測試探針臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及陣列測試的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種測試探針臺。
【背景技術(shù)】
[0002]—般在進行陣列測試時常采用雙Pin (針)模式接觸被測元件，其中一個Pin起測試作用，另一個Pin起定位作用。但是由于硬件特性限制，Pin數(shù)的上限是一定的，而且提高Pin數(shù)會降低Pin的重量和剛性，減少Pin的壽命，并增加成本。而低溫多晶硅(LTPS，LowTemperature Poly-silicon)陣列中測試信號復(fù)雜，需要的通道較多，需求Pin針較多，現(xiàn)有的雙Pin (針)模式僅一個Pin起測試作用，因此其Pin針利用率低下，且很難實現(xiàn)良好的狀態(tài)監(jiān)控。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]基于此，有必要提供一種Pin針利用率高且實時監(jiān)控、自動調(diào)整Pin針狀態(tài)的測試探針臺。
[0004]一種測試探針臺，包括支架、測試針、距離傳感器、圖像傳感器和控制器；
[0005]所述支架包括能夠上下移動的第一支架和位于所述第一支架上方的第二支架；
[0006]所述測試針包括針本體和位于所述針本體端部的測試端，所述針本體固定在所述第一支架上，所述測試端伸出所述第一支架；
[0007]所述距離傳感器與所述第一支架固定連接，用于測試所述第一支架與第二支架之間的距離；所述距離傳感器與所述控制器通信連接；
[0008]所述圖像傳感器固定連接在所述第二支架上，所述圖像傳感器位于所述測試端的上方，所述圖像傳感器的視野覆蓋所述測試針；所述圖像傳感器與所述控制器通信連接。
[0009]在其中一個實施例中，所述測試針的數(shù)量為多個，多個所述測試針并列設(shè)置。
[0010]在其中一個實施例中，所述圖像傳感器的視野至少覆蓋其中一個所述測試針。
[0011]在其中一個實施例中，所述距離傳感器的數(shù)量為多個，多個所述距離傳感器與多個所述測試針一一對應(yīng)。
[0012]在其中一個實施例中，所述距離傳感器為激光傳感器；所述圖像傳感器為電荷耦合器件。
[0013]在其中一個實施例中，所述支架還包括基座、升降架和固定架，所述升降架和所述固定架均固定在所述基座上；所述第一支架與所述升降架固定連接，所述升降架帶動所述第一支架上下移動；所述第二支架與所述固定架固定連接。
[0014]在其中一個實施例中，所述支架還包括基座、升降架和固定架，所述升降架和所述固定架均固定在所述基座上；所述第一支架與所述升降架固定連接，所述升降架帶動所述第一支架上下移動；所述第二支架與所述固定架固定連接。
[0015]在其中一個實施例中，所述針本體呈向下彎折的L型，所述測試端位于所述針本體的下方。
[0016]在其中一個實施例中，所述測試端呈長方體狀，所述測試端靠近上方的面與所述針本體固定連接，所述測試端靠近下方的面平行于水平面。
[0017]在其中一個實施例中，所述針本體呈L型的兩段均呈圓柱狀。
[0018]上述測試探針臺，通過設(shè)置圖像傳感器在水平的二維平面內(nèi)實時監(jiān)控測試針的壓入位置，通過設(shè)置距離傳感器在豎直方向?qū)崟r監(jiān)控測試針的壓入量，測試探針臺根據(jù)距離傳感器和圖像傳感器的監(jiān)控信息實現(xiàn)對測試針進行自動校準(zhǔn)和位置調(diào)整。該測試探針臺能實現(xiàn)實時監(jiān)控、自動調(diào)整的同時，由于每一個測試針都能進行有效測試，從而提高了測試針的利用率。
【附圖說明】
[0019]圖1為一實施例測試探針臺的示意圖；
[0020]圖2為圖1所示測試探針臺的第一支架的俯視圖；
[0021]圖3為圖1所示測試探針臺的第一支架的右視圖。
【具體實施方式】
[0022]為了便于理解本實用新型，下面將參照相關(guān)附圖對測試探針臺進行更全面的描述。附圖中給出了測試探針臺的首選實施例。但是，測試探針臺可以以許多不同的形式來實現(xiàn)，并不限于本文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對測試探針臺的公開內(nèi)容更加透徹全面。
[0023]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在測試探針臺的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本實用新型。
[0024]如圖1所示，一實施方式的測試探針臺100包括支架120、測試針140、距離傳感器160、圖像傳感器180和控制器(圖中未示出)。支架120包括能夠上下移動的第一支架122和位于第一支架122上方的第二支架124。測試針140包括針本體142和位于針本體142端部的測試端144，同時參見圖2，針本體142固定在第一支架122上，測試端144伸出第一支架122。在一實施例中，第一支架122上的測試針140是可更換的。
[0025]同時參見圖3，距離傳感器160與第一支架122固定連接，且距離傳感器160位于第一支架122的上方，距離傳感器160與控制器通信連接。距離傳感器160用于測試第一支架122與第二支架124之間的距離。第一支架122與第二支架124之間的距離變化即為測試測試針140的壓入量。通過設(shè)置距離傳感器160在豎直方向?qū)崟r監(jiān)控第一支架122與第二支架124之間的距離變化，即可實時監(jiān)控測試針140的壓入量?？刂破骺梢愿鶕?jù)距離傳感器160的信息反饋，調(diào)整壓入量。距離傳感器160優(yōu)選為激光傳感器。在其中一個實施例中，支架120還可以包括基座126、升降架128和固定架129，升降架128和固定架129均固定在基座126上。第一支架122與升降架128固定連接，升降架128能夠帶動第一支架122上下移動。第二支架124與固定架129固定連接。
[0026]圖像傳感器180固定連接在第二支架124上，圖像傳感器180位于測試端144的上方，圖像傳感器180的視野覆蓋測試針140。圖像傳感器180與控制器