一管道106中放置有一能透過氣體而不能透過液體的單透膜108，所述單透膜108與所述二通閥105之間設(shè)有移動警報裝置109 ;所述移動警報裝置109安裝于所述第一管道106內(nèi)壁并與所述泵體102及二通閥105電連接，當所述單透膜108由于液體沖力與所述移動警報裝置109接觸并觸發(fā)所述移動警報裝置109，所述移動警報裝置109控制所述泵體102停止抽氣，并控制所述二通閥105使其關(guān)閉；
[0051]所述第二防護段包括入口與所述第二管道107連接的三通閥110，所述三通閥110的兩個出口分別與第一分支管道111及第二分支管道112連接；所述第一分支管道111與一內(nèi)壁設(shè)有吸水樹脂膜113的第一干燥管114的入口連接，所述第一干燥管114的出口裝設(shè)有一封閉閥門115 ;所述第二分支管道112與一第二干燥管116的入口連接，所述第二干燥管116的出口通過第三管道117與所述泵體102連接；所述第二管道107內(nèi)壁上裝設(shè)有與所述三通閥110及所述封閉閥門115電連接的液體傳感器118，當所述液體傳感器118未檢測到液體時，所述第一分支管道111關(guān)閉，所述第二分支管道112開啟，當所述液體傳感器118檢測到液體時，所述液體傳感器118控制所述三通閥110關(guān)閉所述第二分支管道112并開啟第一分支管道111，并控制所述封閉閥門115關(guān)閉所述第一干燥管115的出口。
[0052]進一步的，所述第一管道106與所述管路接口 124之間還可以設(shè)置有一緩沖容器120，所述緩沖容器120包括進氣端口 121及出氣端口 122，所述進氣端口 121通過第四管道123與所述管路接口 104連接，所述出氣端口 122與所述第一管道106連接。所述緩沖容器120的作用是緩沖氣體，使得氣流穩(wěn)定。所述緩沖容器120可采用玻璃容器，所述進氣端口 121設(shè)置于所述緩沖容器120頂部，所述出氣端口 122設(shè)置于所述緩沖容器120側(cè)壁上部且與所述進氣端口 121垂直。
[0053]本實用新型的空氣采樣泵裝置可進一步包括一承載框體，所述泵體及采樣管均放置于該承載框體內(nèi)(未圖示)，使得空氣采樣泵裝置結(jié)構(gòu)緊湊，便于整體移動。
[0054]具體的，連接各部件如所述采樣瓶101、緩沖容器120、二通閥105、三通閥110、第一干燥管114、第二干燥管116及泵體102之間的管道采用塑料軟管，優(yōu)選采用高壓聚氯乙烯([-CH(Cl)CH2-)]η)材質(zhì)，該材質(zhì)具有